CN108181020A - 真空室活动片架在线测温系统 - Google Patents

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陶翔
金浩
王德苗
李东滨
秦正春
冯斌
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
    • G01K7/02—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using thermoelectric elements, e.g. thermocouples

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Abstract

本发明公开了一种真空室活动片架在线测温系统，包括分布在片架一侧边的声表面波无线无源传感器陈列，安装于真空室内远离磁控溅射区的传输天线，以及安装在真空室外与真空室内传输天线连接的信号处理装置。本发明的真空室活动片架测温系统，解决了传统热电偶测量系统无法在线测量活动片架温度的问题，同时采用传感器阵列解决了大片架在不同区域温度分布不均而无法全面测量的问题。

Description

真空室活动片架在线测温系统
技术领域
本发明属于真空镀膜领域，具体涉及一种真空室活动片架在线测温系统。
背景技术
传统真空系统内片架台测温采用铠甲封装的热电偶形式，此时若采用热电偶接触片架台测量，可以获得更准确的片架台温度，但是限制片架台运动；若采用热电偶悬空片架台测量，则获得的片架台温度并不准确。其次，单个热电偶单个点测量片架台的温度无法准确代表整个片架台的温度分布，若采用多个热电偶则有布线过于复杂的问题。
发明内容
针对上述问题，本发明提出一种真空室活动片架在线测温系统，它可以获得详细的片架表面的温度分布情况，且可以对活动片架实现在线测温。
实现上述技术目的，达到上述技术效果，本发明通过以下技术方案实现：
真空室活动片架在线测温系统，包括分布在片架一侧边的声表面波无线无源传感器，安装于真空室内远离磁控溅射区的传输天线，以及安装在真空室外与真空室内传输天线连接的信号处理装置，所述声表面波无线无源传感器和以及信号处理装置均和传输天线无线连接。
进一步的，所述声表面波无线无源传感器的数量为若干个，呈竖直阵列排布，其排布方向与片架的运动方向垂直。
进一步的，所述声表面波无线无源传感器阵列具有编码功能。
进一步的，所述传输天线形式为偶极子、单极子、螺旋、贴片等形式中的一种。
进一步的，所述信号处理装置为射频读取器，包括射频收发模块、信号处理模块与检测结果显示模块。
进一步的，所述声表面波无线无源传感器包括声表面波器件和集成天线，声表面波器件为SAW-RFID器件，具有编码功能，集成天线为偶极子天线，声表面波器件与集成天线电连接。
进一步的，声表面波器件用绝缘材料进行封装。
本发明的有益效果：本发明的解决了传统热电偶测量系统无法在线测量活动片架温度的问题，同时采用传感器阵列解决了大片架在不同区域温度分布不均而而无法全面测量的问题。
附图说明
图1为本发明的一种实施例中真空室活动片架在线测温系统的片架前视图；
图2为本发明的结构示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
下面结合附图对本发明的应用原理作详细的描述。
如图1-图2所示，真空室活动片架在线测温系统，包括分布在片架1一侧边的声表面波无线无源传感器2，安装于真空室内远离磁控溅射区的传输天线，以及安装在真空室外与真空室内传输天线连接的信号处理装置，所述声表面波无线无源传感器和以及信号处理装置均和传输天线无线连接。
在本发明的一种实施例中，所述声表面波无线无源传感器2的数量为若干个，呈竖直阵列排布，其排布方向与片架1的运动方向垂直。
在本发明的一种实施例中，所述声表面波无线无源传感器阵列具有编码功能。。
在本发明的一种实施例中，所述安装于真空室内远离磁控溅射区的传输天线为偶极子、单极子、螺旋、贴片等形式中的一种。
在本发明的一种实施例中，所述安装在真空室外与真空室内传输天线连接的信号处理装置为射频读取器，包括射频收发模块、信号处理模块与检测结果显示模块。
在本发明的一种实施例中，所述声表面波无线无源传感器包括声表面波器件和集成天线两部分，声表面波器件与集成天线电连接，声表面波器件通过集成天线和真空室内远离磁控溅射区的传输天线进行信息交流。
综上所述，本发明的工作原理是：
在以上安装有声表面波无线无源传感器阵列的片架放入真空镀膜系统中，片架进入镀膜室后，由于常规真空室由不锈钢等导体构成，对电磁信号具有屏蔽作用，所以将传输天线安装于远离磁控溅射区的真空室内。镀膜进行时，片架在真空室内来回移动，射频读取器通过真空室内的传输天线向声表面波无线无源传感器发送一段射频脉冲，声表面波器件通过集成天线接收这段信号，并将其转换为声波信号，声波信号传播过程中会带上编码信息和温度信息，然后通过压电效应再转换为电信号，传回射频读取器，从而实现在线测温。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (7)

1.真空室活动片架在线测温系统，其特征在于：包括分布在片架一侧边的声表面波无线无源传感器，安装于真空室内远离磁控溅射区的传输天线，以及安装在真空室外与真空室内传输天线连接的信号处理装置，所述声表面波无线无源传感器和以及信号处理装置均和传输天线无线连接。
2.根据权利要求1所述的真空室活动片架在线测温系统，其特征在于：所述声表面波无线无源传感器的数量为若干个，呈竖直阵列排布，其排布方向与片架的运动方向垂直。
3.根据权利要求1所述的真空室活动片架在线测温系统，其特征在于：声表面波无线无源传感器阵列具有编码功能。
4.根据权利要求1所述的真空室活动片架在线测温系统，其特征在于：所述传输天线形式为偶极子、单极子、螺旋、贴片等形式中的一种。
5.根据权利要求1所述的真空室活动片架在线测温系统，其特征在于：所述信号处理装置为射频读取器，包括射频收发模块、信号处理模块与检测结果显示模块。
6.根据权利要求1所述的真空室活动片架在线测温系统，其特征在于：所述声表面波无线无源传感器包括声表面波器件和集成天线，声表面波器件为SAW-RFID器件，具有编码功能，集成天线为偶极子天线，声表面波器件与集成天线电连接。
7.根据权利要求6所述的真空室活动片架在线测温系统，其特征在于：声表面波器件用绝缘材料进行封装。
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