CN208121233U

CN208121233U - 一种单晶炉炉体升降装置

Info

Publication number: CN208121233U
Application number: CN201820326264.XU
Authority: CN
Inventors: 罗乾; 陈健; 陈立民; 韩永龙; 文淑梅
Original assignee: SOLARGIGA ENERGY (QINGHAI) Co Ltd
Current assignee: SOLARGIGA ENERGY (QINGHAI) Co Ltd
Priority date: 2018-03-09
Filing date: 2018-03-09
Publication date: 2018-11-20
Anticipated expiration: 2028-03-09

Abstract

本实用新型公布了一种单晶炉炉体升降装置，包括下炉，炉盖以及设置于炉盖上的上炉，下炉与底座密封连接，底座上方的下炉内设置有加热器，以及坩埚；下炉外壁固定设置有丝杆座，丝杆座上贯穿设置有丝杆，丝杆为相对设置的两个；丝杆下端延伸至与基座可旋转连接；丝杆的下端通过皮带传动件与电机连接；下炉与炉盖之间设置有连接座；连接座上部设置由于与炉盖下端相配合的台阶，连接座底部设置有截面为梯形的环槽，下炉的顶部设置有与环槽配合斜边；连接座的内壁设置有向炉体内部延伸的延伸部，其截面为三角形；下炉与底座之间设置有定位环。本实用新型的目的，提供一种单晶炉炉体升降装置，结构合理，受力好，运动平稳，精准定位，维护方便。

Description

一种单晶炉炉体升降装置

技术领域

本实用新型属于单晶硅生产领域，具体为一种单晶炉炉体升降装置。

背景技术

单晶炉是通过直拉法生产单晶硅的制造设备，使硅料在一定温度、压力、浓度、介质、pH等条件下由气相、液相、固相转化，形成特定线度尺寸晶体的过程。

单晶硅，即硅的单晶体，是一种比较活泼的非金属元素，具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等，用高纯度的多晶硅在长晶炉（单晶炉）内拉制而成，纯度要求达到99.999%，甚至达到99.99999%以上。

单晶炉一般主要包括炉底、下炉体、炉盖、上炉体、隔离阀等部分上下炉连接时，一般采用简单的台阶止口，受力较差，上下炉反复升降磨损后修复麻烦。并且对炉体来说，升降系统要求很高的安全性和可靠度，运动平稳。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对以上问题，提供一种单晶炉炉体升降装置，结构合理，受力好，运动平稳，精准定位，维护方便。

为实现以上目的，本实用新型采用的技术方案是：一种单晶炉炉体升降装置，包括下炉，炉盖以及设置于炉盖上的上炉，所述下炉与底座密封连接，底座上方的下炉内设置有加热器，以及坩埚；所述下炉外壁固定设置有丝杆座，所述丝杆座上贯穿设置有丝杆，所述丝杆为相对设置的两个；所述丝杆下端延伸至与基座可旋转连接；所述丝杆的下端通过皮带传动件与电机连接；所述下炉与炉盖之间设置有连接座；所述连接座上部设置由于与炉盖下端相配合的台阶，所述连接座底部设置有截面为梯形的环槽，所述下炉的顶部设置有与环槽配合斜边；所述连接座的内壁设置有向炉体内部延伸的延伸部，其截面为三角形；所述下炉与底座之间设置有定位环。

进一步的，所述皮带传动件包括传动皮带轮，所述传动皮带轮分别与相对设置的两个丝杆下部的从动皮带轮连接；所述传动皮带轮下端通过蜗轮蜗杆与驱动电机连接。

进一步的，所述延伸部上表面设置有胶层。

进一步的，所述定位环可拆卸的嵌入设置于底座上；所述定位环为U型，且定位环开口处的内凹面上边角处设置有密封胶条形成的凸边。

进一步的，加热器为双层结构，包括圆筒状内层，螺旋状外层。

本实用新型的有益效果：一种单晶炉炉体升降装置，结构合理，受力好，运动平稳，精准定位，维护方便；连接座不但提高了下炉与炉盖受力稳定性，也利于更换，在磨损替换即可连接座即可；此外，为了满足下炉与底座较高的平稳度和装配精度，在定位环开口处的内凹面上边角处设置有密封胶条形成的凸边，配合下炉底部末端的倒角，不仅在下降装配时可以避免与底座的刚性接触，还可以在完成安装后实现密封作用；加热器采用双层结构，锁热效果好。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图2为图1中A处局部放大示意图。

