CN208005010U - 一种硅片切割机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及切割机技术领域，且公开了一种硅片切割机，包括支腿，所述支腿的顶端固定连接有工作台，所述工作台的底端固定连接有集尘罩，所述集尘罩内部固定连接有风机，所述工作台的顶端固定连接有齿带，所述齿带的表面滚动连接有齿盘，所述齿盘的轴心处通过支杆内部的轴承固定连接在第一电机的输出端，所述支杆的顶端固定连接有提升箱，所述提升箱的一侧固定连接有第二电机，所述第二电机的输出端固定连接有主动圆锥齿盘。该硅片切割机，切割方便，进一步因其切割是非接触式的，对工件本身无机械冲压力，工件不易变形，热影响小，切割精度高，切口边缘更平整光滑、无裂缝，从而达到了切割精度高的目的。

Description

一种硅片切割机

技术领域

本实用新型涉及切割机技术领域，具体为一种硅片切割机。

背景技术

硅片切割机又名硅片激光切割机、激光划片机。硅片切割机工作原理是利用高能激光束照射在工件表面，使被照射区域局部熔化、气化、从而实现硅材料的切割；硅片切割机主要用于金属材料及硅、锗、砷化镓和其他半导体衬底材料的划片和切割，可加工太阳能电池板、硅片、陶瓷片、铝箔片等，工件精细美观，切边光滑，可极大地提高加工效率和优化加工效果，目前，硅片切片较多采用内圆切割和自由磨粒的多线切割及电火花切割，这些传统的切割方法切割的精度不高，切面的粗糙度比较大，加工效率低；另外，由于硅材料具有脆、硬等特点，要求硅片有极高的平面度精度和极小的表面粗糙度，所有这些要求提高了硅片的加工难度，因此我们提出了一种硅片切割机来解决上述问题。

实用新型内容

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种硅片切割机，具备切割精度高等优点，解决了现有硅片切割机使用效果不佳的问题。

（二）技术方案

为实现上述切割精度高的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片切割机，包括支腿，所述支腿的顶端固定连接有工作台，所述工作台的底端固定连接有集尘罩，所述集尘罩内部固定连接有风机，所述工作台的顶端固定连接有齿带，所述齿带的表面滚动连接有齿盘，所述齿盘的轴心处通过支杆内部的轴承固定连接在第一电机的输出端，所述支杆的顶端固定连接有提升箱，所述提升箱的一侧固定连接有第二电机，所述第二电机的输出端固定连接有主动圆锥齿盘，所述主动圆锥齿盘的表面啮合有从动圆锥齿盘，所述从动圆锥齿盘的底端通过推力球轴承与限位杆固定连接，所述从动圆锥齿盘的表面啮合有位于提升箱内部一侧的辅助圆锥齿盘，所述从动圆锥齿盘的轴心处固定连接有螺纹套，所述螺纹套的内部螺纹连接有第一螺纹杆， 所述第一螺纹杆的表面螺纹连接有支架，所述支架的表面固定连接有电动推杆，所述电动推杆的底端固定连接有负压器，所述负压器的底端与真空吸盘连通，所述支架的一侧固定连接有第三电机，所述第三电机的输出端固定连接有第二螺纹杆，所述第二螺纹杆的表面螺纹连接有螺纹块，所述螺纹块的底端固定连接有激光器。

优选的，所述第一螺纹杆的顶端固定连接有限位块，且第一螺纹杆的表面通过螺纹帽与支架螺纹连接，且螺纹帽与支架固定连接。

优选的，所述电动推杆的数量有四个，且四个电动推杆均匀分布在支架的表面。

优选的，所述工作台的表面开设有吸尘通道，且集尘罩的内部设置有过滤网。

优选的，所述提升箱的数量有四个，且四个提升箱均匀分布在支架的两侧。

优选的，所述所述激光器的一侧转动连接有调节旋钮，所述调节旋钮的一侧螺纹连接有位于激光器内部的聚焦镜片，所述聚焦镜片的正下方固定连接有位于激光器内部的保护镜片。

（三）有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种硅片切割机，具备以下有益效果：

该硅片切割机，通过设置集尘罩方便对激光切割后的杂质进行收集，通过齿带和齿盘方便移动且移动位置精确，同时通过提升箱方便对支架进行上下移动，在方便对焦的同时，方便电动推杆带动负压器以及真空吸盘对硅片进行固定，在硅片固定后可通过齿带和齿盘进行横向移动，进一步通过第二螺纹杆带动激光器竖向切割，在保证了横向切割的同时方便竖向进行切割，切割方便，进一步因其切割是非接触式的，对工件本身无机械冲压力，工件不易变形，热影响小，切割精度高，切口边缘更平整光滑、无裂缝，从而达到了切割精度高的目的。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型提升箱内部结构示意图；

图3为本实用新型支架结构俯视图。

图中：1支腿、2工作台、3集尘罩、4风机、5齿带、6齿盘、7第一电机、8支杆、9提升箱、10第二电机、11主动圆锥齿盘、12从动圆锥齿盘、13限位杆、14辅助圆锥齿盘、15螺纹套、16第一螺纹杆、17支架、18电动推杆、19负压器、20真空吸盘、21第三电机、22第二螺纹杆、23螺纹块、24激光器、25调节旋钮、26聚焦镜片、27保护镜片。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，一种硅片切割机，包括支腿1，支腿1的顶端固定连接有工作台2，工作台2的底端固定连接有集尘罩3，工作台2的表面开设有吸尘通道，且集尘罩3的内部设置有过滤网，集尘罩3内部固定连接有风机4，工作台2的顶端固定连接有齿带5，齿带5的表面滚动连接有齿盘6，齿盘6的轴心处通过支杆8内部的轴承固定连接在第一电机7的输出端，支杆8的顶端固定连接有提升箱9，提升箱9的一侧固定连接有第二电机10，第二电机10的输出端固定连接有主动圆锥齿盘11，主动圆锥齿盘11的表面啮合有从动圆锥齿盘12，从动圆锥齿盘12的底端通过推力球轴承与限位杆13固定连接，从动圆锥齿盘12的表面啮合有位于提升箱9内部一侧的辅助圆锥齿盘14，从动圆锥齿盘12的轴心处固定连接有螺纹套15，螺纹套15的内部螺纹连接有第一螺纹杆16， 第一螺纹杆16的表面螺纹连接有支架17，第一螺纹杆16的顶端固定连接有限位块，且第一螺纹杆16的表面通过螺纹帽与支架17螺纹连接，且螺纹帽与支架17固定连接，提升箱9的数量有四个，且四个提升箱9均匀分布在支架17的两侧，电动推杆18的数量有四个，且四个电动推杆18均匀分布在支架17的表面，支架17的表面固定连接有电动推杆18，电动推杆18的底端固定连接有负压器19，负压器19的底端与真空吸盘20连通，支架17的一侧固定连接有第三电机21，第三电机21的输出端固定连接有第二螺纹杆22，第二螺纹杆22的表面螺纹连接有螺纹块23，螺纹块23的底端固定连接有激光器24，激光器24的一侧转动连接有调节旋钮25，调节旋钮25的一侧螺纹连接有位于激光器24内部的聚焦镜片26，聚焦镜片26的正下方固定连接有位于激光器24内部的保护镜片27，通过设置集尘罩3方便对激光切割后的杂质进行收集，通过齿带5和齿盘6方便移动且移动位置精确，同时通过提升箱9方便对支架17进行上下移动，在方便对焦的同时，方便电动推杆18带动负压器19以及真空吸盘20对硅片进行固定，在硅片固定后可通过齿带5和齿盘6进行横向移动，进一步通过第二螺纹杆22带动激光器24竖向切割，在保证了横向切割的同时方便竖向进行切割，切割方便，进一步因其切割是非接触式的，对工件本身无机械冲压力，工件不易变形，热影响小，切割精度高，切口边缘更平整光滑、无裂缝，从而达到了切割精度高的目的。

该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220V市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。

在使用时，将硅片放置在工作台2上，然后通过先通过调节旋钮25螺纹调节聚焦镜片26进行对焦，然后通过提升箱9一侧的第二电机10进行转动，使得第二电机10带动主动圆锥齿盘11进行转动，主动圆锥齿盘11带动从动圆锥齿盘12和辅助圆锥齿盘14进行转动，通过限位杆13对从动圆锥齿盘12进行限位，然后通过提升或降低支架17的位置，对焦完毕后，同时启动电动推杆18带动负压器19和真空吸盘20进行对硅片位置固定，在竖向切割完毕后，调整好硅片位置后真空吸盘20释放硅片，然后电动推杆18收回，通过第一电机7带动齿盘6在齿带5上进行移动对硅片进行横向切割。

综上所述，该硅片切割机，具备切割精度高等优点，解决了现有硅片切割机使用效果不佳的问题。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种硅片切割机，包括支腿（1），其特征在于：所述支腿（1）的顶端固定连接有工作台（2），所述工作台（2）的底端固定连接有集尘罩（3），所述集尘罩（3）内部固定连接有风机（4），所述工作台（2）的顶端固定连接有齿带（5），所述齿带（5）的表面滚动连接有齿盘（6），所述齿盘（6）的轴心处通过支杆（8）内部的轴承固定连接在第一电机（7）的输出端，所述支杆（8）的顶端固定连接有提升箱（9），所述提升箱（9）的一侧固定连接有第二电机（10），所述第二电机（10）的输出端固定连接有主动圆锥齿盘（11），所述主动圆锥齿盘（11）的表面啮合有从动圆锥齿盘（12），所述从动圆锥齿盘（12）的底端通过推力球轴承与限位杆（13）固定连接，所述从动圆锥齿盘（12）的表面啮合有位于提升箱（9）内部一侧的辅助圆锥齿盘（14），所述从动圆锥齿盘（12）的轴心处固定连接有螺纹套（15），所述螺纹套（15）的内部螺纹连接有第一螺纹杆（16），所述第一螺纹杆（16）的表面螺纹连接有支架（17），所述支架（17）的表面固定连接有电动推杆（18），所述电动推杆（18）的底端固定连接有负压器（19），所述负压器（19）的底端与真空吸盘（20）连通，所述支架（17）的一侧固定连接有第三电机（21），所述第三电机（21）的输出端固定连接有第二螺纹杆（22），所述第二螺纹杆（22）的表面螺纹连接有螺纹块（23），所述螺纹块（23）的底端固定连接有激光器（24）。

2.根据权利要求1所述的一种硅片切割机，其特征在于：所述第一螺纹杆（16）的顶端固定连接有限位块，且第一螺纹杆（16）的表面通过螺纹帽与支架（17）螺纹连接，且螺纹帽与支架（17）固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种硅片切割机，其特征在于：所述电动推杆（18）的数量有四个，且四个电动推杆（18）均匀分布在支架（17）的表面。

4.根据权利要求1所述的一种硅片切割机，其特征在于：所述工作台（2）的表面开设有吸尘通道，且集尘罩（3）的内部设置有过滤网。

5.根据权利要求1所述的一种硅片切割机，其特征在于：所述提升箱（9）的数量有四个，且四个提升箱（9）均匀分布在支架（17）的两侧。

6.根据权利要求1所述的一种硅片切割机，其特征在于：所述激光器（24）的一侧转动连接有调节旋钮（25），所述调节旋钮（25）的一侧螺纹连接有位于激光器（24）内部的聚焦镜片（26），所述聚焦镜片（26）的正下方固定连接有位于激光器（24）内部的保护镜片（27）。