CN208060037U - 真空室活动片架测温装置 - Google Patents
真空室活动片架测温装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN208060037U CN208060037U CN201820075617.3U CN201820075617U CN208060037U CN 208060037 U CN208060037 U CN 208060037U CN 201820075617 U CN201820075617 U CN 201820075617U CN 208060037 U CN208060037 U CN 208060037U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- vacuum chamber
- horse
- temperature measuring
- measuring equipment
- chamber activity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种真空室活动片架测温装置，包括分布在片架一侧边的声表面波无线无源传感器陈列，安装于真空室内远离磁控溅射区的传输天线，以及安装在真空室外与真空室内传输天线连接的信号处理装置。本实用新型的真空室活动片架测温系统，解决了传统热电偶测量系统无法在线测量活动片架温度的问题，同时采用传感器阵列解决了大片架在不同区域温度分布不均而无法全面测量的问题。
Description
技术领域
本实用新型属于真空镀膜领域，具体涉及一种真空室活动片架测温装置。
背景技术
传统真空系统内片架台测温采用铠甲封装的热电偶形式，此时若采用热电偶接触片架台测量，可以获得更准确的片架台温度，但是限制片架台运动；若采用热电偶悬空片架台测量，则获得的片架台温度并不准确。其次，单个热电偶单个点测量片架台的温度无法准确代表整个片架台的温度分布，若采用多个热电偶则有布线过于复杂的问题。
实用新型内容
针对上述问题，本实用新型提出一种真空室活动片架测温装置，它可以获得详细的片架表面的温度分布情况，且可以对活动片架实现在线测温。
实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型通过以下技术方案实现：
真空室活动片架测温装置，包括分布在片架一侧边的声表面波无线无源传感器，安装于真空室内远离磁控溅射区的传输天线，以及安装在真空室外与真空室内传输天线连接的信号处理装置，所述声表面波无线无源传感器和以及信号处理装置均和传输天线无线连接。
进一步的，所述声表面波无线无源传感器的数量为若干个，呈竖直阵列排布，其排布方向与片架的运动方向垂直。
进一步的，所述传输天线形式为偶极子、单极子、螺旋、贴片等形式中的一种。
进一步的，所述信号处理装置为射频读取器，包括射频收发模块、信号处理模块与检测结果显示模块。
进一步的，所述声表面波无线无源传感器包括声表面波器件和集成天线，集成天线为偶极子天线，声表面波器件与集成天线电连接。
进一步的，声表面波器件用绝缘材料进行封装。
进一步的，声表面波器件为SAW-RFID器件，具有编码功能。
本实用新型的有益效果：本实用新型的解决了传统热电偶测量系统无法在线测量活动片架温度的问题，同时采用传感器阵列解决了大片架在不同区域温度分布不均而而无法全面测量的问题。
附图说明
图1为本实用新型的一种实施例中真空室活动片架测温装置的片架前视图；
图2为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
下面结合附图对本实用新型的应用原理作详细的描述。
如图1-图2所示，真空室活动片架测温装置，包括分布在片架1一侧边的声表面波无线无源传感器2，安装于真空室内远离磁控溅射区的传输天线，以及安装在真空室外与真空室内传输天线连接的信号处理装置，所述声表面波无线无源传感器和以及信号处理装置均和传输天线无线连接。
在本实用新型的一种实施例中，所述声表面波无线无源传感器2的数量为若干个，呈竖直阵列排布，其排布方向与片架1的运动方向垂直。
在本实用新型的一种实施例中，所述安装于真空室内远离磁控溅射区的传输天线为偶极子、单极子、螺旋、贴片等形式中的一种。
在本实用新型的一种实施例中，所述安装在真空室外与真空室内传输天线连接的信号处理装置为射频读取器，包括射频收发模块、信号处理模块与检测结果显示模块。
在本实用新型的一种实施例中，所述声表面波无线无源传感器包括声表面波器件和集成天线两部分，声表面波器件与集成天线电连接，声表面波器件通过集成天线和真空室内远离磁控溅射区的传输天线进行信息交流，所述声表面波器件为SAW-RFID器件，具有编码功能。
综上所述，本实用新型的工作原理是：
在以上安装有声表面波无线无源传感器阵列的片架放入真空镀膜系统中，片架进入镀膜室后，由于常规真空室由不锈钢等导体构成，对电磁信号具有屏蔽作用，所以将传输天线安装于远离磁控溅射区的真空室内。镀膜进行时，片架在真空室内来回移动，射频读取器通过真空室内的传输天线向声表面波无线无源传感器发送一段射频脉冲，声表面波器件通过集成天线接收这段信号，并将其转换为声波信号，声波信号传播过程中会带上编码信息和温度信息，然后通过压电效应再转换为电信号，传回射频读取器，从而实现测温。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (7)
1.真空室活动片架测温装置，其特征在于：包括分布在片架一侧边的声表面波无线无源传感器，安装于真空室内远离磁控溅射区的传输天线，以及安装在真空室外与真空室内传输天线连接的信号处理装置，所述声表面波无线无源传感器和以及信号处理装置均和传输天线无线连接。
2.根据权利要求1所述的真空室活动片架测温装置，其特征在于：所述声表面波无线无源传感器的数量为若干个，呈竖直阵列排布，其排布方向与片架的运动方向垂直。
