CN207717282U - 一种能延长压力传感器寿命的u型加长管 - Google Patents
一种能延长压力传感器寿命的u型加长管 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型涉及一种能延长压力传感器寿命的U型加长管,包括有反应室腔体1、U型管2、压力传感器3、直径为16毫米的卡扣连接4、刻铝设备Lam TCP9600;该装置可以在设备主体加装,方便灵活,高度随意调整,价格低廉,加工简单,可以极大的方便从而延长了压力传感器的寿命。
Description
技术领域
本发明属于制造技术领域,适用于一种能延长压力传感器寿命的U型加长管。
背景技术
反应室腔体正常工作(10毫托左右)时充满等离子体,同时压力传感器也正常工作并与腔体连通。工艺腔反应生成物会游离生长在压力传感器内壁,由于生成物中有氯成分,容易腐蚀压力传感器内壁。由于压力传感器是电容传感,内壁腐蚀影响精度,从而影响了寿命。为了减少工艺腔反应生成物游离生长在压力传感器内壁,由于生成物中有氯成分从而减少腐蚀压力传感器内壁,使得压力传感器寿命延长。
发明内容
有鉴于此,本发明要解决的技术问题是:减少工艺腔反应生成物游离生长在压力传感器内壁,使得压力传感器寿命延长。
本发明包括反应室腔体1、U型管2、压力传感器3、直径为16毫米的卡扣连接4、刻铝设备Lam TCP9600;其中在所述刻铝设备Lam TCP9600加装所述U型管2,这样可以在刻铝工艺时导致的带氯的反应生成物多,所述U型管2后,淀积在所述压力传感器3的内壁的带氯反应生成物少了,从而延长所述压力传感器3的寿命;其中所述U型管2的宽度为8cm;高度为15cm;
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
具体实施方式
为了使本发明所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本发明进行详细的说明。应当说明的是,此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明,并不用于限定本发明,能实现同样功能的产品属于等同替换和改进,均包含在本发明的保护范围之内。具体方法如下:
实施例1:下面我们结合具体的实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。其中包括构造、各部件间的位置和连接关系或条件、工艺过程。
Lam TCP94/96腔体与压力传感器的连接见图1。反应室腔体正常工作(10毫托左右)时充满等离子体,同时压力传感器也正常工作并与腔体连通。工艺腔反应生成物会游离生长在压力传感器内壁,由于生成物中有氯成分,容易腐蚀压力传感器内壁。
由于压力传感器是电容传感,内壁腐蚀影响精度,从而影响了寿命。
为了减少工艺腔反应生成物游离生长在压力传感器内壁,由于生成物中有氯成分从而减少腐蚀压力传感器内壁,使得压力传感器寿命延长。
附图1为加装了U型管后的简易图。加装管是U型316不锈钢管(外径12mm内径8mm)两端为直径16毫米Clamp(卡扣式)连接。U型管尺寸见图(15厘米X8厘米)较佳(对工艺没有影响)。压力传感器垂直安装。
说明:Plasma等离子体manometer压力传感器Clamp夹具
加装了U型管后,主腔压力传感器(100毫托)的使用寿命延长20%以上。
其中包括有:1.U型管。
2.压力传感器。
3.反应室腔体。
4.直径为16毫米的卡扣连接。
图中Lam TCP9600为刻铝设备。在刻铝工艺中带氯的反应生成物多,加装U型管(部件2)后,淀积在压力传感器(部件3)内壁的带氯反应生成物少了,从而延长了压力传感器的寿命。
本发明的有益效果:该装置可以在设备主体下方进行加固,方便灵活,高度随意调整,价格低廉,加工简单,可以极大的方便从而延长了压力传感器的寿命。
Claims (1)
1.一种能延长压力传感器寿命的U型加长管,其特征是:包括有反应室腔体(1)、U型管(2)、压力传感器(3)、直径为16毫米的卡扣连接(4)、刻铝设备Lam TCP9600;其中在所述刻铝设备Lam TCP9600加装所述U型管(2),其中所述U型管(2)的宽度为8cm;高度为15cm。
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CN201721784079.7U CN207717282U (zh) | 2017-12-20 | 2017-12-20 | 一种能延长压力传感器寿命的u型加长管 |
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CN201721784079.7U Active CN207717282U (zh) | 2017-12-20 | 2017-12-20 | 一种能延长压力传感器寿命的u型加长管 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN109341938A (zh) * | 2018-11-26 | 2019-02-15 | 上海意丰机电科技开发有限公司 | 一种防堵测压装置 |
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2017
- 2017-12-20 CN CN201721784079.7U patent/CN207717282U/zh active Active
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