CN208183072U - 支撑柱及采用该支撑柱的支撑平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例提供一种支撑柱及采用该支撑柱的支撑平台，其中，该支撑柱包括：支撑本体，所述支撑本体包括支撑端面和远离所述支撑端面的连接端面，其中所述连接端面上设置有压力传感器。该支撑柱通过在支撑本体与支撑平台相连接一端的连接端面上设置压力传感器，当面板设置于多个支撑柱上时，面板对支撑柱产生压力，通过支撑柱所连接的压力传感器能够检测该压力，确定支撑柱所支撑面板的状态。因此，本实用新型实施例所述支撑柱，能够实现对所支撑面板状态的及时、有效检测，以确定所支撑面板的完好状态。

Description

支撑柱及采用该支撑柱的支撑平台

技术领域

本实用新型涉及显示器制造技术领域，尤其是指一种支撑柱及采用该支撑柱的支撑平台。

背景技术

在显示面板制造工艺中，为了使待处理的面板呈水平状态，设置包括多个支撑柱的支撑平台，通过多个支撑柱水平地支撑面板为很普遍使用的设备。例如，在化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition，CVD)工艺设备内则设置有包括多个支撑柱的支撑平台。

对于CVD的各工艺腔室在进行工艺处理时需要处于高度真空状态，因此对于工艺处理过程中的面板状态很难及时观测到。CVD成膜腔室之外的其他腔室可以设置激光探测传感器用于探测面板的状态，以检测是否发生碎片问题，但采用激光探测传感器时，由于不同面板对于激光的透过率不同，容易产生检测不准确，发生误判和报警的问题；CVD成膜腔室则由于腔室的密封性要求，无法打孔设置激光探测传感器，因此无法实时监控腔室内面板是否完好。

因此，现有技术显示面板制造设备中，真空腔室内缺少能够及时、有效地检测面板状态的结构。

实用新型内容

本实用新型技术方案的目的是提供一种支撑柱及采用该支撑柱的支撑平台，通过该支撑柱能够实现所支撑的面板状态的及时、有效检测。

本实用新型实施例提供一种支撑柱，其中，包括：

支撑本体，所述支撑本体包括支撑端面和远离所述支撑端面的连接端面，其中所述连接端面上设置有压力传感器。

可选地，所述的支撑柱，其中，所述支撑本体包括：

内部设置有中空部分的柱套，所述中空部分延伸至所述连接端面；

传送杆，设置于所述中空部分内，且与所述压力传感器连接。

可选地，所述的支撑柱，其中，所述压力传感器包括开设有第一凹槽的压力感应面，所述传送杆靠近所述连接端面的一端设置有与所述第一凹槽的形状配合的突起；

其中，所述突起插设于所述第一凹槽内，且与所述第一凹槽的内壁粘结，使得所述传送杆与所述压力传感器连接。

可选地，所述的支撑柱，其中，所述第一凹槽形成为锥形槽，所述突起形成为与所述第一凹槽形状配合的圆锥形，且所述支撑本体处于与水平面垂直，所述支撑端面位于所述连接端面的上方状态时，所述突起呈倒圆锥形。

可选地，所述的支撑柱，其中，所述中空部分还延伸至所述支撑端面，所述传送杆在所述中空部分内延伸至所述支撑端面，且所述传送杆在所述支撑端面处设置有第二凹槽，所述第二凹槽内设置有能够相对于所述传送杆滚动的圆球，所述圆球突出于所述支撑端面设置。

可选地，所述的支撑柱，其中，所述压力传感器包括延伸进入所述中空部分内部的凸出部分，所述传送杆在所述中空部分的内部，与所述凸出部分连接。

可选地，所述的支撑柱，其中，所述柱套与所述传送杆同中心线设置。

本实用新型实施例还提供一种支撑平台，包括平台本体，其中，所述平台本体上设置有如上任一项所述的支撑柱；

其中，所述支撑本体垂直于水平面设置，且所述支撑端面位于所述连接端面的上方，所述压力传感器固定于所述平台本体上。

可选地，所述的支撑平台，其中，所述平台本体上还设置有支撑销，所述支撑销与所述平台本体的连接端面处未设置压力传感器，且所述支撑销远离所述平台本体的端面与所述支撑柱的所述支撑端面位于同一平面。