3.根据权利要求1所述的真空室活动片架测温装置，其特征在于：所述传输天线形式为偶极子、单极子、螺旋、贴片中的一种。
4.根据权利要求1所述的真空室活动片架测温装置，其特征在于：所述信号处理装置为射频读取器，包括射频收发模块、信号处理模块与检测结果显示模块。
5.根据权利要求1所述的真空室活动片架测温装置，其特征在于：所述声表面波无线无源传感器包括声表面波器件和集成天线，集成天线为偶极子天线，声表面波器件与集成天线电连接。
6.根据权利要求5所述的真空室活动片架测温装置，其特征在于：声表面波器件用绝缘材料进行封装。
7.根据权利要求5所述的真空室活动片架测温装置，其特征在于：声表面波器件为SAW-RFID器件，具有编码功能。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201820075617.3U CN208060037U (zh) | 2018-01-17 | 2018-01-17 | 真空室活动片架测温装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201820075617.3U CN208060037U (zh) | 2018-01-17 | 2018-01-17 | 真空室活动片架测温装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN208060037U true CN208060037U (zh) | 2018-11-06 |
Family
ID=63994972
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201820075617.3U Active CN208060037U (zh) | 2018-01-17 | 2018-01-17 | 真空室活动片架测温装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN208060037U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108181020A (zh) * | 2018-01-17 | 2018-06-19 | 浙江大学昆山创新中心 | 真空室活动片架在线测温系统 |
-
2018
- 2018-01-17 CN CN201820075617.3U patent/CN208060037U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108181020A (zh) * | 2018-01-17 | 2018-06-19 | 浙江大学昆山创新中心 | 真空室活动片架在线测温系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN106092376B (zh) | 一种无线测温校正装置及方法 | |
| He et al. | Clothing-integrated passive RFID strain sensor platform for body movement-based controlling | |
| CN208060037U (zh) | 真空室活动片架测温装置 | |
| CN110659711A (zh) | 一种用于电缆接头的rfid测温标签及安装方法、测温方法 | |
| CN104198023A (zh) | 一种奶牛自动测量体重装置 | |
| Chen et al. | Experimental validation of a new measurement metric for radio-frequency identification-based shock-sensor systems | |
| US11054454B2 (en) | Wireless passive field strength probe | |
| CN202887225U (zh) | 声表面波无线无源传感器系统的读写器 | |
| CN108181020A (zh) | 真空室活动片架在线测温系统 | |
| CN207163598U (zh) | 一种电缆接头测温系统 | |
| CN208043280U (zh) | 真空镀膜腔内无线无源温度测量装置 | |
| CN207636196U (zh) | 温度贴片及温度检测系统 | |
| Padmal et al. | RFID Tags as Passive Temperature Sensors | |
| CN213850663U (zh) | 测温装置及射频识别系统 | |
| CN205003705U (zh) | 一种应用于人体体表的基于nfc射频协议的体温检测标签 | |
| CN205176246U (zh) | 一种电导率仪自动校准系统 | |
| KR20140008837A (ko) | 표면 탄성파 센서를 이용한 무선 온도 감시 시스템 | |
| CN210243748U (zh) | 无线无源探头 | |
| CN205404449U (zh) | 基于超宽带信号的粮食水分检测系统 | |
| CN206593765U (zh) | 一种面向物联网的无线温度感应设备 | |
| CN206546212U (zh) | 一种变压器无线测温定位装置 | |
| CN207396729U (zh) | 电池压制检测结构和热压装置 | |
| CN107941320A (zh) | 一种基于相位差的高精度声速测量装置 | |
| CN204007915U (zh) | 一种智能温度计 | |
| CN221612270U (zh) | 一种整流柜二极管测温系统 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |