CN207957778U - 一种还原炉钟罩旋转装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种还原炉钟罩旋转装置，包括电机，所述电机上端连接有转轴，所述转轴底端套接有水平旋转平台，所述水平旋转平台顶端固定安装有支撑翼，所述水平旋转平台顶端通过第一固定螺钉固定安装有工装夹具，所述工装夹具内侧壁安装有弧形卡条，所述弧形卡条内侧壁中部开有竖槽，所述竖槽内端设有吸盘，所述弧形卡条内侧壁设有防滑楞，所述工装夹具内端设有橡胶夹块，所述工装夹具内腔设有还原炉钟罩。本实用新型通过设置水平旋转平台、支撑翼、工装夹具、弧形卡条、吸盘、防滑楞和橡胶夹块，能够为还原炉钟罩的旋转喷涂作业提供一个稳定的喷涂环境，运行稳定、操作简便、易于实现，极具生产实用性。

Description

一种还原炉钟罩旋转装置

技术领域

本实用新型涉及工业技术领域，具体为一种还原炉钟罩旋转装置。

背景技术

改良西门子法是国际上生产多晶硅的主流技术，其核心设备为还原炉。还原炉的工作原理是通过通电高温硅芯将含硅气体(常用的含硅气体为三氯氢硅和硅烷)与氢气的混和气体反应生成多晶硅并沉积在硅芯上。还原炉在多晶硅沉积反应过程中会以辐射传热的方式散失大量的能量，基于节能降耗的目的，在还原炉钟罩内壁喷涂热反射材料，减少热辐射的热能散失是当前的一种新的多晶硅生产节能技术。由于喷涂作业的高精度要求，当前尚无满足还原炉钟罩喷涂作业的稳定作业的工装，尤其是可以实现高速、稳定的旋转装置。为此，我们提出一种还原炉钟罩旋转装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种还原炉钟罩旋转装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种还原炉钟罩旋转装置，包括电机，所述电机上端连接有转轴，所述转轴底端套接有水平旋转平台，所述水平旋转平台顶端固定安装有支撑翼，所述支撑翼顶端设有卡头，所述支撑翼侧壁安装有弹性卡片，所述水平旋转平台顶端通过第一固定螺钉固定安装有工装夹具，所述工装夹具内侧壁安装有弧形卡条，所述弧形卡条内侧壁中部开有竖槽，所述竖槽内端设有吸盘，所述弧形卡条内侧壁设有防滑楞，所述工装夹具内端设有橡胶夹块，所述工装夹具底端面开有卡孔，所述工装夹具内腔设有还原炉钟罩，所述工装夹具顶端通过第二固定螺钉与还原炉钟罩的法兰盘固定连接。

优选的，所述支撑翼的数量不少于三个，呈环形阵列在转轴外侧，且支撑翼截面成直角梯形，所述支撑翼的外顶端高度高于内顶端高度。

优选的，所述支撑翼顶端贯穿卡孔，且卡孔内腔的宽度在略大于支撑翼的厚度。

优选的，所述弧形卡条和橡胶夹块的数量均不少于四个，且弧形卡条和橡胶夹块等距交叉排列在工装夹具的内侧壁上。

优选的，所述工装夹具内部腔体最小直径大于还原炉钟罩的最大直径。

优选的，所述转轴贯穿工装夹具和还原炉钟罩。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该种还原炉钟罩旋转装置，通过设置水平旋转平台带动工装夹具和还原炉钟罩一起稳定旋转，能够为还原炉钟罩的旋转喷涂作业提供一个稳定的喷涂环境，操作简便、易于实现，极具生产实用性；通过设置支撑翼、弹性卡片、卡头、卡孔、弧形卡条、吸盘、防滑楞和橡胶夹块，能够降低还原炉钟罩与工装夹具之间在旋转时发生的相对位移度，从而大大提高了旋转喷涂的稳定性。

