CN207731896U - 一种等离子喷嘴以及等离子处理装置 - Google Patents

一种等离子喷嘴以及等离子处理装置 Download PDF

Info

Publication number
CN207731896U
CN207731896U CN201820190533.4U CN201820190533U CN207731896U CN 207731896 U CN207731896 U CN 207731896U CN 201820190533 U CN201820190533 U CN 201820190533U CN 207731896 U CN207731896 U CN 207731896U
Authority
CN
China
Prior art keywords
plasma
hole
ontology
nozzle
blind hole
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201820190533.4U
Other languages
English (en)
Inventor
蔡卫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shenzhen Cheng Cheng Feng Co Ltd
Original Assignee
Shenzhen Cheng Cheng Feng Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shenzhen Cheng Cheng Feng Co Ltd filed Critical Shenzhen Cheng Cheng Feng Co Ltd
Priority to CN201820190533.4U priority Critical patent/CN207731896U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN207731896U publication Critical patent/CN207731896U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Plasma Technology (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种等离子喷嘴,包括本体,所述本体的一端封闭,本体的另一端设置有盲孔,本体的侧壁上设置有通孔,所述通孔的两端分别连通所述盲孔和外界,所述通孔的轴线与所述盲孔的轴线之间的夹角大于0°且小于180°。还公开了一种等离子处理装置,包括等离子喷嘴,还包括等离子发生器套管和电极,所述等离子发生器套管内包括容置腔,所述电极设置于所述容置腔内;所述等离子喷嘴的另一端连接于所述容置腔的腔口。本实用新型改变了传统方式的等离子束的路径,让等离子束偏斜一定角度从喷嘴中出来,从而使等离子处理装置的适用性更加广泛,不仅可以处理平面产品,而且可以处理内壁槽、隐藏槽、燕尾槽等槽式产品。