可选地，所述的支撑平台，其中，所述支撑平台还包括：与所述压力传感器连接的数据采集器。

本实用新型具体实施例上述技术方案中的至少一个具有以下有益效果：

本实用新型实施例所述支撑柱，通过在支撑本体与支撑平台相连接一端的连接端面上设置压力传感器，当面板设置于多个支撑柱上时，面板对支撑柱产生压力，通过支撑柱所连接的压力传感器能够检测该压力，确定支撑柱所支撑面板的状态。因此，本实用新型实施例所述支撑柱，能够实现对所支撑面板状态的及时、有效检测，以确定所支撑面板的完好状态。

附图说明

图1为本实用新型实施例一所述支撑柱的平面结构示意图；

图2为本实用新型实施例所述支撑柱设置于支撑平台上时的立体结构示意图；

图3为本实用新型实施例二所述支撑柱的平面结构示意图；

图4为本实用新型实施例所述支撑平台中，所设置支撑销的结构示意图；

图5为本实用新型实施例所述支撑平台的其中一实施结构的平面示意图；

图6为本实用新型实施例所述支撑平台的另一实施结构的平面示意图。

具体实施方式

为使本实用新型要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。

为解决现有技术显示面板制造设备中，真空腔室内缺少能够用于及时、有效地检测面板状态的结构的问题，本实用新型实施例提供一种支撑柱，能够应用于真空腔室内面板的支撑，该支撑柱通过在与支撑平台相连接的连接端面上设置压力传感器，利用压力传感器检测面板对支撑柱的压力，确定支撑柱所支撑面板的状态。

具体地，本实用新型实施例一所述支撑柱，如图1所示，包括：

支撑本体100，该支撑本体100包括支撑端面110和远离支撑端面110的连接端面120，其中该连接端面120上设置有压力传感器130。

其中，该支撑柱应用于支撑平台上，例如，该支撑平台可以为CVD各工艺腔室内的面板放置平台，如图2所示，支撑平台包括平台本体1，其中本实用新型实施例所述支撑柱设置于平台本体1上，且支撑本体100呈竖直状态，也即与水平面相垂直，当平台本体1设置支撑柱的表面为水平面时，该支撑本体100垂直于平台本体1的表面。

另外，采用本实用新型实施例所述支撑柱，结合图1和图2，支撑本体100通过连接端面120所在一端与平台本体1固定连接，且连接端面120上设置的压力传感器130固定于平台本体1上，连接端面120与压力传感器130相抵接。

可以理解的是，如图2所示，平台本体1上可以设置多个支撑柱，且多个支撑柱的支撑端面位于同一平面，以水平地支撑面板2，保证所支撑面板2的稳固设置。

需要说明的是，平台本体1可以设置多个本实用新型实施例所示结构的支撑柱，用于支撑面板2的不同位置，但平台本体1上所设置的每一支撑柱并不限于必须采用本实用新型实施例所述支撑柱，所设置本实用新型实施例所述支撑柱的数量只要能够达到检测所支撑面板2的不同位置的状态即可。

采用本实用新型实施例所述支撑柱，通过在支撑本体与支撑平台相连接一端的连接端面上设置压力传感器，当面板设置于多个支撑柱上时，面板对支撑柱产生压力，通过支撑柱所连接的压力传感器能够检测到面板的存在；若面板没有产生破碎，状态完好，则不同位置的支撑柱所连接的压力传感器所检测的压力值应该相差不大，接近相等状态；若面板产生破碎，则不同位置的支撑柱所连接的压力传感器所检测的压力值相差会比较大，例如，可能存在部分压力传感器所检测的压力值较大，而部分压力传感器检测不到压力值的情况。

