CN207621689U - 一种有机化学输送系统用机台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种有机化学输送系统用机台,机台本体内靠近机台本体前部的位置设有填充口,机台本体正面与填充区相对应的位置设有填充阀和填充窗口;机台本体内靠近填充口的位置设有取样区;机台本体内靠近机台本体后方设置有管路区,机台本体内靠近机台本体右侧设置有便于电控设备安装的电控区,管路区与电控区之间通过板材分隔开,电控区与填充口和取样区之间通过板材分隔开;机台本体的底部对应管路区的位置设有防漏盘和泄露侦测器。通过上述方式,本实用新型能够布局错落有致,美观大方,管路区设置开关门,供安装管路和维修用,比较容易操作,下方设置有防漏盘,以防机台药液渗漏,产生污染或者危害操作工人。
Description
技术领域
本实用新型涉及化学品输送领域,特别是涉及一种有机化学输送系统用机台。
背景技术
随着我国半导体行业的继续发展,芯片生产线在我国也已开始越来越规模化,其目的是实现对芯片上的杂质、微粒子进行清洗等。而作为半导体制程前端化学品输送系统,将槽车内的原液输送至厂区内的储存槽,涉及到多种危险化学品输送和应用,此类化学品都具有高危害性,易燃易爆。
但是现有的化学品输送系统,是通过管道输送,不能有效保障输送过程中的安全,不能半自动控制原液的输送,且没有设置防漏措施,容易造成泄露却没有侦测报警,造成污染和伤害。
实用新型内容
本实用新型主要解决的技术问题是提供一种有机化学输送系统用机台,布局错落有致,美观大方,管路区设置开关门,供安装管路和维修用,比较容易操作,下方设置有防漏盘,以防机台药液渗漏,产生污染或者危害操作工人。
为解决上述技术问题,本实用新型采用的一个技术方案是:提供一种有机化学输送系统用机台,包括机台本体,所述机台本体内靠近机台本体前部的位置设有填充口,机台本体正面与填充区相对应的位置设有填充阀和填充窗口;所述机台本体内靠近填充口的位置设有取样区,机台本体正面与取样区相对应位置设有取样阀和取样窗口;所述机台本体内靠近机台本体后方设置有管路区,所述机台本体内靠近机台本体右侧设置有便于电控设备安装的电控区,管路区与电控区之间通过板材分隔开,电控区与填充口和取样区之间通过板材分隔开;所述机台本体的底部对应管路区的位置设有防漏盘和泄露侦测器。
进一步,所述机台本体由骨架和安装在骨架上的板材构成,骨架由方钢焊接而成,板材采用抛光不锈钢板焊接而成。
进一步,所述机台本体的正面对应电控区的位置设有人机界面和控制按钮。
进一步,所述机台本体右侧对应管路区的位置设有管路区开关门,机台本体右侧对应电控区的位置设有电控区开关门。
进一步,所述机台本体底部设有万向轮。
本实用新型的有益效果是:本实用新型布局错落有致,美观大方,管路区设置开关门,供安装管路和维修用,比较容易操作,下方设置有防漏盘,以防机台药液渗漏,产生污染或者危害操作工人。
附图说明
图1是本实用新型一种有机化学输送系统用机台一较佳实施例的主视结构示意图;
图2是所示一种有机化学输送系统用机台的A-A剖视结构示意图。
附图中各部件的标记如下:1、机台本体;2、填充窗口;3、取样窗口;4、管路区;5、电控区;6、人机界面。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述,以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解,从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
请参阅图1和图2,本实用新型实施例包括:
一种有机化学输送系统用机台,包括机台本体1,机台本体1由骨架和安装在骨架上的板材构成,骨架由方钢焊接而成,板材采用抛光不锈钢板焊接而成。所述机台本体内靠近机台本体前部的位置设有填充口,机台本体正面与填充区相对应的位置设有填充阀和填充窗口2;所述机台本体内靠近填充口的位置设有取样区,机台本体正面与取样区相对应位置设有取样阀和取样窗口3;所述机台本体内靠近机台本体后方设置有管路区4,所述机台本体内靠近机台本体右侧设置有便于电控设备安装的电控区,管路区4与电控区5之间通过板材分隔开,电控区5与管路区4相互独立,便于安装、维修及防止酸气泄露进电控区,电控区与填充口和取样区之间通过板材分隔开;所述机台本体的底部对应管路区的位置设有防漏盘和泄露侦测器。所述机台本体的正面对应电控区的位置设有人机界面6和控制按钮。所述机台本体右侧对应管路区的位置设有管路区开关门,机台本体右侧对应电控区的位置设有电控区开关门。所述机台本体底部设有万向轮。本实用新型布局错落有致,美观大方,管路区设置开关门,供安装管路和维修用,比较容易操作。本实用新型拆卸方便,在机台本体的底部设置有防漏盘和泄露侦测器,以防机台药液渗漏,产生污染或者危害操作工人。
以上所述仅为本实用新型的实施例,并非因此限制本实用新型的专利范围,凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
Claims (5)
1.一种有机化学输送系统用机台,包括机台本体,其特征在于:所述机台本体内靠近机台本体前部的位置设有填充口,机台本体正面与填充区相对应的位置设有填充阀和填充窗口;所述机台本体内靠近填充口的位置设有取样区,机台本体正面与取样区相对应位置设有取样阀和取样窗口;所述机台本体内靠近机台本体后方设置有管路区,所述机台本体内靠近机台本体右侧设置有便于电控设备安装的电控区,管路区与电控区之间通过板材分隔开,电控区与填充口和取样区之间通过板材分隔开;所述机台本体的底部对应管路区的位置设有防漏盘和泄露侦测器。
2.根据权利要求1所述的一种有机化学输送系统用机台,其特征在于:所述机台本体由骨架和安装在骨架上的板材构成,骨架由方钢焊接而成,板材采用抛光不锈钢板焊接而成。
3.根据权利要求1所述的一种有机化学输送系统用机台,其特征在于:所述机台本体的正面对应电控区的位置设有人机界面和控制按钮。
4.根据权利要求1所述的一种有机化学输送系统用机台,其特征在于:所述机台本体右侧对应管路区的位置设有管路区开关门,机台本体右侧对应电控区的位置设有电控区开关门。
5.根据权利要求1所述的一种有机化学输送系统用机台,其特征在于:所述机台本体底部设有万向轮。
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