CN207690774U - 一种舟片间距渐变新型石墨舟 - Google Patents
一种舟片间距渐变新型石墨舟 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型公开了一种舟片间距渐变新型石墨舟，包括第一组舟片、中间舟片和第二组舟片，所述第一组舟片设置于中间舟片顶部以及第二组舟片设置于中间舟片底部，其特征在于：所述第一组舟片、中间舟片和第二组舟片上设有第一通孔，所述第一组舟片、中间舟片和第二组舟片两侧设有第二通孔。本实用新型由于新型石墨舟舟片间距由外侧舟片到中间舟片逐渐变小，因此射频镀膜时对应的电场强度由外侧舟片到中间舟片逐渐变大，这种电场由外到内逐渐变大的电场分布正好补偿了管式PECVD热场由外到内逐渐变小的分布，使得舟内镀膜均匀性极大程度提高并且可以补偿热场分布的不均匀性，因此沉积镀膜工艺的升温稳定时间可一定幅度减少，对应的生产效率变大。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶硅太阳能电池领域，特别涉及一种舟片间距渐变新型石墨舟。
背景技术
太阳能电池作为一种光学器件用于将太阳能转化为电能，在制造太阳能电池工艺过程需要沉积减反射薄膜膜层利于电池可以吸收更多的光子。目前管式PECVD沉积镀膜方式因其反应温度低、膜质量好在行业内被普遍推广应用。墨舟是太阳能电池管式PECVD镀膜的载体，其舟片通常为21片，舟片间距通常为10mm或12mm，而且整舟正片间距保持一致。
固定一致的舟片间距使得镀膜时舟内的电场强度一致，而管式PECVD的加热方式为由舟片外部向内部以热辐射的方式进行，这样导致了热场的不均匀，造成了中间舟片镀膜膜厚薄、折射率低，外侧舟片镀膜膜厚厚、折射率高，舟内镀膜均匀性差。对于小管径炉管，舟内均匀性差体现的更为严重。为改善此问题，目前通常增加镀膜前的升温稳定时间来解决，但很大程度上限制了生产效率。
因此，发明一种舟片间距渐变新型石墨舟来解决上述问题很有必要。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种舟片间距渐变新型石墨舟，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种舟片间距渐变新型石墨舟，包括第一组舟片、中间舟片和第二组舟片，所述第一组舟片设置于中间舟片顶部以及第二组舟片设置于中间舟片底部，其特征在于：所述第一组舟片、中间舟片和第二组舟片上设有第一通孔，所述第一组舟片、中间舟片和第二组舟片两侧设有第二通孔，所述第一组舟片包括顶部舟片和第一石墨舟片，所述第二组舟片包括底部舟片和第二石墨舟片，所述顶部舟片和第一石墨舟片之间设有第一陶瓷圈，所述第一石墨舟片和第二石墨舟片与中间舟片之间设有第二陶瓷圈，所述底部舟片和第二石墨舟片之间设有第三陶瓷圈，所述第一陶瓷圈、第二陶瓷圈和第三陶瓷圈内部设有第一陶瓷棒，所述第一陶瓷棒与第二通孔活动卡接，所述第一组舟片、中间舟片和第二组舟片两侧设有石墨块，所述石墨块上设有开孔，所述开孔内设有第二陶瓷棒，所述第一陶瓷棒和第二陶瓷棒两端均设有石墨螺母。
优选的，所述第二通孔与开孔相对应。
优选的，所述第一石墨舟片和第二石墨舟片数量均设置为十个，所述第一陶瓷圈和第三陶瓷圈均设置为十个，所述第二陶瓷圈设置为两个。
优选的，十个所述第一陶瓷圈由上到下厚度依次减小，十个所述第三陶瓷圈由下到上厚度依次减小，所述第一陶瓷圈和第三陶瓷圈对称设置且对称设置的第一陶瓷圈和第三陶瓷圈厚度相同。
优选的，所述石墨块设置与第一陶瓷圈、第二陶瓷圈和第三陶瓷圈对应设置且厚度相同。
优选的，所述第一陶瓷圈、第二陶瓷圈和第三陶瓷圈上均设有编码。
