CN208121190U - 一种旋转靶材 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及磁控溅射靶材技术领域，具体到一种旋转靶材，旨在解决旋转靶材两端的背衬管易弯折的问题，其技术要点在于，一种旋转靶材，包括背衬管和套设于背衬管外的靶材体，所述背衬管和靶材体间通过焊料层相互接合，所述背衬管两端分别延伸于靶材体外侧，所述背衬管伸出靶材体的两端分别套设有套管，所述套管与背衬管螺纹连接，所述套管与靶材体抵接。套管增加了背衬管两端的整体厚度，有效提高背衬管的强度，防止背衬管弯折，并且，套管套设于背衬管外，防止背衬管两端在运输过程中受到撞击产生磨损。

Description

一种旋转靶材

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射靶材技术领域，更具体地说，它涉及一种旋转靶材。

背景技术

磁控溅射镀膜是目前镀膜行业应用广泛的镀膜沉积工艺。溅射镀膜的原理是在真空条件下，通过电子枪氩离子对靶材表面进行轰击，靶材表面材料以分子、原子、离子或电子等形式被溅射出来，飞溅到基板上沉积成膜。目前镀膜行 业使用的磁控溅射旋转靶材，包括衬管，其两端端部上均设有内凹的密封槽，用于放置密封圈以达到安装后的密封性。由于旋转靶材衬管一般由铝、铝合金、铜或铜合金制成，使得其自身强度不是很高，旋转靶材端部管壁较薄，在端部上设置密封槽，进一步减薄了端部管壁厚度，使得旋转靶材在运输和安装过程中容易出现变形而安装不上等情况，从而需要更换新的旋转靶材，造成极大的浪费。

现有公告号为CN204224696U的中国专利提供了一种磁控溅射旋转靶材，包括衬管及设置在衬管端部外周上的环形密封凸起，密封凸起与衬管为一体结构。该实用新型的磁控溅射旋转靶材，通过在衬管端头上设置密封凸起，在不减薄衬管端部厚度的情况下，增强端部的强度，在安装过程中不易变形，降低安装难度，提高合格率。

上述技术方案中仅在端部增加环形密封凸起，环形密封凸起对背衬管端部的强度的增大有限，未设环形密封凸起的部分仍易变形，设有环形密封凸起的部分受到较大的冲击时也容易变形，变形后的旋转靶材因无法安装而报废，造成浪费。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种旋转靶材，其具有更好地保护旋转靶材两端的背衬管，防止其弯折的优点。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种旋转靶材，包括背衬管和套设于背衬管外的靶材体，所述背衬管和靶材体间通过焊料层相互接合，所述背衬管两端分别延伸于靶材体外侧，所述背衬管伸出靶材体的两端分别套设有套管，所述套管与背衬管螺纹连接，所述套管与靶材体抵接。

通过采用上述技术方案，套管增加了背衬管两端的整体厚度，有效提高背衬管的强度，防止背衬管弯折，并且，套管套设于背衬管外，防止背衬管两端在运输过程中受到撞击产生磨损。

进一步的，所述套管周壁为两个同心管连接而成的双层结构，且所述套管沿背衬管轴线方向的截面上其周壁成“U”形，所述套管与背衬管外壁螺纹连接。

通过采用上述技术方案，双层的套管进一步增加了背衬管两端的厚度，有效提高背衬管的强度，防止其弯折，并防止背衬管内壁受到磨损。

进一步的，所述靶材体内壁设有若干凸起，所述凸起距靶材体轴线的最短距离大于背衬管的外径。

通过采用上述技术方案，凸起不影响背衬管穿设入靶材空腔内。

进一步的，所述凸起表面覆有粗糙层。

通过采用上述技术方案，粗糙的凸起表面与焊接层连接更紧密。

进一步的，所述凸起为球缺形，所述凸起的球缺形大于半球。

通过采用上述技术方案，焊料层与靶材体相互嵌合，即使焊料层冷却后体积收缩，焊料层与靶材体仍不易发生脱离。

进一步的，所述背衬管朝向靶材体侧开有若干凹槽。

通过采用上述技术方案，凹槽增大了焊料层与背衬管的接触面积，使得焊料层与背衬管连接更紧密。

进一步的，所述凹槽为球缺形，所述凹槽的球缺形大于半球。

通过采用上述技术方案，焊料层与背衬管相互嵌合，即使焊料层体积收缩，焊料层与背衬管仍不易发生脱离。

进一步的，所述焊料层为低熔点金属和热固性塑料的混合焊料层。

通过采用上述技术方案，将液态的低熔点金属和热固性塑料混合物填入靶材体与背衬管之间的间隙，以达到接合两者的目的。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

1.通过在伸出靶材体的背衬管的两端套设套管，套管增加了背衬管两端的整体厚度，有效提高背衬管的强度，防止背衬管弯折，并且，套管套设于背衬管外，防止背衬管两端在运输过程中受到撞击产生磨损；

2.通过在靶材体内壁设有球缺形凸起，且凸起的球缺形大于半球，焊料层与靶材体相互嵌合，即使焊料层冷却后体积收缩，焊料层与靶材体仍不易发生脱离；

3.通过在背衬管朝向靶材体侧开有球缺形凹槽，凹槽的球缺形大于半球，焊料层与背衬管相互嵌合，即使焊料层冷却后体积收缩，焊料层与背衬管仍不易发生脱离。

附图说明

图1为一种旋转靶材的整体结构立体图；

图2为一种旋转靶材的剖视图。

图中：1、背衬管；11、凹槽；2、焊料层；3、靶材体；31、凸起；4、套管。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