Description

一种等离子喷嘴以及等离子处理装置
技术领域
本实用新型涉及等离子设备领域,尤其涉及一种等离子喷嘴以及等离子处理装置。
背景技术
等离子体由于其良好的流动性和、扩散性、导电性和导热性而被广泛应用于各个领域,从我们的日常生活到工业、农业、环保、军事、宇航、能源、天体等方面,它都有非常重要的应用价值,等离子喷枪的使用也越来越多。但是现有的等离子喷枪大多如如1所示的,喷枪的等离子喷嘴3的出口为直筒形,等离子束4只能从中间的圆形小孔中出来,等离子束4的路径与喷枪的长度方向一致。因此,这种等离子喷嘴3只能用于处理平面型的基材,而无法处理具有槽型结构的基材。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是:提供一种等离子喷嘴以及等离子处理装置,不仅能够处理平面基材,而且能够方便地处理具有槽型结构的基材。
为了解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案一为:
一种等离子喷嘴,包括本体,所述本体的一端封闭,本体的另一端设置有盲孔,本体的侧壁上设置有通孔,所述通孔的两端分别连通所述盲孔和外界,所述通孔的轴线与所述盲孔的轴线之间的夹角大于0°且小于180°。
进一步的,所述通孔的数目为一个。
进一步的,所述通孔的数目为两个以上,两个以上的通孔沿本体的周向均匀分布于所述本体的侧壁上。
进一步的,所述通孔的轴线与所述盲孔的轴线之间的夹角为钝角。
进一步的,所述本体包括锥形连接部和柱形延长部,所述柱形延长部连接于所述锥形连接部的底端;所述通孔位于所述柱形延长部上。
进一步的,所述通孔与所述盲孔的孔底相接。
为了解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案二为:
一种等离子处理装置,包括技术方案一所述的等离子喷嘴,还包括等离子发生器套管和电极,所述等离子发生器套管内包括容置腔,所述电极设置于所述容置腔内;所述等离子喷嘴的另一端连接于所述容置腔的腔口。
本实用新型的有益效果在于:本实用新型改变了传统方式的等离子束的路径,让等离子束偏斜一定角度从喷嘴中出来,从而使等离子处理装置的适用性更加广泛,不仅可以处理平面产品,而且可以处理内壁槽、隐藏槽、燕尾槽等槽式产品。
附图说明
图1为现有技术的等离子处理装置的结构示意图;
图2为本实用新型实施例一的等离子喷嘴的结构示意图;
图3为本实用新型实施例一的等离子处理装置的结构示意图;
图4为本实用新型实施例二的等离子喷嘴的结构示意图;
图5为本实用新型实施例二的等离子处理装置处理基材时的示意图;
标号说明:
1、等离子发生器套管;2、电极;3、等离子喷嘴;31、锥形连接部;32、柱形延长部;33、盲孔;34、通孔;4、等离子束;5、基材。
具体实施方式
为详细说明本实用新型的技术内容、所实现目的及效果,以下结合实施方式并配合附图予以说明。
本实用新型最关键的构思在于:沿喷嘴的轴向设置盲孔,在喷嘴的侧壁设置通孔,通孔与盲孔相连通,且通孔的轴线和盲孔的轴线之间具有夹角。
请参照图2至图5,一种等离子喷嘴,包括本体,所述本体的一端封闭,本体的另一端设置有盲孔,本体的侧壁上设置有通孔,所述通孔的两端分别连通所述盲孔和外界,所述通孔的轴线与所述盲孔的轴线之间的夹角R大于0°且小于180°。
从上述描述可知,本实用新型的有益效果在于:本实用新型改变了传统方式的等离子束的路径,让等离子束偏斜一定角度从喷嘴中出来,从而使等离子处理装置的适用性更加广泛,不仅可以处理平面产品,而且可以处理内壁槽、隐藏槽、燕尾槽等槽式产品。
进一步的,所述通孔的数目为一个。
进一步的,所述通孔的数目为两个以上,两个以上的通孔沿本体的周向均匀分布于所述本体的侧壁上。
由上述描述可知,等离子束可以分成多束从喷嘴内出来,同时对多个部位进行表面处理。
进一步的,所述通孔的轴线与所述盲孔的轴线之间的夹角R为钝角。
由上述描述可知,所述通孔的轴线是斜向下的,可更方便地处理槽类产品。
进一步的,所述本体包括锥形连接部和柱形延长部,所述柱形延长部连接于所述锥形连接部的底端;所述通孔位于所述柱形延长部上。
由上述描述可知,相对于现有技术的喷嘴,本实用新型增加了柱形延长部,可使喷嘴的长度加长,等离子束离开放电室后,冷却了一部分等离子体的温度,可明显降低基材的温度,提高产品的处理效率,温度的改善降低20%-40%左右,处理效率同时提高10%-20%左右。
进一步的,所述通孔与所述盲孔的孔底相接。
为了解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案二为:
一种等离子处理装置,包括技术方案一所述的等离子喷嘴,还包括等离子发生器套管和电极,所述等离子发生器套管内包括容置腔,所述电极设置于所述容置腔内;所述等离子喷嘴的另一端连接于所述容置腔的腔口。
由上述描述可知,电极释放出等离子体后即可经由容置腔的腔口进入等离子喷嘴中,然后从等离子喷嘴中呈一定角度喷出。
实施例一
请参照图2以及图3,本实用新型的实施例一为:一种等离子处理装置包括等离子发生器套管1、电极2和等离子喷嘴3,所述等离子发生器套管1内包括容置腔,所述电极2设置于所述容置腔内;所述等离子喷嘴3的另一端连接于所述容置腔的腔口。
所述等离子喷嘴3包括本体,所述本体的底端封闭,本体的顶端上开设有盲孔33,所述盲孔33的孔底靠近所述本体的底端。所述本体的侧壁上设置有一个通孔34,所述通孔34的两端分别连通所述盲孔33和外界,所述通孔34的轴线与所述盲孔33的轴线之间的夹角R大于0°且小于180°。优选的,所述通孔34的轴线与所述盲孔33的轴线之间的夹角R为钝角,也就是说通孔34的轴线是斜向下的。在本实施例中,所述通孔34的轴线与所述盲孔33的轴线之间的夹角R为135°。所述通孔34的内端口与所述盲孔33的孔底相接,当然的,在其他实施例中,所述通孔34的内端口也可以与所述盲孔33的孔壁相接。如图3所示,所述等离子束4是斜向下射出的。
为提高等离子处理装置的处理效率,在本实施例中,所述本体包括锥形连接部31和柱形延长部32,所述锥形连接部31的顶端与所述等离子发生器套管1相连接,所述柱形延长部32连接于所述锥形连接部31的底端,所述柱形延长部32和锥形连接部31一体成型。所述盲孔33从所述锥形连接部31一直延伸至所述柱形延长部32中,所述盲孔33的孔底靠近所述柱形延长部32的底端。所述通孔34位于所述柱形延长部32上。等离子体刚形成时温度非常高,所述柱形延长部32能够将等离子体进行一定程度的冷却,可降低处理基材5时的温度,提高处理效率。所述柱形延长部32的长度能够保证是在等离子体在聚合之前等离子束4能够从等离子喷嘴3中出去。本实施例的温度可降低20%-40%左右,处理效率可提高10%-20%左右。
实施例二
请参照图4,本实用新型的实施例二为:本实施例与实施例一的不同之处在于,所述通孔34的数目为两个以上,两个以上的通孔34沿本体的周向均匀分布于所述本体的侧壁上。优选的,在本实施例中,所述通孔34的数目为两个,两个通孔34对称设置于所述等离子喷嘴3的左右两侧。等离子束4从容置腔进入盲孔33,然后在盲孔33的底端被分为两束,两束等离子束4分别沿左下方和右下方倾斜,可同时对不同能够部位进行表面处理。如图5所示,左右两束等离子束4可对基材5上的凹槽的两侧槽壁同时进行表面处理,加快了处理效率。
综上所述,本实用新型提供的等离子喷嘴3以及等离子处理装置不仅可处理平面类基材5,而且能够处理带槽类基材5,适用范围更广;且本实用新型在喷嘴上增加了柱形延长部32,增加了喷嘴的长度,可降低基材5的温度,提高处理效率。
以上所述仅为本实用新型的实施例,并非因此限制本实用新型的专利范围,凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等同变换,或直接或间接运用在相关的技术领域,均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (7)

