CN207586634U - 调整装置、三维调整装置及光刻装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种调整装置，调整螺杆的一端与主基板连接，锁紧组件及载板均套接在所述调整螺杆上，使用调整螺杆调整所述载板，结构简单，调整方便；进一步，通过锁紧组件限定载板沿垂轴方向的位移，调整到位后，载板垂向完全锁紧，保证了调整的精确性和系统的稳定性。进一步，将至少三个调整装置固定与一主基板上，实现三维调节的功能，在实现载板的垂向、Rx和Ry方向的调整的同时，且可锁紧垂向、Rx和Ry方向的位移，避免测量过程中产生的误差，增加了三维调整的精确度。

Description

调整装置、三维调整装置及光刻装置

技术领域

本实用新型涉及一种调整装置、三维调整装置及光刻装置。

背景技术

在超大集成电路制造的投影光刻技术中，通常使用调焦调平传感器减少硅片表面形貌对投影物镜焦平面的影响，保证光刻效果。现有技术中，调焦调平传感器通常安装在承载投影物镜的主基板下面，采用三点或四点连接方法与主基板固定在一起，多数产品中使用螺纹副调整装置来调整焦面和投影物镜焦面，保证调焦调平传感器的焦面和投影物镜焦面的重合度。

现有技术的调整结构通常包括调整组件和辅助操作组件，通过利用辅助操作组件拧动带齿螺母从底部进行操作，调整到位后，调整组件中调整螺杆在垂轴方向未完全锁紧，导致载板相对于主基板在垂向、Rx和Ry方向均无法锁紧，不能保证调整的精确性和系统的稳定性，从而会导致测量产生误差，并且结构也非常复杂。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种调整装置及三维调整装置，以解决现有技术中无法实现垂向锁紧，调整装置只能精调，费时费力的问题。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种调整装置，与一主基板连接，用于调节一载板沿第一方向的位移，所述第一方向垂直于所述载板所在的平面；所述调整装置包括调整组件及一用于锁紧所述载板位移的锁紧组件；

所述调整组件包括一调整螺杆，所述调整螺杆的一端与所述主基板连接，所述锁紧组件及载板均套接在所述调整螺杆上。

可选的，在上述调整装置中，所述调整组件还包括调心座、调心球、防转座以及至少一个固定件；

所述载板、调心座、调心球以及防转座均套接在所述调整螺杆上，所述防转座通过螺纹与所述调心座连接；

所述调心座通过所述至少一个固定件与所述载板连接。

可选的，在上述调整装置中，所述锁紧组件包括第一锁紧单元、第二锁紧单元以及第三锁紧单元；

所述第一锁紧单元、第二锁紧单元、载板、调心座、调心球、防转座以及第三锁紧单元依序套接于所述调整螺杆上；所述第一锁紧单元与所述主基板的距离小于所述第三锁紧单元与所述主基板的距离。

可选的，在上述调整装置中，所述第一锁紧单元包括第一锁紧螺母，所述第二锁紧单元包括第二锁紧螺母，所述第三锁紧单元包括第三锁紧螺母；所述第一锁紧螺母、第二锁紧螺母、载板、调心座、调心球、防转座以及第三锁紧螺母依序套接于所述调整螺杆上；所述第一锁紧螺母与所述主基板的距离小于所述第三锁紧螺母与所述主基板的距离。

可选的，在上述调整装置中，所述调整螺杆的一端设有第一螺纹，所述调整螺杆的另一端设有第二螺纹；所述第一螺纹与所述第二螺纹的旋向相同，螺距不同。

可选的，在上述调整装置中，所述主基板上设有第一螺纹孔，所述第一螺纹与所述第一螺纹孔匹配，所述调整螺杆通过所述第一螺纹与所述主基板连接。

可选的，在上述调整装置中，所述第一锁紧螺母通过所述第一螺纹套接在所述调整螺杆上；所述第三锁紧螺母通过所述第二螺纹套接在所述调整螺杆上。

可选的，在上述调整装置中，所述调心球包括第一球面端、第二球面端和平面端；所述第三锁紧螺母与所述平面端贴合，所述调心座与所述第一球面端贴合，所述防转座与所述第二球面端贴合。

