CN207621425U - 一种酸碱化学品供应系统用阀箱 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种酸碱化学品供应系统用阀箱，包括阀箱本体，阀箱本体的左侧设置管路区，阀箱本体的右侧设置有便于电控设备安装的电控区，阀箱本体的底部设置有防漏传感器和阀门。通过上述方式，本实用新型布局错落有致，美观大方，管路区设置开关门，供安装管路和维修用，比较容易操作。电控区设置推拉门，供安装电控设备和维修用，密封效果好。本实用新型拆卸方便，在阀箱本体的下方设置有支撑架和防漏保护，以防阀箱药液渗漏，产生污染或者危害操作工人。
Description
技术领域
本实用新型涉及化学品供应阀箱领域，特别是涉及一种酸碱化学品供应系统用阀箱。
背景技术
随着我国半导体行业的继续发展,芯片生产线在我国也已开始越来越规模化，其目的是实现对芯片上的杂质、微粒子进行清洗等。而作为半导体制程前端的化学品供应系统，其工作中的任何问题都可能会造成无法估量的损失,因此为了不断提高化学品供应系统的稳定性和可靠性，半导体制造厂商已越来越重视该制程中的每一个化学品供应设备。涉及到多种危险化学品输送和应用，例如氢氟酸、盐酸和硝酸等，此类化学品都具有高危害性，高腐蚀性。
但是现有的化学品供应系统的阀箱在处理本体密封，机台拆卸方面都存在着不足，且没有设置防漏措施，容易造成少量泄露却没有侦测报警，造成污染和伤害。
实用新型内容
本实用新型主要解决的技术问题是提供一种酸碱化学品供应系统用阀箱，布局错落有致，美观大方，管路区设置开关门，供安装管路和维修用，比较容易操作。电控区设置推拉门，供安装电控设备和维修用，密封效果好。本实用新型拆卸方便，在阀箱本体的下方设置有支撑架和防漏保护，以防阀箱药液渗漏，产生污染或者危害操作工人。
为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：提供一种酸碱化学品供应系统用阀箱，包括：阀箱本体，阀箱本体通过PP磁白板焊接而成，阀箱本体内设有管路区；所述阀箱本体内靠近阀箱本体的右侧设有电控区，电控区内安装有电控设备；所述阀箱本体内设置有气动阀和手动阀；所述阀箱本体顶部一侧设有排风口，阀箱本体上靠近排风口的位置设有进口，阀箱本体上靠近进口的位置设有出口，所述进口与出口通过管路连接；所述阀箱本体的底部设置有支撑架和防漏传感器。
进一步，所述阀箱本体的正面对应管路区的位置设有前门，前门上设有前视窗，前视窗采用PVC材料。
进一步，所述阀箱本体的进口设置有进口连接管道，所述阀箱本体的出口设有出口连接管道。
进一步，所述阀箱本体的右侧面设置有电控区推拉门。
本实用新型的有益效果是：本实用新型布局错落有致，美观大方，管路区设置开关门，供安装管路和维修用，比较容易操作。电控区设置推拉门，供安装电控设备和维修用，密封效果好。本实用新型拆卸方便，在阀箱本体的下方设置有支撑架和防漏保护，以防阀箱药液渗漏，产生污染或者危害操作工人。
附图说明
图1是本实用新型一种酸碱化学品供应系统用阀箱一较佳实施例的主视结构示意图；
图2是所示一种酸碱化学品供应系统用阀箱的右视结构示意图；
图3是所示一种酸碱化学品供应系统用阀箱的A-A剖视结构示意图。
附图中各部件的标记如下：1、阀箱本体；2、管路区；3、电控区；4、前视窗；5、电控区推拉门。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
请参阅图1至图3，本实用新型实施例包括：
一种酸碱化学品供应系统用阀箱，包括：阀箱本体1，阀箱本体通过PP磁白板焊接而成，阀箱本体内设有管路区2；所述阀箱本体内靠近阀箱本体的右侧设有电控区3，电控区内安装有电控设备；所述阀箱本体内设置有气动阀和手动阀；所述阀箱本体顶部一侧设有排风口，阀箱本体上靠近排风口的位置设有进口，阀箱本体上靠近进口的位置设有出口，所述进口与出口通过管路连接；所述阀箱本体的底部设置有支撑架和防漏传感器，支撑架采用板材焊接而成，工艺简单，底部四角采用角钢与架子焊接，节约了很多加工时所用的时间，方便于拆卸阀箱，也方便于阀箱的安装。所述阀箱本体的正面对应管路区的位置设有前门，前门上设有前视窗4，前视窗采用PVC材料。所述阀箱本体的进口设置有进口连接管道，所述阀箱本体的出口设有出口连接管道。所述阀箱本体的右侧面设置有电控区推拉门5。
以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
Claims (4)
1.一种酸碱化学品供应系统用阀箱，其特征在于，包括：阀箱本体，阀箱本体通过PP磁白板焊接而成；所述阀箱本体内设有管路区；所述阀箱本体内靠近阀箱本体的右侧设有电控区，电控区内安装有电控设备；所述阀箱本体内设置有气动阀和手动阀；所述阀箱本体顶部一侧设有排风口，阀箱本体上靠近排风口的位置设有进口，阀箱本体上靠近进口的位置设有出口，所述进口与出口通过管路连接；所述阀箱本体的底部设置有支撑架和防漏传感器。
2.根据权利要求1所述的一种酸碱化学品供应系统用阀箱，其特征在于：所述阀箱本体的正面对应管路区的位置设有前门，前门上设有前视窗，前视窗采用PVC材料。
3.根据权利要求1所述的一种酸碱化学品供应系统用阀箱，其特征在于：所述阀箱本体的进口设置有进口连接管道，所述阀箱本体的出口设有出口连接管道。
4.根据权利要求1所述的一种酸碱化学品供应系统用阀箱，其特征在于：所述阀箱本体的右侧面设置有电控区推拉门。
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|---|---|---|---|
| CN201721661585.7U CN207621425U (zh) | 2017-12-04 | 2017-12-04 | 一种酸碱化学品供应系统用阀箱 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110566814A (zh) * | 2019-09-25 | 2019-12-13 | 常州捷佳创精密机械有限公司 | 管道阀箱及槽式湿法处理设备 |
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2017
- 2017-12-04 CN CN201721661585.7U patent/CN207621425U/zh not_active Expired - Fee Related
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| CN110566814A (zh) * | 2019-09-25 | 2019-12-13 | 常州捷佳创精密机械有限公司 | 管道阀箱及槽式湿法处理设备 |
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