本实用新型的技术效果和优点：由于新型石墨舟舟片间距由外侧舟片到中间舟片逐渐变小，因此射频镀膜时对应的电场强度由外侧舟片到中间舟片逐渐变大，这种电场由外到内逐渐变大的电场分布正好补偿了管式PECVD热场由外到内逐渐变小的分布，使得舟内镀膜均匀性极大程度提高；由外到内逐渐变大的电场分布可以补偿热场分布的不均匀性，因此沉积镀膜工艺的升温稳定时间可一定幅度减少，对应的生产效率变大；另外编码的设置使陶瓷圈的安放快速精准，固定牢固。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图。
图2为本实用新型的第一陶瓷棒结构示意图。
图中：1第一组舟片、11顶部舟片、12第一石墨舟片、2中间舟片、3第二组舟片、31底部舟片、32第二石墨舟片、4第一通孔、5第一陶瓷圈、6第二陶瓷圈、7第三陶瓷圈、8第一陶瓷棒、9石墨块、10开孔、13第二陶瓷棒、14石墨螺母、15编码、16第二通孔。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型提供了如图1-2所示的一种舟片间距渐变新型石墨舟，包括第一组舟片1、中间舟片2和第二组舟片3，所述第一组舟片1设置于中间舟片2顶部以及第二组舟片3设置于中间舟片2底部，其特征在于：所述第一组舟片1、中间舟片2和第二组舟片3上设有第一通孔4，所述第一组舟片1、中间舟片2和第二组舟片3两侧设有第二通孔16，所述第一组舟片1包括顶部舟片11和第一石墨舟片12，所述第二组舟片3包括底部舟片31和第二石墨舟片32，所述顶部舟片11和第一石墨舟片12之间设有第一陶瓷圈5，所述第一石墨舟片12和第二石墨舟片32与中间舟片2之间设有第二陶瓷圈6，所述底部舟片31和第二石墨舟片32之间设有第三陶瓷圈7，所述第一陶瓷圈5、第二陶瓷圈6和第三陶瓷圈7内部设有第一陶瓷棒8，所述第一陶瓷棒8与第二通孔16活动卡接，所述第一组舟片1、中间舟片2和第二组舟片3两侧设有石墨块9，所述石墨块9上设有开孔10，所述开孔10内设有第二陶瓷棒13，所述第一陶瓷棒8和第二陶瓷棒13两端均设有石墨螺母14。
所述第二通孔16与开孔10相对应，有利于方便第一组舟片1、中间舟片2和第二组舟片3套设在第二陶瓷棒13上，所述第一石墨舟片12和第二石墨舟片32数量均设置为十个，所述第一陶瓷圈5和第三陶瓷圈7均设置为十个，所述第二陶瓷圈6设置为两个，十个所述第一陶瓷圈5由上到下厚度依次减小，十个所述第三陶瓷圈7由下到上厚度依次减小，所述第一陶瓷圈5和第三陶瓷圈7对称设置且对称设置的第一陶瓷圈5和第三陶瓷圈7厚度相同，有利于第一组舟片1和第二组舟片3向中间舟片2方向的间距逐渐减小，射频镀膜时，对应的电场强度由外侧的舟片到中间舟片2逐渐变大，这种电场由外到内逐渐变大的电场分布正好补偿了管式PECVD热场由外到内逐渐变小的分布，使得舟内镀膜均匀性极大程度提高，所述石墨块9设置与第一陶瓷圈5、第二陶瓷圈6和第三陶瓷圈7对应设置且厚度相同，所述第一陶瓷圈5、第二陶瓷圈6和第三陶瓷圈7上均设有编码15，有利于找到相匹配的第一陶瓷圈5、第二陶瓷圈6和第三陶瓷圈7，实现快速安装。
本实用工作原理：安装时，将所有石墨舟零部件放置于操作工作台上，组装第一组舟片1和中间舟片2，将底部舟片31放置于最底层，找到对应第一通孔4插上第一陶瓷棒8，在第二通孔16内插入第二陶瓷棒13，找到相对应编码15的第三陶瓷圈7放入第一陶瓷棒8内，将石墨块9套入第二陶瓷棒13上，再放入与底部舟片31上设有相同第一陶瓷棒8的第二石墨舟片32，如此交叉循环组装直至放置中间舟片2和第二陶瓷圈6；组装第二组舟片的过程一致只需将第三陶瓷圈7按照长度顺序逆序放入即可；最后将石墨舟舟片立放，将第二陶瓷棒13与石墨块9通过石墨螺母14固定，将第一陶瓷棒8与第一组舟片1、中间舟片2、第二组舟片3、第一陶瓷圈5、第二陶瓷圈6和第三陶瓷圈7固定，石墨舟组装完成。