CN207798029U - 一种靶材检测装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种靶材检测装置，该靶材检测装置包括基台、安装在所述基台上的检测靶材平整度的检测装置、安装在所述基台上供所述检测装置沿Y轴方向和X轴方向做往复运动的导向组件、安装在所述基台上带动所述检测装置在所述导向组件上沿Y轴方向做往复运动的传动装置、与所述传动装置连接驱动所述传动装置升降的驱动机构以及安装在所述基台上且与所述检测装置连接带动所述检测装置在所述导向组件上沿X轴方向做反复运动的动力元件。该靶材检测装置能够对靶材表面的各个区域进行检测，实现自动化检测，进而提高靶材通过溅射所镀的膜的均匀性，降低人力成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及靶材检测领域，更具体地说，涉及一种靶材检测装置。
背景技术
在靶材生成制作过程中，采用溅射法在靶材表面镀膜，靶材表面若不平整，将会导致靶材通过溅射所镀的膜不均匀。而现有生产中，一般采用肉眼观察的方式观察靶材表面平整度，其不仅需要消耗一定的人力物力，而且容易产生误差无法准确将表面不平整的靶材剔除，从而导致靶材表面所镀的膜厚度不均匀。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题在于，提供一种能够解决难以检测靶材平整度的弊端的靶材检测装置。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种靶材检测装置及其检测方法，包括基台、安装在所述基台上的检测靶材平整度的检测装置、安装在所述基台上供所述检测装置沿Y轴方向和X轴方向做往复运动的导向组件、安装在所述基台上带动所述检测装置在所述导向组件上沿Y轴方向做往复运动的传动装置、与所述传动装置连接驱动所述传动装置升降的驱动机构以及安装在所述基台上且与所述检测装置连接带动所述检测装置在所述导向组件上沿X轴方向做反复运动的动力元件。
优选地，所述导向组件包括设置在所述基台上供所述检测装置沿X轴方向做往复运动的第一组导向组件以及设置在所述基台上供所述检测装置沿Y 轴方向做往复运动的第二组导向组件。
优选地，所述基台上设有安装所述检测装置的安装板；所述安装板设置在所述第一组导向组件上方且由所述动力元件带动在所述第一组导向组件上做往复运动；所述第二组导向组件设置在所述安装板上。
优选地，所述第一组导向组件包括设置在所述基台上的第一导轨以及套设在所述第一导轨上与所述安装板连接带动所述安装板在所述第一导轨上往复运动的第一滑块；所述第一滑块设置在所述安装板底部且与所述安装板固定连接。
优选地，所述动力元件为伸缩气缸；所述伸缩气缸与所述第一导轨平行设置且与安装板连接带动所述安装板在所述第一导轨上做往复运动。
优选地，所述第二组导向组件包括设置在所述安装板上的第二导轨以及套设在所述第二导轨上且与所述检测装置固定连接的第二滑块。
优选地，所述传动装置包括设置在所述安装板上与所述驱动机构连接由所述驱动机构驱动的丝杆；所述丝杆与所述检测装置连接带动所述检测装置在所述第二导轨上做往复运动。
优选地，所述驱动机构为电机、所述电机安装在所述安装板上。
优选地，所述检测装置包括超声波距离感应探头、红外探头。
实施本实用新型的靶材检测装置，具有以下有益效果：该靶材检测装置通过驱动机构驱动带动传动装置传动进而带动安装在基台上的检测装置沿Y轴方向在导向组件上做往复运动，还有通过动力元件带动该检测装置沿X轴方向在导向组件上做往复运动，从而对靶材表面的各个区域进行检测，实现自动化检测，进而提高靶材通过溅射所镀的膜的均匀性，降低人力成本。
采用该靶材检测装置对靶材表面平整度进行检测，其通过获取靶材上各点到靶材检测装置之间的距离；并对该靶材上各点到靶材检测装置之间的距离进行对比，判断所述靶材上各点到靶材检测装置之间的距离是否相等，若则可判断靶材表面是否平整，该靶材检测装置的检测方法操作简单、检测结果准确，能够避免不合格靶材被用于溅射从而导致资源浪费。
附图说明
下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：
图1是本实用新型靶材检测装置的正视图；
图2是本实用新型靶材检测装置的局部结构示意图。
具体实施方式
为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本实用新型的具体实施方式。
图1及图2示出了本实用新型靶材检测装置的一个优选实施例。
该靶材检测装置能够在X轴和Y轴方向做往复运动对靶材表面的各个区域的平整度进行检测，从而实现自动化检测，进而提高靶材通过溅射所镀的膜的均匀性，降低人力成本。
如图1所示，该靶材检测装置包括基台11、安装在该基台11上的检测靶材平整度的检测装置12、安装在该基台11上供该检测装置12沿Y轴方向和 X轴方向做往复运动的导向组件13、安装在该基台11上带动该检测装置12 在该导向组件13上沿Y轴方向做往复运动的传动装置14、与该传动装置14 连接驱动该传动装置14升降的驱动机构15以及安装在该基台11上且与该检测装置12连接带动该检测装置12在该导向组件13上沿X轴方向做反复运动的动力元件16，该基台11上还设有安装该检测装置12的安装板17。
该基台11可以起到支撑和固定该检测装置12的作用，也可以作为该检测装置12对靶材进行表面处理的工作台面，在该基台11上还可以设置传送带，用于传送靶材，使得靶材可以在该基台11上移动。
该检测装置12包括超声波距离感应探头、红外探头，在本实施例中，优选地，该检测装置12包括超声波距离感应探头；该超声波距离感应探头与该靶材相对设置，若靶材表面平整，则该超声波距离感应探头到靶材各点之间的距离相等，若靶材表面不平整，则该超声波距离感应探头到靶材各点之间的距离不相等，通过该超声波距离感应探头对靶材各区域到超声波距离感应探头的距离进行测量，可以判断该靶材表面平整度，从而避免因靶材表面不平整而导致靶材表面通过溅射所生成的薄膜厚度不均匀，造成资源浪费，。
该检测装置12还可以包括带动该超声波距离感应探头升降的的升降装置、以及与该升降装置和该超声波距离感应探头连接且可调节的连接杆。该升降装置根据靶材的实际高度通过升降调节该超声波距离感应探头高度，使该超声波距离感应探头与该靶材之间保持一定距离。该连接杆的长度可调节，能根据靶材上需要检测的位置进行调节。
另外，该检测装置还可包括分析模块、控制模块、电源模块、显示模块等。该分析模块与该超声波距离感应探头连接，对该超声波距离感应探头所反馈的数据信息进行分析。该控制模块与该超声波距离感应探头、分析模块、显示模块连接，能够控制该超声波距离感应探头开启或关闭，能够根据分析模块所分析的数据向显示模块发出显示靶材平整或靶材不平整的指令，该显示模块可能够该控制模块所发出的指令，显示靶材平整或者靶材不平整的信息。该电源模块可以给该检测装置提供电能。
该导向组件13包括设置在该基台11上供该检测装置12沿X轴方向做往复运动的第一组导向组件131以及设置在该基台11上供该检测装置12沿Y 轴方向做往复运动的第二组导向组件132。该第一导向组件131沿该基台11 的X轴方向设置，该第二组导向组件132沿该基台11的Y轴方向设置；该安装17安装设置在该第一组导向组件131上方且由该动力元件16带动在该第一组导向组件131上做往复运动，则该安装板17能够沿X轴方向做往复运动。
该第一组导向组件131包括设置在该基台11上的第一导轨1311以及套设在该第一导轨1311上与该安装板17连接带动该安装板17在该第一导轨1311 上往复运动的第一滑块1312；该第一导轨1311的数量可以是一个、两个、三个、或多个。在本实施例中，该第一导轨1311包括分开且并排设置的两个第一导轨；该第一滑块1312设置在该安装板17的底部且与该安装板17固定连接，以使该安装板17能在动力元件的带动下在该第一导轨1311上滑动。该第一滑块1312的数量可以是一个、两个或者多个，在本实施例中，该第一滑块 1312包括分别套设在两个第一导轨上的两个第一滑块。
该第二组导向组件132设置在该安装板17上，且与该第一组导向组件132 垂直设置；该第二组导向组件132包括设置在该安装板17上的第二导轨1321 以及套设在该第二导轨1321上且与该检测装置12固定连接的第二滑块1322；该第二导轨1321的数量可以是一个、两个、三个或多个。该第二导轨1321 与该第一导轨1311垂直设置。在本实施例中，该第二导轨1321包括分开且并排设置的两个第二导轨；该第二滑块1321的数量可以是一个、两个或者多个，在本实施例中，该第二滑块1322包括分别套设在两个第二导轨1321上的两个第二滑块1322。
该传动装置14包括设置在该安装板17上与该驱动机构14连接由该驱动机构14驱动的丝杆；该丝杆设置在两个第二导轨的中间；该丝杆与该检测装置12连接带动该检测装置12在该第二导轨1321上做往复运动。该丝杆固定在该检测装置12上，由该丝杆的转动带动该检测装置12在该第二导轨上做往复运动，从而实现该检测装置12在Y轴方向做往复运动，进而能够对靶材上 Y轴方向的各个区域点进行平整度检测。
该驱动机构15可以为电机，且其可以安装在该安装板17上，具体地，其可安装在该安装板17与该第二导向组件相背的一面，该电机与该丝杆连接；通过电机的转动带动该丝杆传动进而带动检测装置12在Y轴方向做往复运动。
该动力元件15可以为伸缩气缸；该伸缩气缸与该第一导轨1311平行设置，且与该安装板17连接；该伸缩气缸通过伸缩，使得带动该安装板17在该第一导轨1311上做往复运动，从而使该安装板17在X轴方向运动，对靶材上X 轴方向的各个区域点进行平整度检测。
该靶材检测装置的工作原理：启动伸缩气缸，该安装板17通过伸缩气缸伸缩带动下在该第一导轨1311上做往复运动从而带动安装在该安装板17上的检测装置12在X轴方向做往复运动，同时启动电机，该电机转动驱动该丝杆传动，从而带动该检测装置12在第二导轨上沿Y轴方向运动，进而使得该检测装置能够在Y轴和在X轴方向对靶材上的各个区域进行平整度检测，实现自动化检测，提高靶材通过溅射所镀的膜的均匀性，降低人力成本。
该靶材检测装置的检测方法，通过采用本实用新型的靶材检测装置，能够通过获取靶材上各点到靶材检测装置之间的距离判断靶材表面是否平整，该靶材检测装置的检测方法操作简单。检测结果准确，能够避免不合格靶材被用于溅射从而导致资源浪费，
该靶材检测装置的检测方法包括以下步骤：
获取靶材上各点到靶材检测装置之间的距离。
具体地，调整超声波距离感应探头到靶材之间的距离，启动检测装置，通过检测装置在X轴和Y轴上移动，该检测装置中的超声波距离感应探头对靶材上各点进行检测并计算距离，从而获取靶材上各点到靶材检测装置之间的距离。
对比所述靶材上各点到靶材检测装置之间的距离并判断所述靶材上各点到靶材检测装置之间的距离是否相等。
具体地，该超声波距离感应探头对所获取到的距离转换为数据信息传输给检测装置中的分析模块，该分析模块对所接收到的数据信息进行对比分析，并根据所接收到的数据信息是否为同一数据判断靶材上各点到靶材检测装置之间的距离是否相等。
若是，则所述靶材表面平整。
当分析模块接收的数据信息为同一数据时，则该靶材上各点到超声波距离感应探头的距离相等，分析模块将数据信息转化为控制模块可接收信号并发送给控制模块，控制模块接收分析模块的信号向该显示模块发送显示靶材表面平整的指令，显示模块接收控制模块指令，显示靶材表面平整信息。
若否，则所述靶材表面不平整。
当分析模块接收的数据信息为不同数据时，则该靶材上各点到超声波距离感应探头的距离不相等，分析模块将数据信息转化为控制模块可接收信号并发送给控制模块，控制模块接收分析模块的信号向该显示模块发送显示靶材表面不平整的指令，显示模块接收控制模块指令，显示靶材表面不平整信息，工作人员可根据显示模块显示的信息剔除该靶材。在其他一些实施例中，该检测装置可以与剔除装置连接，当检测靶材表面不平整时，可向该剔除装置发出剔除靶材的指令，由该剔除装置剔除靶材。
可以理解的，以上实施例仅表达了本实用新型的优选实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制；应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，可以对上述技术特点进行自由组合，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围；因此，凡跟本实用新型权利要求范围所做的等同变换与修饰，均应属于本实用新型权利要求的涵盖范围。