因此，基于上述原理，采用本实用新型实施例所述支撑柱，能够实现对所支撑面板状态的及时、有效检测，以确定所支撑面板的完好状态。

本实用新型还提供实施例二所述支撑柱，如图3所示，在该实施例中，所述支撑柱包括：

支撑本体100，该支撑本体100包括支撑端面110和远离支撑端面110的连接端面120，其中该连接端面120上设置有压力传感器130。

具体地，该实施例中，如图3所示，所述支撑本体100包括：内部设置有中空部分的柱套101，其中该中空部分延伸至连接端面120；

传送杆102，设置于中空部分内，且与压力传感器130连接。

采用该实施例所述支撑柱，支撑本体100内部设置的传送杆102与压力传感器130连接，能够减小整个支撑本体100与压力传感器130的接触面积，使压力传感器130感应面板对支撑柱的压力具有更高的灵敏度。

可选地，本实用新型实施例中，如图3所示，压力传感器130包括开设有第一凹槽131的压力感应面，传送杆102靠近连接端面120的一端设置有与第一凹槽131的形状配合的突起1021；

其中，该突起1021插设于第一凹槽131内，且与第一凹槽131的内壁粘结，使得传送杆102与压力传感器130连接。

具体地，如图3所示，本实用新型实施例中，第一凹槽131形成为锥形槽，突起1021形成为与第一凹槽131形状配合的圆锥形，且支撑本体100与水平面垂直，支撑端面110位于连接端面120的上方状态时，突起1021呈倒圆锥形。

传送杆102与压力传感器130采用上述的连接结构，当支撑本体100与水平面垂直，支撑端面110上设置面板时，面板对支撑本体100所产生的压力，通过传送杆102传送至压力传感器130上，由于传送杆102的突起1021形成为尖端结构，与压力传感器130抵接，压力传感器130所感应的压力集中于该尖端结构的突起1021上，使压力传感器130的感应更加灵敏，面板对支撑本体100所产生的较小压力的变化，压力传感器130即能够检测得到，从而达到检测精度，保证压力传感器130检测性能稳定的效果。

可选地，本实用新型实施例中，如图3所示，压力传感器130设置有凸出部分132，压力传感器130的压力感应面位于该凸出部分132上，其中第一凹槽131设置于该凸出部分132的压力感应面上；此外，传送杆102的突起1021设置在柱套101的中空部分内部，压力传感器130的凸出部分132插伸于柱套101的中空部分的内部，与传送杆102的突起1021配合连接。本实用新型中，通过该设置结构，使压力传感器130与传送杆102之间的配合连接更加稳定。

可选地，所述压力传感器130为应变传感器，相较于一般压力传感器，形变幅度小，测试精度更高，且性能更稳定。

另外，本实用新型实施例所述支撑柱，如图3所示，可选地，柱套101内部设置的中空部分还延伸至支撑端面110，传送杆102在中空部分内延伸至支撑端面110，且传送杆102在支撑端面110处设置有第二凹槽1021，该第二凹槽1021内设置有能够相对于传送杆102滚动的圆球300，该圆球300突出于支撑端面110设置。

可选地，圆球300的直径位于3毫米与6毫米之间。

具体地，本实用新型实施例中，第二凹槽1021形成为球面槽，圆球300设置于该第二凹槽1021内，能够在第二凹槽1021内滚动。

采用该设置结构，当支撑柱用于支撑设置面板时，面板放置于圆球300上，通过圆球300的滚动，能够带动所支撑的面板的平移，以实现面板的位置变化。

可选地，柱套101与传送杆102之间为间隙配合，使传送杆102能够相对于柱套101转动；另外柱套101、第二凹槽1021与传送杆102同中心线设置，以保证圆球300所支撑的面板对圆球300的压力，能够通过圆球300、传送杆102准确地传输至压力传感器130上，以被压力传感器130所感知。

