CN207810650U - 一种扩散炉专用自动进出料装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种扩散炉专用自动进出料装置，包括支撑板、滑块、丝杆、同步轮一、伺服电机、同步轮二、同步带、T型支撑块、悬挂杆、弹性气囊、充气泵以及固定板，所述支撑板内端安装有丝杆，所述丝杆上装配有滑块，所述丝杆右端装配有同步轮一，所述同步轮一通过同步带与同步轮二相连接，所述同步轮二右端装配有伺服电机，该设计实现了自动进出料控制，所述固定板前端装配有悬挂杆，所述悬挂杆后端镶嵌有充气泵，所述悬挂杆内部底端安装有弹性气囊，所述弹性气囊上端装配有T型支撑块，该设计提高了悬挂效果，本实用新型使用方便，便于操作，提高了自动进出料的效果，提高了悬挂稳定性。

Description

一种扩散炉专用自动进出料装置

技术领域

本实用新型是一种扩散炉专用自动进出料装置，属于扩散炉技术领域。

背景技术

现有技术中，现有的扩散炉专用自动进出料装置主要是由T型丝杠作为主传动，电机通过联轴器直接连接，由两端的光电开关作为定点限位来控制其总行程，系统由简易的集成控制箱控制，控制精度低，现有的扩散炉专用自动进出料装置在对硅片进行悬挂携带时，由于没有支撑装置，导致硅片在悬挂杆上容易滑动，进而造成脱落，从而降低了其加工效果。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种扩散炉专用自动进出料装置，以解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型使用方便，便于操作，提高了自动进出料的效果，提高了悬挂稳定性。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种扩散炉专用自动进出料装置，包括支撑板、微动开关、悬挂机构、滑块、丝杆、同步轮一、伺服电机、同步轮二以及同步带，所述支撑板内端安装有丝杆，所述丝杆上装配有滑块，所述滑块前端面固定有悬挂机构，所述丝杆右端装配有同步轮一，所述同步轮一左侧设置有支撑板，所述丝杆穿过支撑板与同步轮一相连接，所述同步轮一上侧安装有同步轮二，所述同步轮一通过同步带与同步轮二相连接，所述同步轮二右端装配有伺服电机，所述微动开关设置在支撑板右端，所述微动开关右侧安装有滑块，所述微动开关装配在丝杆前侧，所述悬挂机构包括T型支撑块、悬挂杆、弹性气囊、充气泵以及固定板，所述滑块前端固定有固定板，所述固定板前端装配有悬挂杆，所述悬挂杆后端镶嵌有充气泵，所述充气泵设置在固定板前端，所述悬挂杆内部底端安装有弹性气囊，所述弹性气囊上端装配有T型支撑块，所述T型支撑块安装在悬挂杆上，所述T型支撑块后侧设置有固定板。

进一步地，所述支撑板设有两个，所述支撑板对称装配在丝杆左右两端，所述T型支撑块设有至少两个，至少两个所述T型支撑块等距装配在弹性气囊上端。

进一步地，所述丝杆通过滚珠螺母副与滑块相连接，所述丝杆通过轴承与支撑板相连接，所述丝杆通过紧固螺栓与同步轮一相连接，所述同步轮二通过紧固螺栓与伺服电机相连接。

进一步地，所述充气泵、微动开关以及伺服电机均通过电线与外接蓄电池相连接，所述伺服电机通过电线与微动开关相连接。

进一步地，所述悬挂杆上端加工有开口槽，且开口槽上设置有T型支撑块，所述悬挂杆后端通过法兰盘与固定板相连接，所述悬挂杆后端加工有凹槽，且凹槽上固定有充气泵。

进一步地，所述充气泵通过气管与弹性气囊相连接，所述固定板后端加工有通孔，且通孔设置在充气泵后端，所述T型支撑块上端加工有卡槽。

本实用新型的有益效果：本实用新型的一种扩散炉专用自动进出料装置，本实用新型通过添加支撑板、微动开关、滑块、丝杆、同步轮一、伺服电机、同步轮二以及同步带，该设计通过伺服电机驱动同步轮，由同步带传动给丝杆来驱动滑块左右移动，伺服电机可以对速度的快慢以及行程进行控制，滑块继续运动触碰微动开关，设备就会紧急断电，从而保护伺服电机不会受损，避免损失，解决了现有的扩散炉专用自动进出料装置主要是由T型丝杠作为主传动，电机通过联轴器直接连接，由两端的光电开关作为定点限位来控制其总行程，系统由简易的集成控制箱控制，控制精度低的问题。

