CN207746887U - 一种易清洁的硅片研磨台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种易清洁的硅片研磨台，包括研磨台，所述研磨台的内部开设空腔，空腔内安装环板，所述环板的内侧壁围绕轴线设置齿块，所述研磨台的底部嵌入安装电机，电机的转轴伸入空腔的内部，且转轴的端部固定套设齿轮，所述齿轮与齿块啮合接触，所述环板上垂直设有管道连接装置，所述管道连接装置包括中空管、通孔、微型轴承和内螺纹管，所述中空管垂直于环板设置。本实用新型结构合理，使用方便，主要是对研磨台进行内部结构的改进，将研磨台的边侧开设空腔，安装可以旋转的环板，借助环板上的内螺纹管螺纹安装吹风管或者喷淋管，进而对研磨台进行灰、屑吹离或者喷淋清洗，提高了研磨台的清洁效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及研磨设备领域，具体是涉及一种易清洁的硅片研磨台。
背景技术
现有的硅片研磨台缺少清洁装置，使得硅片研磨之后，还需要人员进行台面清洁处理，非常的不便，清洁效率低，容易产生遗留。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术硅片研磨机清洁效率低的缺陷，提供一种易清洁的硅片研磨台。
为解决上述技术问题，本实用新型提供以下技术方案：一种易清洁的硅片研磨台，包括研磨台，所述研磨台的内部开设空腔，空腔内安装环板，所述环板的内侧壁围绕轴线设置齿块，所述研磨台的底部嵌入安装电机，电机的转轴伸入空腔的内部，且转轴的端部固定套设齿轮，所述齿轮与齿块啮合接触，所述环板上垂直设有管道连接装置，所述管道连接装置包括中空管、通孔、微型轴承和内螺纹管，所述中空管垂直于环板设置，中空管的管体由上到下间隔开设通孔，所述中空管的上端固定安装微型轴承，所述微型轴承的外圈与中空管的内侧壁固定连接，微型轴承的内圈固定插入内螺纹管。
进一步的，所述研磨台的空腔底部围绕环板的轴线开设槽孔，所述环板的下侧面围绕轴线开设与槽孔位置对应的环形槽，每个所述的槽孔内安装滚珠，滚珠与环形槽的槽底接触。
进一步的，所述环板的外侧开设环形导向槽，所述研磨台的空腔侧壁凸出设有稳定片，稳定片插入环形导向槽的内部。
进一步的，所述环板的上侧面围绕轴线垂直设置立柱，所有的所述立柱的上端与中空管的外侧壁共同固定密封环板，密封环板与研磨台的空腔腔口契合接触。
本实用新型与现有技术相比具有的有益效果是：一种易清洁的硅片研磨台，结构合理，使用方便，主要是对研磨台进行内部结构的改进，将研磨台的边侧开设空腔，安装可以旋转的环板，借助环板上的内螺纹管螺纹安装吹风管或者喷淋管，进而对研磨台进行灰、屑吹离或者喷淋清洗，提高了研磨台的清洁效率。
附图说明
图1为本实用新型一种易清洁的硅片研磨台齿轮与齿块啮合结构示意图；
图2为本实用新型一种易清洁的硅片研磨台密封环板安装结构示意图；
图3为本实用新型一种易清洁的硅片研磨台滚珠安装结构示意图；
图4为本实用新型一种易清洁的硅片研磨台管道连接装置侧视结构示意图。
图中标号为：1-研磨台；2-环板；3-齿块；4-电机；5-转轴；6-齿轮；7-连接装置；701-中空管；702-通孔；703-微型轴承；704-内螺纹管；8-槽孔；9-环形槽；10-滚珠； 11-环形导向槽；12-稳定片；13-密封环板。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
参照图1至图4可知：一种易清洁的硅片研磨台，包括研磨台1，所述研磨台1的内部开设空腔，空腔内安装环板2，所述环板2的内侧壁围绕轴线设置齿块3，所述研磨台1的底部嵌入安装电机4，电机4的转轴5伸入空腔的内部，且转轴5的端部固定套设齿轮6，所述齿轮6与齿块3啮合接触，所述环板2上垂直设有管道连接装置7，所述管道连接装置7包括中空管701、通孔702、微型轴承703和内螺纹管704，所述中空管701垂直于环板2设置，中空管701的管体由上到下间隔开设通孔702，所述中空管701的上端固定安装微型轴承703，所述微型轴承703的外圈与中空管701的内侧壁固定连接，微型轴承703的内圈固定插入内螺纹管704。