可选地，当支撑本体100与水平面垂直时，支撑本体100的高度位于15厘米至30厘米之间。

可以理解的是，支撑柱所支撑的面板设置于圆球300上时，由圆球300支撑面板，面板对支撑柱的压力由圆球300、传送杆102传输至压力传感器130处，被压力传感器130所感知。

根据以上，采用本实用新型实施例二所述支撑柱，通过设置压力传感器，当面板设置于多个支撑柱上时，面板对支撑柱产生压力，通过支撑柱所连接的压力传感器能够检测到面板的存在；若面板没有产生破碎，状态完好，则不同位置的支撑柱所连接的压力传感器所检测的压力值应该相差不大，接近相等状态；若面板产生破碎，则不同位置的支撑柱所连接的压力传感器所检测的压力值相差会比较大。因此，采用本实用新型实施例所述支撑柱，能够实现对所支撑面板状态的及时、有效检测，以确定所支撑面板的完好状态。

另外，由于压力传感器采用插设于支撑柱的支撑本体的内部，通过支撑本体内的传送杆一端设置的突起插设于压力传感器的凹槽中的设置结构，还能够保证压力传感器对所支撑面板压力检测的准确性，以及满足高精度要求。

本实用新型实施例另一方面还提供一种支撑平台，结合图2所示，该支撑平台包括平台本体1，其中平台本体1上设置有如上结构的支撑柱。

可以理解的是，本实用新型实施例所述支撑平台中，平台本体1上所设置的支撑柱可以形成为图1所示结构，也可以为如图3所示结构。

结合图1至图3，当平台本体1上设置本实用新型实施例所述支撑柱时，支撑本体100与水平面垂直，可以理解的是，通常平台本体1用于设置支撑本体100的表面为水平面，因此支撑本体100与平台本体1设置支撑本体100的平面相垂直。

另外，具体地，支撑端面110位于连接端面120的上方，压力传感器130固定于平台本体1上。可以理解的是，为了在多个支撑柱上水平地支撑面板2，平台本体1上所设置多个支撑本体100的支撑端面110应该位于同一平面，且该平面应该为平行于水平面。

可选地，本实用新型实施例中，所述支撑平台还包括：与压力传感器连接的数据采集器，通过该数据采集器能够读取每一压力传感器所检测的压力值，以根据所读取的每一压力传感器所检测的压力值，判断支撑柱所支撑的面板的状态是否为完好。

本实用新型实施例所述支撑平台中，平台本体1上还设置有支撑销，如图4所示，可选地，所述支撑销20包括销体21和设置于销体21的其中一个端面上的圆球300，且圆球300能够相对于销体21滚动。具体地，结合图2，当如图4所示结构的支撑销20设置于平台本体1上时，销体21与平台本体1的连接端面(也即为销体21设置圆球300的另一端)处未设置压力传感器，且销体21远离平台本体1的端面与上述结构的支撑柱的支撑端面110位于同一平面，也即具体地，图4所示结构的支撑销20可以与图3所示结构的支撑柱设置于同一支撑平台上，销体21上所设置圆球300相较于平台本体1的最高位置点，与支撑柱上所设置圆球300相较于平台本体1的最高位置点，位于同一水平面内，以能够水平地支撑面板。

采用上述方式，如图5和图6所示，支撑平台的平台本体1上同时设置本实用新型实施例所示结构的支撑柱10和图4所示结构的支撑销20，其中支撑柱10包括设置在与平台本体1连接位置处的压力传感器，支撑销20不包括压力传感器，通过支撑柱10与支撑销20共同支撑面板，且通过支撑柱10检测所支撑面板的状态。

本实用新型实施例所述支撑平台，如图5所示，平台本体1上设置四个支撑柱10，该四个支撑柱10在平台本体1上的设置位置，可以形成为一四边形，其中当面板设置于平台本体1上时，面板能够压设每一支撑柱10，且每一支撑柱10分别对应面板的不同位置，通过支撑柱10上所设置的压力传感器能够检测面板在不同位置的状态。