可选的，在上述调整装置中，所述载板上设有至少一个连接件，每个固定件与一个连接件连接，使所述调心座连接于所述载板。

可选的，在上述调整装置中，所述至少一个连接件均包括第二螺纹孔，所述第二螺纹孔设于所述载板内；所述至少一个固定件均包括螺钉，所述螺钉设于所述调心座内；每个螺钉的旋向均与所述第二螺纹孔的旋向匹配；

每个螺钉通过所述螺纹孔，使所述调心座连接于所述载板。

可选的，在上述调整装置中，所述载板上包括两个连接件及两个固定件。

为达到上述目的，本实用新型另一方面提出了一种三维调整装置，用于调节一载板的位移，所述三维调整装置包括至少三个上述的任一调整装置；每个调整装置均连接于一主基板的表面上，且构成一平面。

可选的，在上述三维调整装置中，每个调整装置中的调整螺杆均包括第一螺纹，所述主基板包括至少三个螺纹孔，所述第一螺纹与所述至少三个螺纹孔匹配；每个调整装置通过所述第一螺纹与所述主基板连接。

为达到上述目的，本实用新型又一方面提出了一种光刻装置，包括如上所述的任一三维调整装置。

综上，在本实用新型提供的调整装置及三维调整装置中，调整装置中的调整螺杆的一端与主基板连接，锁紧组件及载板均套接在所述调整螺杆上，使用调整螺杆调整所述载板，结构简单，调整方便；进一步，通过锁紧组件限定载板沿垂轴方向的位移，调整到位后，载板垂向完全锁紧，保证了调整的精确性和系统的稳定性；进一步，使用至少三个调整装置实现载板的垂向、Rx和Ry方向的调整的同时，且可锁紧垂向、Rx和Ry方向的位移，避免测量过程中产生的误差，增加了三维调整的精确度。

附图说明

图1为实施例提供的调整装置的示意图；

图2为实施例提供的调整装置的另一示意图；

图3为实施例提供的三维调整装置的示意图；

其中，1-主基板，2-载板，3-调整装置，31-调整组件，311-调整螺杆，312-调心座，313-调心球，314-防转座，315-固定件，32-锁紧组件，321-第一锁紧单元，322-第二锁紧单元，323-第三锁紧单元。

具体实施方式

下面将结合示意图对本实用新型的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

本实用新型提出一种调整装置，与一主基板1连接，用于调节一载板2垂向的位移。参阅图1及图2，其为本实用新型一优选实施例提供的调整装置的示意图，图中Z轴方向即为垂向。

如图1所示，本实施例中的调整装置3包括调整组件31及锁紧组件32。具体的，调整组件31包括调整螺杆311、调心座312、调心球313、防转座314以及至少一个固定件315。所述锁紧组件32包括第一锁紧单元321、第二锁紧单元322以及第三锁紧单元323。所述第一锁紧单元321、第二锁紧单元322、载板2、调心座312、调心球313、防转座314以及第三锁紧单元323依序套接于所述调整螺杆311上；所述第一锁紧单元321与所述主基板1的距离小于所述第三锁紧单元323与所述主基板1的距离。

可选的，所述第一锁紧单元321、第二锁紧单元322及第三锁紧单元323均包括但不限于为螺母，本实用新型对此不作任何限制。优选的，本实施例中，所述第一锁紧单元321包括第一锁紧螺母，所述第二锁紧单元322包括第二锁紧螺母，所述第三锁紧单元323包括第三锁紧螺母。