图3为图1中B处局部放大示意图。

图中所述文字标注表示为：1、下炉；10、斜边；11、炉盖；12、上炉；13、连接环；14、支撑脚；15、定位块；2、底座；3、加热器；31、坩埚；4、丝杆座；41、丝杆；5、驱动电机；6、连接座；。

具体实施方式

为了使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图对本实用新型进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本实用新型的保护范围有任何的限制作用。

如图1-图3所示，本实用新型的具体结构为：一种单晶炉炉体升降装置，包括下炉1，炉盖11以及设置于炉盖11上的上炉12，所述下炉1与底座2密封连接，底座2上方的下炉1内设置有加热器3，以及坩埚31；所述下炉1外壁固定设置有丝杆座4，所述丝杆座4上贯穿设置有丝杆41，所述丝杆41为相对设置的两个；所述丝杆41下端延伸至与基座40可旋转连接；所述丝杆41的下端通过皮带传动件与电机连接；所述下炉1与炉盖11之间设置有连接座6；所述连接座6上部设置由于与炉盖11下端相配合的台阶61，所述连接座6底部设置有截面为梯形的环槽62，所述下炉1的顶部设置有与环槽62配合斜边10；所述连接座6的内壁设置有向炉体内部延伸的延伸部63，其截面为三角形；所述下炉1与底座2之间设置有定位环7。

优选的，所述皮带传动件包括传动皮带轮43，所述传动皮带轮43分别与相对设置的两个丝杆41下部的从动皮带轮42连接；所述传动皮带轮43下端通过蜗轮蜗杆44与驱动电机5连接。

优选的，所述延伸部63上表面设置有胶层64。

优选的，所述定位环7可拆卸的嵌入设置于底座2上；所述定位环7为U型，且定位环7开口处的内凹面上边角处设置有密封胶条形成的凸边71。

优选的，加热器为双层结构，包括圆筒状内层，螺旋状外层。

需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，由于文字表达的有限性，而客观上存在无限的具体结构，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进、润饰或变化，也可以将上述技术特征以适当的方式进行组合；这些改进润饰、变化或组合，或未经改进将实用新型的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均应视为本实用新型的保护范围。

Claims

1.一种单晶炉炉体升降装置，包括下炉（1），炉盖（11）以及设置于炉盖（11）上的上炉（12），其特征在于，所述下炉（1）与底座（2）密封连接，底座（2）上方的下炉（1）内设置有加热器（3），以及坩埚（31）；所述下炉（1）外壁固定设置有丝杆座（4），所述丝杆座（4）上贯穿设置有丝杆（41），所述丝杆（41）为相对设置的两个；所述丝杆（41）下端延伸至与基座（40）可旋转连接；所述丝杆（41）的下端通过皮带传动件与电机连接；所述下炉（1）与炉盖（11）之间设置有连接座（6）；所述连接座（6）上部设置由于与炉盖（11）下端相配合的台阶（61），所述连接座（6）底部设置有截面为梯形的环槽（62），所述下炉（1）的顶部设置有与环槽（62）配合斜边（10）；所述连接座（6）的内壁设置有向炉体内部延伸的延伸部（63），其截面为三角形；所述下炉（1）与底座（2）之间设置有定位环（7）。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉炉体升降装置，其特征在于，所述皮带传动件包括传动皮带轮（43），所述传动皮带轮（43）分别与相对设置的两个丝杆（41）下部的从动皮带轮（42）连接；所述传动皮带轮（43）下端通过蜗轮蜗杆（44）与驱动电机（5）连接。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉炉体升降装置，其特征在于，所述延伸部（63）上表面设置有胶层（64）。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉炉体升降装置，其特征在于，所述定位环（7）可拆卸的嵌入设置于底座（2）上；所述定位环（7）为U型，且定位环（7）开口处的内凹面上边角处设置有密封胶条形成的凸边（71）。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉炉体升降装置，其特征在于，加热器为双层结构，包括圆筒状内层，螺旋状外层。