可选地，图5所示的四个支撑柱10分别对应支撑面板的四个角落位置，通过支撑柱10上所设置的压力传感器能够检测面板在四个角落位置的状态。

进一步地，可以理解的是，平台本体1上所设置的支撑柱10并不限于为四个，如图6所示，在设置四个支撑柱10的基础上，还可以在四个支撑柱10所形成四边形的中间位置设置至少两个支撑柱10。当面板设置于平台本体1上时，面板能够压设每一支撑柱10，通过形成四边形的四个支撑柱10分别对应支撑面板的四个角落位置，该四个支撑柱10上所设置的压力传感器能够检测面板在四个角落位置的状态；通过中间的至少两个支撑柱10支撑面板的中间位置，所设置的压力传感器能够检测面板在中间位置的状态。

以上仅为本实用新型实施例所述支撑柱在支撑平台上设置方式的两个举例，可以理解的是，支撑柱的设置方式并不限于仅包括上述两种。平台本体1上所设置支撑柱10的数量以及各个支撑柱10在平台本体1上的位置，并没有具体限定，只要能够检测出所支撑面板2的不同位置的状态即可。

本实用新型实施例所述支撑平台能够应用于真空腔室中，用于实现真空腔室中对面板的支撑，并能够在不破坏真空腔室的真空封闭条件要求的前提下，实现对所支撑面板状态的及时、有效检测。可选地，该真空腔室可以为CVD工艺设备中的各腔室。

以上所述的是本实用新型的优选实施方式，应当指出对于本技术领域的普通人员来说，在不脱离本实用新型所述原理前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种支撑柱，其特征在于，包括：

支撑本体，所述支撑本体包括支撑端面和远离所述支撑端面的连接端面，其中所述连接端面上设置有压力传感器。

2.根据权利要求1所述的支撑柱，其特征在于，所述支撑本体包括：

内部设置有中空部分的柱套，所述中空部分延伸至所述连接端面；

传送杆，设置于所述中空部分内，且与所述压力传感器连接。

3.根据权利要求2所述的支撑柱，其特征在于，所述压力传感器包括开设有第一凹槽的压力感应面，所述传送杆靠近所述连接端面的一端设置有与所述第一凹槽的形状配合的突起；

其中，所述突起插设于所述第一凹槽内，且与所述第一凹槽的内壁粘结，使得所述传送杆与所述压力传感器连接。

4.根据权利要求3所述的支撑柱，其特征在于，所述第一凹槽形成为锥形槽，所述突起形成为与所述第一凹槽形状配合的圆锥形，且所述支撑本体处于与水平面垂直，所述支撑端面位于所述连接端面的上方状态时，所述突起呈倒圆锥形。

5.根据权利要求2所述的支撑柱，其特征在于，所述中空部分还延伸至所述支撑端面，所述传送杆在所述中空部分内延伸至所述支撑端面，且所述传送杆在所述支撑端面处设置有第二凹槽，所述第二凹槽内设置有能够相对于所述传送杆滚动的圆球，所述圆球突出于所述支撑端面设置。

6.根据权利要求2所述的支撑柱，其特征在于，所述压力传感器包括延伸进入所述中空部分内部的凸出部分，所述传送杆在所述中空部分的内部，与所述凸出部分连接。

7.根据权利要求2所述的支撑柱，其特征在于，所述柱套与所述传送杆同中心线设置。

8.一种支撑平台，包括平台本体，其特征在于，所述平台本体上设置有如权利要求1至7任一项所述的支撑柱；

其中，所述支撑本体垂直于水平面设置，且所述支撑端面位于所述连接端面的上方，所述压力传感器固定于所述平台本体上。

9.根据权利要求8所述的支撑平台，其特征在于，所述平台本体上还设置有支撑销，所述支撑销与所述平台本体的连接端面处未设置压力传感器，且所述支撑销远离所述平台本体的端面与所述支撑柱的所述支撑端面位于同一平面。

10.根据权利要求8所述的支撑平台，其特征在于，所述支撑平台还包括：与所述压力传感器连接的数据采集器。