CN207596943U - 一种掺杂蒸镀源喷嘴结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种掺杂蒸镀源喷嘴结构，所述掺杂蒸镀源喷嘴设置于掺杂蒸镀源上，在所述掺杂蒸镀源两侧各设有主体蒸镀源，所述主体蒸镀源上设有主体蒸镀源喷嘴，位于两个所述主体蒸镀源喷嘴中间的掺杂蒸镀源喷嘴设有至少两个喷嘴支管，所述喷嘴支管中的至少两个分别朝向两侧的主体蒸镀源喷嘴。本实用新型改造了掺杂蒸镀源的喷嘴结构，使得掺杂蒸镀源喷嘴由向上方喷出掺杂材料改进为可向左右方向喷出掺杂材料，提高左右两侧的主体蒸镀源喷嘴上方的掺杂材料含量，同时降低掺杂蒸镀源喷嘴上方的掺杂材料含量，使得主体蒸镀源喷嘴与掺杂蒸镀源喷嘴上方的掺杂材料与主体材料含量一致，从而提升掺杂均匀性，提高器件产品性能。
Description
技术领域
本实用新型涉及有机发光二极管显示技术领域，具体涉及一种掺杂蒸镀源喷嘴结构。
背景技术
在平板显示技术中，有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)显示器因其轻薄、主动发光、快速响应、广视角、色彩丰富及高亮度、低功耗、耐高低温等众多优点而被业界公认为继液晶显示器(LCD)之后的第三代显示技术。按驱动方式，OLED分为被动式OLED(Passive Matrix OLED，PMOLED)及主动式OLED(Active-matrix OLED，AMOLED)，其中，PMOLED只能制作小尺寸、低分辨率的显示面板，AMOLED因其通过在每个像素中集成薄膜晶体管(TFT)和电容器并由电容器维持电压的方法进行驱动，因而可以实现大尺寸、高分辨率面板，是当前研究的重点及未来显示技术的发展方向。
AMOLED在实现大尺寸方面使用了线性蒸镀源，其蒸镀源上部是由众多喷嘴(nozzle)排布而成，蒸镀源喷嘴用来控制有机材料均匀分布。蒸镀源喷嘴的设计排布对器件性能有很大影响，尤其关于掺杂均匀性方面更甚。
如图1-1,1-2,1-3所示，目前行业所使用的蒸镀源为传统蒸镀源，掺杂蒸镀源1位于主体蒸镀源2,3中间，主体蒸镀源2,3与掺杂蒸镀源1上均设有管状喷嘴。在主体蒸镀源喷嘴(host nozzle)21,31上方的主体材料含量较高，其位置上蒸发的掺杂材料含量较少。同理在掺杂喷嘴11(dopant nozzle)上方蒸发的掺杂材料含量较高，其位置上蒸发的主体材料含量较少，从而使得掺杂材料(dopant)蒸发与主体材料(HOST)蒸发混合不够均匀。此种不均匀掺杂分布会影响器件产品性能。
实用新型内容
本实用新型提供一种掺杂蒸镀源喷嘴结构，解决了提高主体蒸镀源喷嘴位置上掺杂材料的含量，提升掺杂均匀性，提高器件产品性能的技术问题。
为了解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案为：
本实用新型提供一种掺杂蒸镀源喷嘴结构，所述掺杂蒸镀源喷嘴设置于掺杂蒸镀源上，在所述掺杂蒸镀源两侧各设有主体蒸镀源，所述主体蒸镀源上设有主体蒸镀源喷嘴，位于两个所述主体蒸镀源喷嘴中间的掺杂蒸镀源喷嘴设有至少两个喷嘴支管，所述喷嘴支管中的至少两个分别朝向两侧的主体蒸镀源喷嘴。
进一步地，所述掺杂蒸镀源喷嘴设置为Y形结构，设有两个喷嘴支管，每个喷嘴支管分别朝向两侧的主体蒸镀源喷嘴。或者，
所述掺杂蒸镀源喷嘴设有四个喷嘴支管，每两个喷嘴支管分别朝向两侧的主体蒸镀源喷嘴。或者，
所述掺杂蒸镀源喷嘴设有六个喷嘴支管，每三个喷嘴支管分别朝向两侧的主体蒸镀源喷嘴。或者所述掺杂蒸镀源喷嘴设置设定数量的多个喷嘴支管。
更进一步地，所述掺杂蒸镀源喷嘴的喷嘴支管呈圆弧状排列，或其他排列结构。
进一步地，所述主体蒸镀源喷嘴用于喷出主体蒸镀源蒸发的主体材料，所述主体材料作为掺杂材料的基体材料；所述掺杂蒸镀源喷嘴用于喷出掺杂蒸镀源蒸发的掺杂材料。
本实用新型改造了掺杂蒸镀源的喷嘴结构，使得掺杂蒸镀源喷嘴由向上方喷出掺杂材料改进为可向左右方向喷出掺杂材料，提高左右两侧的主体蒸镀源喷嘴上方的掺杂材料含量，同时降低掺杂蒸镀源喷嘴上方的掺杂材料含量，使得主体蒸镀源喷嘴与掺杂蒸镀源喷嘴上方的掺杂材料与主体材料含量一致，从而提升掺杂均匀性，提高器件产品性能。
附图说明
图1-1,1-2,1-3是现有的掺杂蒸镀源喷嘴结构示意图；
图2-1,2-2,2-3是本实用新型掺杂蒸镀源喷嘴结构的第一实施例的结构示意图；
图3是本实用新型掺杂蒸镀源喷嘴结构的第二实施例的结构示意图；
图4是本实用新型掺杂蒸镀源喷嘴结构的第三实施例的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图具体阐明本实用新型的实施方式，附图仅供参考和说明使用，不构成对本实用新型专利保护范围的限制。
实施例1：
