CN207852611U - 一种离子源弧光室发射面板的固定结构 - Google Patents
一种离子源弧光室发射面板的固定结构 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型公开一种离子源弧光室发射面板的固定结构，圆形基座上方设置源体腔，源体腔内设置加热坩埚，源体腔的上方设置弧光室，弧光室的最上方为发射面板；所述源体腔的上方设置定位凸台，所述定位凸台上设置通孔，固定杆穿过所述通孔，固定杆的上方挂钩压在发射面板的上方，固定杆的下方与拉簧连接，拉簧固定在圆形基座上；所述固定杆为多个，沿发射面板的纵向轴线对称设置。本实用新型的优点是：由于增加了定位凸台，固定杆的径向移动受到限制，因此，保证了发生面板的位置稳定。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体装备技术，具体说是一种离子源。
背景技术
离子源是通过向弧光室主阴极加压，将充入弧光室的惰性气体经辉光放电电离成等离子体，经离子光学系统引出带正电的离子束，经过下游端的中和阴极向离子束发射与束电流等量的电子流进行电荷中和，生成高能高速的中性离子束。
弧光室的上方为发射面板，发射面板的中心设置条形槽，气体自弧光室的侧板上的气体入口进入后，被灯丝(filament)电离后形成等离子体，最后经上方的发射面板输出；因此，发射面板的位置非常重要，关系到后续的离子流的引出。
现有技术仅仅是采用固定杆及拉簧的方式，随着源体腔的温度升高，固定杆的轴向尺寸发生变化，使得发射面板的稳定性不好，影响了后续的离子光学系统引出离子流时的精度。
发明内容
为了解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种利用源体腔来对固定杆进行定位的结构，具体技术方案如下：
一种离子源弧光室发射面板的固定结构，圆形基座上方设置源体腔，源体腔内设置加热坩埚，源体腔的上方设置弧光室，弧光室的最上方为发射面板；所述源体腔的上方设置定位凸台，所述定位凸台上设置通孔，固定杆穿过所述通孔，固定杆的上方挂钩压在发射面板的上方，固定杆的下方与拉簧连接，拉簧固定在圆形基座上；所述固定杆为多个，沿发射面板的纵向轴线对称设置。
所述射面板设置凹槽，所述凹槽与固定杆的上方挂钩对应。
本实用新型的优点是：由于增加了定位凸台，固定杆的径向移动受到限制，因此，保证了发生面板的位置稳定。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图中，1为圆形基座，2为源体腔，3为弧光室，4为发射面板，5为条形槽，6为气体进口端，7为定位凸台，8为拉簧，9为固定杆，10为灯丝支架。
具体实施方式
下面结合附图具体说明本实用新型，如图所示，圆形基座1上方设置源体腔2，源体腔2内设置加热坩埚，源体腔2的上方设置弧光室3，弧光室3的最上方为发射面板4；所述源体腔的上方设置定位凸台7，所述定位凸台7上设置通孔，固定杆9穿过所述通孔，固定杆9的上方挂钩压在发射面板4的上方，固定杆9的下方与拉簧8连接，拉簧8固定在圆形基座1上；所述固定杆9为多个，沿发射面板4的纵向轴线对称设置。
所述射面板设置凹槽，所述凹槽与固定杆的上方挂钩对应。
Claims (2)
1.一种离子源弧光室发射面板的固定结构，其特征在于：圆形基座上方设置源体腔，源体腔内设置加热坩埚，源体腔的上方设置弧光室，弧光室的最上方为发射面板；所述源体腔的上方设置定位凸台，所述定位凸台上设置通孔，固定杆穿过所述通孔，固定杆的上方挂钩压在发射面板的上方，固定杆的下方与拉簧连接，拉簧固定在圆形基座上；所述固定杆为多个，沿发射面板的纵向轴线对称设置。
2.根据权利要求1所述的离子源弧光室发射面板的固定结构，其特征在于：所述发射面板设置凹槽，所述凹槽与固定杆的上方挂钩对应。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201820292350.3U CN207852611U (zh) | 2018-03-02 | 2018-03-02 | 一种离子源弧光室发射面板的固定结构 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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| CN207852611U true CN207852611U (zh) | 2018-09-11 |
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Family Applications (1)
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| CN201820292350.3U Active CN207852611U (zh) | 2018-03-02 | 2018-03-02 | 一种离子源弧光室发射面板的固定结构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN207852611U (zh) |
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2018
- 2018-03-02 CN CN201820292350.3U patent/CN207852611U/zh active Active
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| GR01 | Patent grant | ||
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