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种舟片间距渐变新型石墨舟，包括第一组舟片（1）、中间舟片（2）和第二组舟片（3），所述第一组舟片（1）设置于中间舟片（2）顶部以及第二组舟片（3）设置于中间舟片（2）底部，其特征在于：所述第一组舟片（1）、中间舟片（2）和第二组舟片（3）上设有第一通孔（4），所述第一组舟片（1）、中间舟片（2）和第二组舟片（3）两侧设有第二通孔（16），所述第一组舟片（1）包括顶部舟片（11）和第一石墨舟片（12），所述第二组舟片（3）包括底部舟片（31）和第二石墨舟片（32），所述顶部舟片（11）和第一石墨舟片（12）之间设有第一陶瓷圈（5），所述第一石墨舟片（12）和第二石墨舟片（32）与中间舟片（2）之间设有第二陶瓷圈（6），所述底部舟片（31）和第二石墨舟片（32）之间设有第三陶瓷圈（7），所述第一陶瓷圈（5）、第二陶瓷圈（6）和第三陶瓷圈（7）内部设有第一陶瓷棒（8），所述第一陶瓷棒（8）与第二通孔（16）活动卡接，所述第一组舟片（1）、中间舟片（2）和第二组舟片（3）两侧设有石墨块（9），所述石墨块（9）上设有开孔（10），所述开孔（10）内设有第二陶瓷棒（13），所述第一陶瓷棒（8）和第二陶瓷棒（13）两端均设有石墨螺母（14）。
2.根据权利要求1所述的一种舟片间距渐变新型石墨舟，其特征在于：所述第二通孔（16）与开孔（10）相对应。
3.根据权利要求1所述的一种舟片间距渐变新型石墨舟，其特征在于：所述第一石墨舟片（12）和第二石墨舟片（32）数量均设置为十个，所述第一陶瓷圈（5）和第三陶瓷圈（7）均设置为十个，所述第二陶瓷圈（6）设置为两个。
4.根据权利要求3所述的一种舟片间距渐变新型石墨舟，其特征在于：十个所述第一陶瓷圈（5）由上到下厚度依次减小，十个所述第三陶瓷圈（7）由下到上厚度依次减小，所述第一陶瓷圈（5）和第三陶瓷圈（7）对称设置且对称设置的第一陶瓷圈（5）和第三陶瓷圈（7）厚度相同。
5.根据权利要求1所述的一种舟片间距渐变新型石墨舟，其特征在于：所述石墨块（9）设置与第一陶瓷圈（5）、第二陶瓷圈（6）和第三陶瓷圈（7）对应设置且厚度相同。
6.根据权利要求1所述的一种舟片间距渐变新型石墨舟，其特征在于：所述第一陶瓷圈（5）、第二陶瓷圈（6）和第三陶瓷圈（7）上均设有编码（15）。
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| CN201721791009.4U CN207690774U (zh) | 2017-12-20 | 2017-12-20 | 一种舟片间距渐变新型石墨舟 |
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| CN201721791009.4U CN207690774U (zh) | 2017-12-20 | 2017-12-20 | 一种舟片间距渐变新型石墨舟 |
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| CN (1) | CN207690774U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2021212807A1 (zh) * | 2020-04-22 | 2021-10-28 | 宁夏隆基乐叶科技有限公司 | 一种载片器和镀膜系统 |
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2017
- 2017-12-20 CN CN201721791009.4U patent/CN207690774U/zh active Active
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