附图说明

图1为本实用新型的剖视图；

图2为本实用新型水平旋转台的主视图；

图3为本实用新型支撑翼的剖视图；

图4为本实用新型工装夹具的俯视图；

图5为本实用新型弧形卡条的结构示意图。

图中：1电机、2转轴、3水平旋转平台、31第一固定螺钉，4支撑翼、41卡头、42弹性卡片、5工装夹具、51卡孔、52弧形卡条、521竖槽、522吸盘、523防滑楞、53橡胶夹块、6还原炉钟罩、61第二固定螺钉。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种还原炉钟罩旋转装置，包括电机1，所述电机1上端连接有转轴2，所述转轴2底端套接有水平旋转平台3，所述水平旋转平台3顶端固定安装有支撑翼4，所述支撑翼4的数量不少于三个，呈环形阵列在转轴2外侧，且支撑翼4截面成直角梯形，所述支撑翼4的外顶端高度高于内顶端高度，支撑翼4的顶端将与还原炉钟罩6底端相切，能够起到支撑还原炉钟罩6的作用，大大提高了旋转喷涂的稳定性。所述支撑翼4顶端设有卡头41，所述支撑翼4侧壁安装有弹性卡片42，所述水平旋转平台3顶端通过第一固定螺钉31固定安装有工装夹具5，所述工装夹具5内侧壁安装有弧形卡条52，所述弧形卡条52内侧壁中部开有竖槽521，所述竖槽521内端设有吸盘522，吸盘522能够在还原炉钟罩6放置入工装夹具5内腔时吸附住还原炉钟罩6的外侧壁，提高了还原炉钟罩6与工装夹具5固定的牢固度。所述弧形卡条52内侧壁设有防滑楞523，能够防止还原炉钟罩6与工装夹具5之间在旋转时发生相对位移，提高了旋转喷涂的稳定性。所述工装夹具5内端设有橡胶夹块53，所述弧形卡条52和橡胶夹块53的数量均不少于四个，且弧形卡条52和橡胶夹块53等距交叉排列在工装夹具5的内侧壁上，能够牢固限定住还原炉钟罩6与工装夹具5的相对位置。所述工装夹具5底端面开有卡孔51，所述支撑翼4顶端贯穿卡孔51，且卡孔51内腔的宽度在略大于支撑翼4的厚度，大大提高了工装夹具5固定牢固性。所述工装夹具5内腔设有还原炉钟罩6，所述工装夹具5内部腔体最小直径大于还原炉钟罩6的最大直径。所述转轴2贯穿工装夹具5和还原炉钟罩6。所述工装夹具5顶端通过第二固定螺钉61与还原炉钟罩6的法兰盘固定连接。

工作原理：使用时，将还原炉钟罩6使用时，将还原炉钟罩倒置，通过第二固定螺钉61及还原炉钟罩6的法兰盘连接于工装夹具上端，工装夹具5连同倒置连接的还原炉钟罩6通过第一固定螺钉31连接于水平旋转平台3上，此时还原炉钟罩6的球状顶部和设置于水平旋转平台3上的支撑翼4相接处，启动水平旋转平台3，由慢到快调节水平旋转平台3速度至喷涂作业需要的转速，还原炉钟罩6稳定旋转后开始喷涂作业。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种还原炉钟罩旋转装置，包括电机(1)，其特征在于：所述电机(1)上端连接有转轴(2)，所述转轴(2)底端套接有水平旋转平台(3)，所述水平旋转平台(3)顶端固定安装有支撑翼(4)，所述支撑翼(4)顶端设有卡头(41)，所述支撑翼(4)侧壁安装有弹性卡片(42)，所述水平旋转平台(3)顶端通过第一固定螺钉(31)固定安装有工装夹具(5)，所述工装夹具(5)内侧壁安装有弧形卡条(52)，所述弧形卡条(52)内侧壁中部开有竖槽(521)，所述竖槽(521)内端设有吸盘(522)，所述弧形卡条(52)内侧壁设有防滑楞(523)，所述工装夹具(5)内端设有橡胶夹块(53)，所述工装夹具(5)底端面开有卡孔(51)，所述工装夹具(5)内腔设有还原炉钟罩(6)，所述工装夹具(5)顶端通过第二固定螺钉(61)与还原炉钟罩(6)的法兰盘固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种还原炉钟罩旋转装置，其特征在于：所述支撑翼(4)的数量不少于三个，呈环形阵列在转轴(2)外侧，且支撑翼(4)截面成直角梯形，所述支撑翼(4)的外顶端高度高于内顶端高度。

3.根据权利要求1或2所述的一种还原炉钟罩旋转装置，其特征在于：所述支撑翼(4)顶端贯穿卡孔(51)，且卡孔(51)内腔的宽度在略大于支撑翼(4)的厚度。

4.根据权利要求1所述的一种还原炉钟罩旋转装置，其特征在于：所述弧形卡条(52)和橡胶夹块(53)的数量均不少于四个，且弧形卡条(52)和橡胶夹块(53)等距交叉排列在工装夹具(5)的内侧壁上。

5.根据权利要求1所述的一种还原炉钟罩旋转装置，其特征在于：所述工装夹具(5)内部腔体最小直径大于还原炉钟罩(6)的最大直径。

6.根据权利要求1所述的一种还原炉钟罩旋转装置，其特征在于：所述转轴(2)贯穿工装夹具(5)和还原炉钟罩(6)。