1.一种等离子喷嘴,其特征在于,包括本体,所述本体的一端封闭,本体的另一端设置有盲孔,本体的侧壁上设置有通孔,所述通孔的两端分别连通所述盲孔和外界,所述通孔的轴线与所述盲孔的轴线之间的夹角大于0°且小于180°。
2.如权利要求1所述的等离子喷嘴,其特征在于,所述通孔的数目为一个。
3.如权利要求1所述的等离子喷嘴,其特征在于,所述通孔的数目为两个以上,两个以上的通孔沿本体的周向均匀分布于所述本体的侧壁上。
4.如权利要求1所述的等离子喷嘴,其特征在于,所述通孔的轴线与所述盲孔的轴线之间的夹角为钝角。
5.如权利要求1所述的等离子喷嘴,其特征在于,所述本体包括锥形连接部和柱形延长部,所述柱形延长部连接于所述锥形连接部的底端;所述通孔位于所述柱形延长部上。
6.如权利要求1所述的等离子喷嘴,其特征在于,所述通孔与所述盲孔的孔底相接。
7.一种等离子处理装置,其特征在于,包括权利要求1-6任意一项所述的等离子喷嘴,还包括等离子发生器套管和电极,所述等离子发生器套管内包括容置腔,所述电极设置于所述容置腔内;所述等离子喷嘴的另一端连接于所述容置腔的腔口。
CN201820190533.4U 2018-02-02 2018-02-02 一种等离子喷嘴以及等离子处理装置 Active CN207731896U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201820190533.4U CN207731896U (zh) 2018-02-02 2018-02-02 一种等离子喷嘴以及等离子处理装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201820190533.4U CN207731896U (zh) 2018-02-02 2018-02-02 一种等离子喷嘴以及等离子处理装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN207731896U true CN207731896U (zh) 2018-08-14

Family

ID=63081222

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201820190533.4U Active CN207731896U (zh) 2018-02-02 2018-02-02 一种等离子喷嘴以及等离子处理装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN207731896U (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112752385A (zh) * 2021-01-15 2021-05-04 深圳市诚峰智造有限公司 一种旋转等离子喷枪喷嘴

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112752385A (zh) * 2021-01-15 2021-05-04 深圳市诚峰智造有限公司 一种旋转等离子喷枪喷嘴

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN207731896U (zh) 一种等离子喷嘴以及等离子处理装置
JP4732685B2 (ja) 物品をコーティングする装置
JP2013539159A5 (zh)
CA2598717A1 (en) Method and system for coating sections of internal surfaces
CN107454730A (zh) 包括回旋环的等离子体电弧切割系统和有关运行方法
CN102625557A (zh) 大气压裸电极冷等离子体射流发生装置
TW200644117A (en) Plasma processing apparatus and plasma processing method
JP2001148378A5 (zh)
CN103781271A (zh) 一种可用于伤口愈合的常压冷等离子体发生装置
KR20180122350A (ko) 플라즈마 생성 장치
CN109982500A (zh) 微波等离子体处理装置
KR100760551B1 (ko) 상압 플라즈마 발생장치
WO2009044798A1 (ja) プラズマ処理装置およびプラズマ密度分布の調整方法
CN202103932U (zh) 一种磁场增强的等离子体枪
CN106702350A (zh) 进气组件及反应腔室
CN214046102U (zh) 一种旋转等离子喷枪喷嘴
CN206160880U (zh) 靶材成品检测工装
CN112752385A (zh) 一种旋转等离子喷枪喷嘴
KR101677441B1 (ko) Ecr 플라즈마 스퍼터링 장치
JP2016072065A (ja) プラズマ処理装置
JP2014051699A (ja) 合金薄膜生成装置
CN203936002U (zh) 涂布烘干机及其专用风嘴
CN205398714U (zh) 一种改善pvd侧按键产品色差的夹具
JP2000230064A (ja) 成膜装置及び成膜方法
CN210042344U (zh) 手持式等离子喷枪

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant