CN207774816U - 一种四氯化硅源恒温蒸发瓶 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种四氯化硅源恒温蒸发瓶，包括储液室、蒸发室、进气管、出气室；所述蒸发室安装在储液室的下端通过联络管道连接导通，所述出气室设置在蒸发室的上端中部，所述进气管设置在出气室内且其下端伸入蒸发室内。本实用新型通过进气管使氢气进出蒸发室，进气管和出气管形成同轴心双层结构，氢气从顶部通过该结构进入底部蒸发室携带出蒸发源并流出石英瓶。该蒸发瓶可满足工艺要求的四氯化硅0℃恒温蒸发，并由氢气携带进入外延生长系统进行生产作业，提高了外延工艺稳定性。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种四氯化硅源恒温蒸发瓶。
背景技术
车间外延工序生产工艺为将杂质掺入四氯化硅作为生长源，利用氢气携带在0～2℃下蒸发出的杂质源气体一起进入高温石英炉进行化学反应完成外延生长作业。原有四氯化硅源盛放装置由于设计不合理导致源恒温不稳定和蒸发不均匀，影响了产品外延生长质量。
实用新型内容
为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种四氯化硅源恒温蒸发瓶。
本实用新型通过以下技术方案得以实现。
本实用新型提供的一种四氯化硅源恒温蒸发瓶，包括储液室、蒸发室、进气管、出气室；所述蒸发室安装在储液室的下端通过联络管道连接导通，所述出气室设置在蒸发室的上端中部，所述进气管设置在出气室内且其下端伸入蒸发室内。
所述蒸发室的内还设置有恒液管与储液室连接导通。
所述储液室上端设置有进液口。
所述进气管的下端为喇叭口。
所述出气室设置在储液室内，出气室的上端伸出储液室外且设置有出气口。
所述进气管的上端伸出出气室外与氢气源连接。
所述联络管道和恒液管的下端距蒸发室的底面距离均为蒸发室高度的1/6，所述恒液管的上端设置在储液室内且距储液室的顶端距离为储液室高度的1/7。
本实用新型的有益效果在于：通过进气管使氢气进出蒸发室，进气管和出气管形成同轴心双层结构，氢气从顶部通过该结构进入底部蒸发室携带出蒸发源并流出石英瓶。该蒸发瓶可满足工艺要求的四氯化硅0℃恒温蒸发，并由氢气携带进入外延生长系统进行生产作业，提高了外延工艺稳定性。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
图中：1-储液室，2-蒸发室，3-进气管，4-出气室，5-进液口，6-联络管道，7-恒液管，8-出气口。
具体实施方式
下面进一步描述本实用新型的技术方案，但要求保护的范围并不局限于所述。
1、一种四氯化硅源恒温蒸发瓶，包括储液室1、蒸发室2、进气管3、出气室4；所述蒸发室2安装在储液室1的下端通过联络管道6连接导通，所述出气室4设置在蒸发室2的上端中部，所述进气管3设置在出气室4内且其下端伸入蒸发室2内。通过进气管使氢气进出蒸发室，进气管和出气管形成同轴心双层结构，氢气从顶部通过该结构进入底部蒸发室携带出蒸发源并流出石英瓶。该蒸发瓶可满足工艺要求的四氯化硅0℃恒温蒸发，并由氢气携带进入外延生长系统进行生产作业。
所述蒸发室2的内还设置有恒液管7与储液室1连接导通。
所述储液室1上端设置有进液口5。
所述进气管3的下端为喇叭口。
所述出气室4设置在储液室1内，出气室4的上端伸出储液室1外且设置有出气口8。
所述进气管3的上端伸出出气室4外与氢气源连接。
所述联络管道6和恒液管7的下端距蒸发室2的底面距离均为蒸发室2高度的1/6，所述恒液管7的上端设置在储液室1内且距储液室1的顶端距离为储液室1高度的1/7。储液室1储存了液体后，将进液口5封闭，当恒液管7底端设置为斜口当蒸发室内的液面将恒液管下端出口封闭时，储液室1内没有空气进入储液室1内，使储液室1内的液体不会进入蒸发室，只有当蒸发室2内的液体被蒸发后露出恒液管7的下端出口，储液室内的液体才会进入蒸发室内，使蒸发室内的液体液位始终处于恒定状态。
Claims (7)
1.一种四氯化硅源恒温蒸发瓶，包括储液室(1)、蒸发室(2)、进气管(3)、出气室(4)，其特征在于：所述蒸发室(2)安装在储液室(1)的下端通过联络管道(6)连接导通，所述出气室(4)设置在蒸发室(2)的上端中部，所述进气管(3)设置在出气室(4)内且其下端伸入蒸发室(2)内。
2.如权利要求1所述的四氯化硅源恒温蒸发瓶，其特征在于：所述蒸发室(2)的内还设置有恒液管(7)与储液室(1)连接导通。
3.如权利要求1所述的四氯化硅源恒温蒸发瓶，其特征在于：所述储液室(1)上端设置有进液口(5)。
4.如权利要求1所述的四氯化硅源恒温蒸发瓶，其特征在于：所述进气管(3)的下端为喇叭口。
5.如权利要求1所述的四氯化硅源恒温蒸发瓶，其特征在于：所述出气室(4)设置在储液室(1)内，出气室(4)的上端伸出储液室(1)外且设置有出气口(8)。
6.如权利要求1所述的四氯化硅源恒温蒸发瓶，其特征在于：所述进气管(3)的上端伸出出气室(4)外与氢气源连接。
7.如权利要求1所述的四氯化硅源恒温蒸发瓶，其特征在于：所述联络管道(6)和恒液管(7)的下端距蒸发室(2)的底面距离均为蒸发室(2)高度的1/6，所述恒液管(7)的上端设置在储液室(1)内且距储液室(1)的顶端距离为储液室(1)高度的1/7。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201720770923.4U CN207774816U (zh) | 2017-06-28 | 2017-06-28 | 一种四氯化硅源恒温蒸发瓶 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201720770923.4U CN207774816U (zh) | 2017-06-28 | 2017-06-28 | 一种四氯化硅源恒温蒸发瓶 |
Publications (1)
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| CN207774816U true CN207774816U (zh) | 2018-08-28 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201720770923.4U Active CN207774816U (zh) | 2017-06-28 | 2017-06-28 | 一种四氯化硅源恒温蒸发瓶 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| CN (1) | CN207774816U (zh) |
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2017
- 2017-06-28 CN CN201720770923.4U patent/CN207774816U/zh active Active
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