如图2-1,2-2,2-3所示，本实施例涉及一种掺杂蒸镀源喷嘴结构，所述掺杂蒸镀源喷嘴11设置于掺杂蒸镀源1上，在所述掺杂蒸镀源1两侧各设有主体蒸镀源2,3，所述主体蒸镀源2,3上设有主体蒸镀源喷嘴21,31，位于两个所述主体蒸镀源喷嘴21,31中间的掺杂蒸镀源喷嘴11设有至少两个喷嘴支管111，所述喷嘴支管111中的至少两个分别朝向两侧的主体蒸镀源喷嘴21,31。
在本实施例中，所述掺杂蒸镀源喷嘴11设置为Y形结构，设有两个喷嘴支管，每个喷嘴支管分别朝向两侧的主体蒸镀源喷嘴21,31。
所述主体蒸镀源喷嘴21,31用于喷出主体蒸镀源2,3蒸发的主体材料，所述主体材料作为掺杂材料的基体材料；所述掺杂蒸镀源喷嘴11用于喷出掺杂蒸镀源蒸发的掺杂材料。
实施例2：
本实施例与实施例1的不同之处在于：
如图3所示，所述掺杂蒸镀源喷嘴11设有四个喷嘴支管，每两个喷嘴支管分别朝向两侧的主体蒸镀源喷嘴21,31。
所述掺杂蒸镀源喷嘴的喷嘴支管呈圆弧状排列。
实施例3：
本实施例与实施例1的不同之处在于：
如图4所示，所述掺杂蒸镀源喷嘴11设有六个喷嘴支管，每三个喷嘴支管分别朝向两侧的主体蒸镀源喷嘴21,31。
所述掺杂蒸镀源喷嘴还可以设置设定数量的多个喷嘴支管。
所述掺杂蒸镀源喷嘴的喷嘴支管呈圆弧状排列，或其他排列结构。
以上所揭露的仅为本实用新型的较佳实施例，不能以此来限定本实用新型的权利保护范围，因此依本实用新型申请专利范围所作的等同变化，仍属本实用新型所涵盖的范围。
Claims (6)
1.一种掺杂蒸镀源喷嘴结构，所述掺杂蒸镀源喷嘴设置于掺杂蒸镀源上，在所述掺杂蒸镀源两侧各设有主体蒸镀源，所述主体蒸镀源上设有主体蒸镀源喷嘴，其特征在于：位于两个所述主体蒸镀源喷嘴中间的掺杂蒸镀源喷嘴设有至少两个喷嘴支管，所述喷嘴支管中的至少两个分别朝向两侧的主体蒸镀源喷嘴。
2.根据权利要求1所述的掺杂蒸镀源喷嘴结构，其特征在于：
所述掺杂蒸镀源喷嘴设置为Y形结构，设有两个喷嘴支管，每个喷嘴支管分别朝向两侧的主体蒸镀源喷嘴。
3.根据权利要求1所述的掺杂蒸镀源喷嘴结构，其特征在于：
所述掺杂蒸镀源喷嘴设有四个喷嘴支管，每两个喷嘴支管分别朝向两侧的主体蒸镀源喷嘴。
4.根据权利要求1所述的掺杂蒸镀源喷嘴结构，其特征在于：
所述掺杂蒸镀源喷嘴设有六个喷嘴支管，每三个喷嘴支管分别朝向两侧的主体蒸镀源喷嘴。
5.根据权利要求3或4所述的掺杂蒸镀源喷嘴结构，其特征在于：
所述掺杂蒸镀源喷嘴的喷嘴支管呈圆弧状排列。
6.根据权利要求1所述的掺杂蒸镀源喷嘴结构，其特征在于：
所述主体蒸镀源喷嘴用于喷出主体蒸镀源蒸发的主体材料，所述主体材料作为掺杂材料的基体材料；所述掺杂蒸镀源喷嘴用于喷出掺杂蒸镀源蒸发的掺杂材料。
Priority Applications (1)
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| CN201721486236.6U CN207596943U (zh) | 2017-11-09 | 2017-11-09 | 一种掺杂蒸镀源喷嘴结构 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109609909A (zh) * | 2019-01-03 | 2019-04-12 | 京东方科技集团股份有限公司 | 蒸镀方法及系统 |
| CN111118452A (zh) * | 2020-01-15 | 2020-05-08 | 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 | 蒸发装置及蒸镀设备 |
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2017
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| CN109609909A (zh) * | 2019-01-03 | 2019-04-12 | 京东方科技集团股份有限公司 | 蒸镀方法及系统 |
| CN109609909B (zh) * | 2019-01-03 | 2021-01-26 | 京东方科技集团股份有限公司 | 蒸镀方法及系统 |
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| CN111118452B (zh) * | 2020-01-15 | 2022-04-08 | 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 | 蒸发装置及蒸镀设备 |
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