实施例：

一种旋转靶材，如图1和图2所示，包括位于内层的背衬管1和套设于背衬管1外的靶材体3，背衬管1和靶材体3间通过焊料层2相互接合，背衬管1两端分别延伸出靶材体3外侧，且两端对称。背衬管1伸出靶材体3的两端分别套设有套管4，且套管4抵接于靶材体3，套管4和背衬管1螺纹连接，从而套管4固定于靶材体3两端，增加了背衬管1两端的整体厚度，有效提高背衬管1的强度，防止背衬管1弯折，并且，套管4套设于背衬管1外，防止背衬管1两端在运输过程中受到撞击产生磨损。在旋转靶材的使用过程中，一般通过夹设旋转靶材的两端来安装旋转靶材，本实用新型的旋转靶材可将套管4拆除后安装旋转靶材，也可不拆除套管4直接安装，旋转靶材使用完后，套管4可取下重复利用。

如图2所示，套管4周壁为两个同心圆连接而成的双层结构，且套管4沿背衬管1轴线方向的截面上其周壁成“U”形，套管4进一步增加了背衬管1两端的整体厚度，有效提高背衬管1的强度，并防止背衬管1内壁受到磨损。

如图2所示，焊料层2为低熔点金属和热固性塑料的混合焊料层2，将液态混合物填入靶材体3与背衬管1之间的间隙，以达到接合两者的目的。由于焊料层2凝固时，其体积可能会收缩，在旋转靶材溅镀时累积的热和应力常常导致焊料层2从背衬管1或靶材体3局部脱离，若脱离面积过大会影响旋转靶材的使用。为了防止焊料层2与靶材体3脱离，靶材体3内壁设有若干凸起31，凸起31增大了焊料层2与靶材体3的接触面积，使得焊料层2与靶材体3连接更紧密，减少靶材体3与焊料层2大面积脱离的情况。凸起31距旋转靶材轴线的最短距离大于背衬管1的外径，从而凸起31不影响背衬管1穿设入靶材体3空腔内。

如图2所示，凸起31的表面覆有粗糙层，使得焊料层2和靶材体3的连接更紧密。凸起31为球缺形，凸起31的球缺形大于半球，焊料层2与靶材体3相互嵌合，即使焊料层2冷却后体积收缩，焊料层2与靶材体3仍不易发生脱离。

如图2所示，为了防止背衬管1与靶材体3脱离，背衬管1朝向靶材体3侧开有若干凹槽11，凹槽11增大了焊料层2与背衬管1的接触面积，使得焊料层2与背衬管1连接更紧密，减少焊料层2与背衬管1脱离的情况。凹槽11为球缺形，凹槽11的球缺形大于半球，焊料层2与背衬管1相互嵌合，即使焊料层2冷却后体积收缩，焊料层2与背衬管1仍不易发生脱离。焊料层2分别与背衬管1和靶材体3连接紧密，提高了旋转靶材的质量。

工作原理：将靶材体3套设在背衬管1的外部，靶材体3朝向背衬管1侧连接有若干凸起31，背衬管1朝向靶材体3侧设有若干凹槽11，向靶材体3和背衬管1间填入低熔点金属和热固性塑料的混合物，混合物嵌入背衬管1和靶材体3间的空隙，将靶材体3和背衬管1相互接合。焊料层2与靶材体3和背衬管1分别相互嵌合，即使焊料层2冷却后体积收缩，焊料层2与靶材体3和背衬管1仍不易发生脱离。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种旋转靶材，包括背衬管（1）和套设于背衬管（1）外的靶材体（3），所述背衬管（1）和靶材体（3）间通过焊料层（2）相互接合，其特征在于：所述背衬管（1）两端分别延伸于靶材体（3）外侧，所述背衬管（1）伸出靶材体（3）的两端分别套设有套管（4），所述套管（4）与背衬管（1）螺纹连接，所述套管（4）与靶材体（3）抵接。

2.根据权利要求1所述的一种旋转靶材，其特征在于：所述套管（4）周壁为两个同心管连接而成的双层结构，且所述套管（4）沿背衬管（1）轴线方向的截面上其周壁成“U”形，所述套管（4）与背衬管（1）外壁螺纹连接。

3.根据权利要求2所述的一种旋转靶材，其特征在于：所述靶材体（3）内壁设有若干凸起（31），所述凸起（31）距靶材体（3）轴线的最短距离大于背衬管（1）的外径。

4.根据权利要求3所述的一种旋转靶材，其特征在于：所述凸起（31）表面覆有粗糙层。

5.根据权利要求3所述的一种旋转靶材，其特征在于：所述凸起（31）为球缺形，所述凸起（31）的球缺形大于半球。

6.根据权利要求2所述的一种旋转靶材，其特征在于：所述背衬管（1）朝向靶材体（3）侧开有若干凹槽（11）。

7.根据权利要求6所述的一种旋转靶材，其特征在于：所述凹槽（11）为球缺形，所述凹槽（11）的球缺形大于半球。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的一种旋转靶材，其特征在于：所述焊料层（2）为低熔点金属和热固性塑料的混合焊料层（2）。