CN208099522U - 一种用于掩膜电解加工的复合运动装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于掩膜电解加工的复合运动装置，包括挂板，固定接头，电解加工单元，它还包括电机、电机固定座、联轴器、传动轴、轴承、轴承座；挂板带动安装在其正面的电机做周向平动，电机通过联轴器、传动轴和固定接头带动电解加工单元做正反向循环旋转；本实用新型提出一种电解加工单元在竖直平面做圆周平动的同时绕自身的轴线做一定角度的正反向循环转动的复合运动方式，改变以往单一的进液模式，从正向和侧向同时进液，提高加工区域内电解液的更替速度，电解产物得到及时地排出，从而提高工件表面微坑阵列的均匀性和增大微坑的深径比。

Description

一种用于掩膜电解加工的复合运动装置

技术领域

本实用新型涉及一种用于掩膜电解加工的复合运动装置，属于掩膜电解加工领域。

背景技术

掩膜电解加工是一种在工件阳极附着含有大量镂空图形结构的电绝缘屏蔽膜（即掩膜）的特殊形式的电解加工方法。它可单面加工也可双面同时加工。加工时，工件阳极未被掩膜图形屏蔽的区域被选择性的溶解去除，从而一次性形成数量众多且形状各异的群坑或群孔结构。因此，掩膜电解加工在金属微结构阵列制造方面颇具工艺优势。现有的掩膜电解加工技术极间电解液的供给（主要有正流式冲液、反流式冲液和侧流式冲液等供液方式）基本上都是通过泵送方式实现的。这种供液方式在极间所激发的液流路径基本固定，且具有明显的方向性和流速梯度特征。这些常常也是掩膜电解加工结构尺寸不均匀的主要原因之一。

为此，专利号为201810016924.9提出了一种掩膜电解加工装置，改变以往泵送电解液的方式，采用加工单元在电解液中做周向平动的方式对加工区域供给电解液，这种进液方式使加工装置结构简化，同时加工效果得到了改善，但是这种供液方式依然存在供液不足、产物不能及时排出的问题。为此，本专利提出了一种新的掩膜电解加工装置，采用电解加工单元在电解液中做周向平动的同时绕自身的轴线做正反向循环转动的复合运动方式，使得电解液充分进入加工区域、加工产物得到及时的排出，进而提高加工质量。

发明内容

针对目前掩膜电解加工技术的不足，本实用新型提出一种用于掩膜电解加工的复合运动装置，使电解加工单元在竖直平面做圆周运动的同时绕自身的轴线做一定角度的正反向循环转动，以期能在金属片上加工出更加均匀，深径比更大的微坑阵列。

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种用于掩膜电解加工的复合运动装置，包括挂板，固定接头，电解加工单元，其特征是：它还包括电机、电机固定座、联轴器、传动轴、轴承、轴承座；所述的电机固定安设于电机固定座上；所述的电机固定座固定安设于挂板的正面；所述的传动轴的上端通过联轴器与电机的输出轴同轴线联接；所述的传动轴同轴线安设于轴承的内圈，且所述的传动轴的轴线为竖直方向；所述的轴承同轴线固定在轴承座上；所述的轴承座固定安设于挂板的正面；所述的电解加工单元通过固定接头可拆卸地安装在传动轴的下端。

所述的电机做正反向循环旋转，转动角度为正负30度。

所述的挂板在竖直平面内做周向平动。

本实用新型的工作原理为:挂板带动安装在其正面的电机在竖直平面内做周向平动，电机通过联轴器、传动轴和固定接头带动电解加工单元做正反向循环旋转，经过运动合成带动电解加工单元在电解液中做圆周平动的同时绕自身的轴线做正反向循环旋转，这种运动方式使电解液从正向和侧向同时进入电解加工单元，进而增大加工区域内的流量和流速，电解产物得到及时地排出，从而提高工件表面微坑阵列的均匀性和增大微坑的深径比。

综上所述。本实用新型与现有技术相比具有以下优点：

1、改变以往单一的进液方式，从正向和侧向同时进液，使得进入加工区域的电解液流量更多、流速更快，电解产物能够及时的排出，工件的加工质量更好。

2、装置结构简单，便于操作，挂板和电机设在加工区域的上方，远离电解液，进而也避免了电解液对装置的电化学腐蚀。

附图说明

图1为本实用新型装置结构示意图。

图中标号名称：1、连板；2、电机固定座；3、电机；4、联轴器；5、轴承；6、轴承座；7、传动轴；8、固定接头；9、电解加工单元。

具体实施方式

下面结合图1对本实用新型的实施做进一步的详细说明: 一种用于掩膜电解加工的复合运动装置，包括挂板1，固定接头8，电解加工单元9，其特征是：它还包括电机3、电机固定座2、联轴器4、传动轴7、轴承5、轴承座6；所述的电机3固定安设于电机固定座2上；所述的电机固定座2固定安设于挂板1的正面；所述的传动轴7的上端通过联轴器4与电机3的输出轴同轴线联接；所述的传动轴7同轴线安设于轴承5的内圈，且所述的传动轴7的轴线为竖直方向；所述的轴承5同轴线固定在轴承座6上；所述的轴承座6固定安设于挂板1的正面；所述的电解加工单元9通过固定接头8可拆卸地安装在传动轴7的下端。

电机3做正反向循环旋转，转动角度为正负30度。

挂板1在竖直平面内做周向平动。

挂板1带动安装在其正面的电机3在竖直平面内做圆周平动，电机3通过联轴器4、传动轴7和固定接头8带动电解加工单元9做正反向循环旋转，经过运动合成带动电解加工单元9在电解液中做圆周平动运动的同时中绕自身的轴线做正反向循环旋转，因此电解液会从正向和侧向同时进入电解加工单元9，使得加工区域内的电解液流量更大、流速更快，电解加工单元9内的电解液得到快速地更替，电解产物得到及时的排出，进而提高加工质量。

Claims (3)

1.一种用于掩膜电解加工的复合运动装置，包括挂板（1），固定接头（8），电解加工单元（9），其特征是：它还包括电机（3）、电机固定座（2）、联轴器（4）、传动轴（7）、轴承（5）、轴承座（6）；所述的电机（3）固定安设于电机固定座（2）上；所述的电机固定座（2）固定安设于挂板（1）的正面；所述的传动轴（7）的上端通过联轴器（4）与电机（3）的输出轴同轴线联接；所述的传动轴（7）同轴线安设于轴承（5）的内圈，且所述的传动轴（7）的轴线为竖直方向；所述的轴承（5）同轴线固定在轴承座（6）上；所述的轴承座（6）固定安设于挂板（1）的正面；所述的电解加工单元（9）通过固定接头（8）可拆卸地安装在传动轴（7）的下端。

2.根据权利要求1所述的一种用于掩膜电解加工的复合运动装置，其特征在于：所述的电机（3）做正反向循环旋转，转动角度为正负30度。

3.根据权利要求1所述的一种用于掩膜电解加工的复合运动装置，其特征在于：所述的挂板（1）在竖直平面内做周向平动。