本实用新型通过添加T型支撑块、悬挂杆、弹性气囊、充气泵以及固定板，该设计实现了对硅片进行支撑，防止其滑动以及脱落，同时也可对硅片之间的距离进行调节，解决了现有的扩散炉专用自动进出料装置在对硅片进行悬挂携带时，由于没有支撑装置，导致硅片在悬挂杆上容易滑动，进而造成脱落，从而降低了其加工效果的问题。

因添加滚珠螺母副，该设计实现了将转动运行变为直线运行，因添加开口槽，该设计便于放置T型支撑块，因添加卡槽，该设计便于放置硅片，因添加通孔以及气管，该设计便于空气的流动，本实用新型使用方便，便于操作，提高了自动进出料的效果，提高了悬挂稳定性。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型一种扩散炉专用自动进出料装置的结构示意图；

图2为本实用新型一种扩散炉专用自动进出料装置中悬挂机构的结构示意图；

图中：1-支撑板、2-微动开关、3-悬挂机构、4-滑块、5-丝杆、6-同步轮一、7-伺服电机、8-同步轮二、9-同步带、31-T型支撑块、32-悬挂杆、33-弹性气囊、34-充气泵、35-固定板。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

请参阅图1和图2，本实用新型提供一种技术方案：一种扩散炉专用自动进出料装置，包括支撑板1、微动开关2、悬挂机构3、滑块4、丝杆5、同步轮一6、伺服电机7、同步轮二8以及同步带9，支撑板1内端安装有丝杆5，丝杆5上装配有滑块4，滑块4前端面固定有悬挂机构3，丝杆5右端装配有同步轮一6，同步轮一6左侧设置有支撑板1，丝杆5穿过支撑板1与同步轮一6相连接，同步轮一6上侧安装有同步轮二8，同步轮一6通过同步带9与同步轮二8相连接，同步轮二8右端装配有伺服电机7，微动开关2设置在支撑板1右端，微动开关2右侧安装有滑块4，微动开关2装配在丝杆5前侧，该设计实现了自动进出料控制，控制精度高，以及可进行保护的功能。

悬挂机构3包括T型支撑块31、悬挂杆32、弹性气囊33、充气泵34以及固定板35，滑块4前端固定有固定板35，固定板35前端装配有悬挂杆32，悬挂杆32后端镶嵌有充气泵34，充气泵34设置在固定板35前端，悬挂杆32内部底端安装有弹性气囊33，弹性气囊33上端装配有T型支撑块31，T型支撑块31安装在悬挂杆32上，T型支撑块31后侧设置有固定板35，该设计提高了悬挂效果。

支撑板1设有两个，支撑板1对称装配在丝杆5左右两端，T型支撑块31设有至少两个，至少两个T型支撑块31等距装配在弹性气囊33上端，丝杆5通过滚珠螺母副与滑块4相连接，丝杆5通过轴承与支撑板1相连接，丝杆5通过紧固螺栓与同步轮一6相连接，同步轮二8通过紧固螺栓与伺服电机7相连接，充气泵34、微动开关2以及伺服电机7均通过电线与外接蓄电池相连接，伺服电机7通过电线与微动开关2相连接，悬挂杆32上端加工有开口槽，且开口槽上设置有T型支撑块31，悬挂杆32后端通过法兰盘与固定板35相连接，悬挂杆32后端加工有凹槽，且凹槽上固定有充气泵34，充气泵34通过气管与弹性气囊33相连接，固定板35后端加工有通孔，且通孔设置在充气泵34后端，T型支撑块31上端加工有卡槽。