所述研磨台1的空腔底部围绕环板2的轴线开设槽孔8，所述环板2的下侧面围绕轴线开设与槽孔8位置对应的环形槽9，每个所述的槽孔8内安装滚珠10，滚珠10与环形槽9的槽底接触，便于环板2转动；所述环板2的外侧开设环形导向槽11，所述研磨台1的空腔侧壁凸出设有稳定片12，稳定片12插入环形导向槽11的内部，保持环板 2转动的稳定；所述环板2的上侧面围绕轴线垂直设置立柱，所有的所述立柱的上端与中空管701的外侧壁共同固定密封环板13，密封环板13与研磨台1的空腔腔口契合接触，避免研磨碎屑进入空腔内。
本实用新型的原理及优点：使用时，电机4的转轴5转动，由于齿轮6与齿块3啮合接触，环板2随之产生转动，且环板2的下侧面设置滚珠10，环板2转动摩擦小、声音小，由于所有的立柱上端与中空管701的外侧壁共同固定密封环板13，使得密封环板 13也随之转动，环板2转动的时候，稳定片12插入环形导向槽11的内部，避免环板2 因为研磨工作而上下振动，同时保持环板2转动时的稳定性，在内螺纹管704螺纹安装吹风管或者喷淋管，气体或者液体从通孔702喷出，环板2转动的时候，气体或者液体对研磨台进行灰、屑吹离或者喷淋清洗，而微型轴承703的内圈可在吹风管或者喷淋管转动的时候活动旋转，防止吹风管或者喷淋管转动的时候产生扭曲。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种易清洁的硅片研磨台，包括研磨台(1)，其特征在于：所述研磨台(1)的内部开设空腔，空腔内安装环板(2)，所述环板(2)的内侧壁围绕轴线设置齿块(3)，所述研磨台(1)的底部嵌入安装电机(4)，电机(4)的转轴(5)伸入空腔的内部，且转轴(5)的端部固定套设齿轮(6)，所述齿轮(6)与齿块(3)啮合接触，所述环板(2)上垂直设有管道连接装置(7)，所述管道连接装置(7)包括中空管(701)、通孔(702)、微型轴承(703)和内螺纹管(704)，所述中空管(701)垂直于环板(2)设置，中空管(701)的管体由上到下间隔开设通孔(702)，所述中空管(701)的上端固定安装微型轴承(703)，所述微型轴承(703)的外圈与中空管(701)的内侧壁固定连接，微型轴承(703)的内圈固定插入内螺纹管(704)。
2.根据权利要求1所述的一种易清洁的硅片研磨台，其特征在于，所述研磨台(1)的空腔底部围绕环板(2)的轴线开设槽孔(8)，所述环板(2)的下侧面围绕轴线开设与槽孔(8)位置对应的环形槽(9)，每个所述的槽孔(8)内安装滚珠(10)，滚珠(10)与环形槽(9)的槽底接触。
3.根据权利要求1所述的一种易清洁的硅片研磨台，其特征在于，所述环板(2)的外侧开设环形导向槽(11)，所述研磨台(1)的空腔侧壁凸出设有稳定片(12)，稳定片(12)插入环形导向槽(11)的内部。
4.根据权利要求1所述的一种易清洁的硅片研磨台，其特征在于，所述环板(2)的上侧面围绕轴线垂直设置立柱，所有的所述立柱的上端与中空管(701)的外侧壁共同固定密封环板(13)，密封环板(13)与研磨台(1)的空腔腔口契合接触。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110743889A (zh) * | 2019-10-28 | 2020-02-04 | 江先庆 | 一种纺织用除尘设备 |
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2017
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| CN110743889A (zh) * | 2019-10-28 | 2020-02-04 | 江先庆 | 一种纺织用除尘设备 |
| CN110743889B (zh) * | 2019-10-28 | 2021-07-13 | 山东滨州腾龙化纤绳网有限公司 | 一种纺织用除尘设备 |
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