Claims (9)
1.一种靶材检测装置，其特征在于，包括基台(11)、安装在所述基台(11)上的检测靶材平整度的检测装置(12)、安装在所述基台(11)上供所述检测装置(12)沿Y轴方向和X轴方向做往复运动的导向组件(13)、安装在所述基台(11)上带动所述检测装置(12)在所述导向组件(13)上沿Y轴方向做往复运动的传动装置(14)、与所述传动装置(14)连接驱动所述传动装置升降的驱动机构(15)以及安装在所述基台(11)上且与所述检测装置(12)连接带动所述检测装置(12)在所述导向组件(13)上沿X轴方向做反复运动的动力元件(16)。
2.根据权利要求1所述的靶材检测装置，其特征在于，所述导向组件(13)包括设置在所述基台(11)上供所述检测装置(12)沿X轴方向做往复运动的第一组导向组件(131)以及设置在所述基台(11)上供所述检测装置(12)沿Y轴方向做往复运动的第二组导向组件(132)。
3.根据权利要求2所述的靶材检测装置，其特征在于，所述基台(11)上设有安装所述检测装置(12)的安装板(17)；所述安装板(17)设置在所述第一组导向组件(131)上方且由所述动力元件(16)带动在所述第一组导向组件(131)上做往复运动；所述第二组导向组件(132)设置在所述安装板上。
4.根据权利要求3所述的靶材检测装置，其特征在于，所述第一组导向组件(131)包括设置在所述基台(11)上的第一导轨(1311)以及套设在所述第一导轨(1311)上与所述安装板(17)连接带动所述安装板(17)在所述第一导轨(1311)上往复运动的第一滑块(1312)；所述第一滑块(1312) 设置在所述安装板(17)底部且与所述安装板(17)固定连接。
5.根据权利要求4所述的靶材检测装置，其特征在于，所述动力元件(16)为伸缩气缸；所述伸缩气缸与所述第一导轨(1311)平行设置且与安装板(17)连接带动所述安装板(17)在所述第一导轨(1311)上做往复运动。
6.根据权利要求3所述的靶材检测装置，其特征在于，所述第二组导向组件(132)包括设置在所述安装板(17)上的第二导轨(1321)以及套设在所述第二导轨(1321)上且与所述检测装置(12)固定连接的第二滑块(1322)。
7.根据权利要求6所述的靶材检测装置，其特征在于，所述传动装置(14)包括设置在所述安装板(17)上与所述驱动机构(15)连接由所述驱动机构(15)驱动的丝杆；所述丝杆与所述检测装置(12)连接带动所述检测装置(12)在所述第二导轨(1321)上做往复运动。
8.根据权利要求7所述的靶材检测装置，其特征在于，所述驱动机构(15)为电机、所述电机安装在所述安装板(17)上。
9.根据权利要求1所述的靶材检测装置，其特征在于，所述检测装置(12)包括超声波距离感应探头、红外探头。
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|---|---|---|---|
| CN201721751560.6U CN207798029U (zh) | 2017-12-14 | 2017-12-14 | 一种靶材检测装置 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109596716A (zh) * | 2018-11-21 | 2019-04-09 | 杭州鸿立机械有限公司 | 跟踪调节装置 |
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2017
- 2017-12-14 CN CN201721751560.6U patent/CN207798029U/zh active Active
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| CN109596716A (zh) * | 2018-11-21 | 2019-04-09 | 杭州鸿立机械有限公司 | 跟踪调节装置 |
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