具体实施方式：在实际使用时，使用人员将硅片穿过悬挂杆32，并放置在T型支撑块31的卡槽上，然后使用人员握住T型支撑块31，并沿着开口槽进行移动T型支撑块31，T型支撑块31移动带动硅片移动，当硅片移动到合适位置时，使用人员停止移动T型支撑块31，并启动充气泵34，充气泵34工作带动空气流动，然后空气通过气管进入弹性气囊33内部，然后弹性气囊33开始膨胀，进而带动T型支撑块31向上移动，T型支撑块31向上移动带动硅片向上移动，进而实现硅片内部底端与悬挂杆32下端相接触，进而实现对硅片进行支撑固定，当T型滑块4向上移动到合适位置时，使用人员停止充气泵34，该设计实现了支撑固定的功能，提高了悬挂效果。

然后使用启动人员伺服电机7，伺服电机7工作带动同步轮二8转动，因为同步轮一6通过同步带9与同步轮二8相连接，所以同步轮二8转动带动同步轮一6进行转动，进而带动丝杆5转动，因为丝杆5通过滚珠螺母副与滑块4相连接，所以丝杆5转动带动滑块4向左移动，滑块4向左移动带动悬挂机构3向左移动，进而带动硅片向左移动，当硅片向左移动到合适位置时，伺服电机7停止工作，当滑块4继续向左移动时，进而实现滑块4左端与微动开关2相接触，进而实现微动开关2、外接蓄电池以及伺服电机7之间的电路接通，从而实现对伺服电机7进行断电，该设计可进行自动进行进出料控制，同时控制精度高，也实现了对伺服电机7进行保护。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (6)

1.一种扩散炉专用自动进出料装置，包括支撑板、微动开关、悬挂机构、滑块、丝杆、同步轮一、伺服电机、同步轮二以及同步带，其特征在于：所述支撑板内端安装有丝杆，所述丝杆上装配有滑块，所述滑块前端面固定有悬挂机构，所述丝杆右端装配有同步轮一，所述同步轮一左侧设置有支撑板，所述丝杆穿过支撑板与同步轮一相连接，所述同步轮一上侧安装有同步轮二，所述同步轮一通过同步带与同步轮二相连接，所述同步轮二右端装配有伺服电机，所述微动开关设置在支撑板右端，所述微动开关右侧安装有滑块，所述微动开关装配在丝杆前侧；

所述悬挂机构包括T型支撑块、悬挂杆、弹性气囊、充气泵以及固定板，所述滑块前端固定有固定板，所述固定板前端装配有悬挂杆，所述悬挂杆后端镶嵌有充气泵，所述充气泵设置在固定板前端，所述悬挂杆内部底端安装有弹性气囊，所述弹性气囊上端装配有T型支撑块，所述T型支撑块安装在悬挂杆上，所述T型支撑块后侧设置有固定板。

2.根据权利要求1所述的一种扩散炉专用自动进出料装置，其特征在于：所述支撑板设有两个，所述支撑板对称装配在丝杆左右两端，所述T型支撑块设有至少两个，至少两个所述T型支撑块等距装配在弹性气囊上端。

3.根据权利要求1所述的一种扩散炉专用自动进出料装置，其特征在于：所述丝杆通过滚珠螺母副与滑块相连接，所述丝杆通过轴承与支撑板相连接，所述丝杆通过紧固螺栓与同步轮一相连接，所述同步轮二通过紧固螺栓与伺服电机相连接。

4.根据权利要求1所述的一种扩散炉专用自动进出料装置，其特征在于：所述充气泵、微动开关以及伺服电机均通过电线与外接蓄电池相连接，所述伺服电机通过电线与微动开关相连接。

5.根据权利要求1所述的一种扩散炉专用自动进出料装置，其特征在于：所述悬挂杆上端加工有开口槽，且开口槽上设置有T型支撑块，所述悬挂杆后端通过法兰盘与固定板相连接，所述悬挂杆后端加工有凹槽，且凹槽上固定有充气泵。

6.根据权利要求1所述的一种扩散炉专用自动进出料装置，其特征在于：所述充气泵通过气管与弹性气囊相连接，所述固定板后端加工有通孔，且通孔设置在充气泵后端，所述T型支撑块上端加工有卡槽。