CN103000479B - 一种新型电子枪 - Google Patents

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Abstract

一种新型电子枪,其由(1)屏蔽筒、(2)陶瓷引线底座、(3)灯丝、(4)拉出极板、(5)接地极板和(6)离子透镜组成。电子枪的外部是屏蔽筒(1),屏蔽筒(1)的底部是陶瓷引线底座(2),陶瓷引线底座(2)连有灯丝(3),在灯丝(3)前端依次为拉出极板(4)、离子透镜(6)及接地极板(5);外接电源接入灯丝(3)后,发射电子,经离子透镜(6)后离子汇聚形成聚焦区。本发明可以通过透镜调节电子束的聚焦点,通过灯丝电压调节电子束能量,通过拉出极板调节电子束强度,使化合物更易电离,且设备小巧,结构简单。

Description

一种新型电子枪
技术领域
本发明涉及离子源领域,具体涉及一种新型电子枪。
背景技术
电子枪是电子源的电子注入器,它能发射出具有一定能量、一定流强、一定束流直径和发射角的电子束,是质谱仪器的重要组成部分。通过电子枪发射的电子束使进入电子源的分子进行离子化,变成质量较小的碎片离子和中性粒子,电流强度及电子束聚焦点决定了离子化的程度。目前市场上普遍存在的电子枪最大可发出1mA的电流,但电子束聚焦点不可调,电子束强度不能大范围调节,电子束能量不能大范围调节,因此对于某些化合物还不能使之完全离子化,影响实验的灵敏度。
发明内容
为了克服现有技术存在的缺陷,本发明的目的是提供一种新型电子枪,通过系统中的离子透镜(6)改变电子束的聚焦点,通过调节灯丝(3)电压调节电子束的能量,通过调节拉出极板(4)电压调节聚焦位置。使化合物更易变成质量较小的碎片离子和中性粒子,系统设备小巧,结构简单。
本发明提供了一种新型电子枪,该电子枪包括1个屏蔽筒(1)、1个陶瓷引线底座(2)、1个灯丝(3)、1个拉出极板(4),1个接地极板(5)和1组离子透镜(6)组成;电子枪的外部是屏蔽筒(1),屏蔽筒(1)的底部是陶瓷引线底座(2),陶瓷引线底座(2)连有灯丝(3),在灯丝(3)前端依次为拉出极板(4)、离子透镜(6)及接地极板(5);外接电源接入灯丝(3)后,发射电子,经离子透镜(6)后离子汇聚形成聚焦区。
本发明提供的新型电子枪,所述电子枪总长度6cm,直径4cm。
本发明提供的新型电子枪,电子束能量可以通过灯丝(3)电压调节;电子束强度可以通过拉出极板(4)调节;电子束可以通过离子透镜(6)调节聚焦位置。
本发明提供的新型电子枪,所述灯丝电压为0~15V;所述拉出极板电压为-900±100V;所述离子透镜电压为-280~-680V。
本发明的有益效果是:本发明通过系统中的离子透镜改变电子束的聚焦点,增大电子束的能量,使化合物更易变成质量较小的碎片离子和中性粒子,系统设备小巧,结构简单。
附图说明
图1是本发明一种新型电子枪结构示意图,其中:1为屏蔽筒,2为陶瓷引线底座,3为灯丝,4拉出极板,5为接地极板,6为离子透镜。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做进一步详细说明。
如图1所示,本发明一种新型电子枪包括1个屏蔽筒、1个陶瓷引线底座、1个灯丝、1个拉出极板,1个接地极板和1组离子透镜。电子枪的外部是屏蔽筒(1),屏蔽筒(1)的底部是陶瓷引线底座(2),陶瓷引线底座(2)连有灯丝(3),在灯丝(3)前端依次为拉出极板(4)、离子透镜(6)及接地极板(5);外接电源接入灯丝(3)后,发射电子,经离子透镜后离子汇聚形成聚焦区。
本发明可以应用于质谱所用的离子源,可以改变电子束的聚焦点,增大电子束的能量,增加电子束强度,使化合物更易变成质量较小的碎片离子和中性粒子,系统设备小巧,结构简单。

Claims (4)

1.一种新型电子枪,其特征在于:该电子枪包括1个屏蔽筒(1)、1个陶瓷引线底座(2)、1个灯丝(3)、1个拉出极板(4),1个接地极板(5)和1组离子透镜(6)组成;
电子枪的外部是屏蔽筒(1),屏蔽筒(1)的底部是陶瓷引线底座(2),陶瓷引线底座(2)连有灯丝(3),在灯丝(3)前端依次为拉出极板(4)、离子透镜(6)及接地极板(5);
外接电源接入灯丝(3)后,发射电子,经离子透镜(6)后离子汇聚形成聚焦区;
所述电子枪总长度6cm,直径4cm;
所述灯丝电压为0~15V;
所述拉出极板电压为-900±100V;
所述离子透镜电压为-280~-680V。
2.按照权利要求1所述新型电子枪,其特征在于:电子束能量可以通过灯丝(3)电压调节。
3.按照权利要求1所述新型电子枪,其特征在于:电子束强度可以通过拉出极板(4)调节。
4.按照权利要求1所述新型电子枪,其特征在于:电子束可以通过离子透镜(6)调节聚焦位置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106158572B (zh) * 2015-03-30 2018-02-16 中国科学院大连化学物理研究所 一种电子枪
CN106847660B (zh) * 2017-04-05 2018-08-21 中国科学技术大学 一种中高能电子枪

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5196707A (en) * 1991-03-04 1993-03-23 Etec Systems, Inc. Low aberration field emission electron gun
CN1348198A (zh) * 2000-10-10 2002-05-08 Lg电子株式会社 阴极射线管中电子枪的阴极支撑物

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06196107A (ja) * 1992-12-24 1994-07-15 Mitsubishi Electric Corp 電子銃

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5196707A (en) * 1991-03-04 1993-03-23 Etec Systems, Inc. Low aberration field emission electron gun
CN1348198A (zh) * 2000-10-10 2002-05-08 Lg电子株式会社 阴极射线管中电子枪的阴极支撑物

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