具体的，本实施例中的调整螺杆311一端的外侧壁上设有第一螺纹，调整螺杆311的另一端的外侧壁上设置有第二螺纹，主基板1上可以设置一螺纹孔，螺纹孔的螺纹与第一螺纹相匹配，第一螺纹与所述第二螺纹的旋向相同，螺距不同，因此，调整螺杆311通过第一螺纹与主基板1连接，可以实现差分调节，提高调节的精度；本实用新型对调整螺杆311与主基板1的连接方式不作任何限制。

具体的，第一锁紧螺母通过第一螺纹套接在调整螺杆311上；第三锁紧螺母323通过第二螺纹套接在调整螺杆311上。

本实施例中的调心球313包括第一球面端、第二球面端和平面端，第三锁紧螺母323与平面端贴合，调心座312与第一球面端贴合，防转座314与第二球面端贴合，可以防止调心球313与调心座312相对旋转，并能限定调整装置沿Z轴方向的位移，即垂向位移。

可选的，所述载板2上设有至少一个连接件，每个固定件315与一个连接件连接，使调心座312连接于载板2。可选的，每个连接件包括但不限于为第二螺纹孔，第二螺纹孔设于载板2内，固定件315包括螺钉，每个螺钉的旋向均与第二螺纹孔的旋向匹配；可选的，连接件及固定件的数量相同，可以但不限于为3个、4个、6个，优选的，本实用新型选用三个连接件及三个固定件315，三个固定件315均匀分布在同一圆周上，可以限制载板2与调整装置3之间相对运动的过度发生。因此，本实用新型一优选实施例中的调心座312通过三个螺钉与载板2连接。本实用新型对连接件及固定件315的结构、数量以及连接关系等均不作任何限制。

使用上述调整装置3对一载板2进行垂向调整时，调心座312固定到载板2上，通过固定件315固定；调整螺杆311旋到调心球313后与调心座312连接并穿过载板2；将第二锁紧螺母和第一锁紧螺母顺次旋到调整螺杆311上；将调整螺杆311插入到主基板1上；旋转调心球313到初始安装位置；将防转座314旋到调心座312上，旋紧以可以防止调心球313与调心座312相对旋转，并能限定调整装置3沿垂轴方向的位移，实现垂向锁紧的功能，调整到位后，载板2垂向完全锁紧，保证了调整的精确性和系统的稳定性，并且结构简单，调整方便。

具体的，旋转调整螺杆311进行载板2的垂向调整，调整到位后；使用第一锁紧螺母将调整螺杆311与主基板1进行锁紧；拧紧第三锁紧螺母，防止调整螺杆311相对调心球313的转动；最后拧紧第二锁紧螺母，防止载板2相对主基板1在Z轴方向移动。

本实用新型又一实施例中，使用至少三个上述的调整装置3构成一三维调整装置。每个调整装置3固定于主基板1上，所有调整装置3分布在主基板1的表面上，且构成一平面。本实用新型对所述调整装置3的数量及在所述主基板1的表面上的分布方式均不作任何限制。

优选的，参考图3，本实施例中包括三个调整装置3，三个调整装置3均与主基板1连接，构成一个平面，能够完成垂向(Z轴方向)、Rx和Ry自由度的调整，实现三维调整。

具体的，三维调整装置在调节垂向、Rx以及Ry的自由度时，首先将每个调整装置3下对应的第一锁紧螺母、第二锁紧螺母和第三锁紧螺母放松；再松开防转座314，夹持调整螺杆311，拨动调心球313到初始安装位置；实现垂向的粗调；接着将防转座314旋紧以防止调心球313与调心座312相对旋转，并能限定调整装置3沿垂轴方向的位移；然后从调整螺杆311的底部转动调整螺杆311调整载板2相对主基板1的位置，由于所述第一螺纹与所述第二螺纹的螺距不同，实现了精调的功能；调整好载板2的位置后，拧紧第一锁紧螺母，防止调整螺杆311相对主基板1转动；拧紧第三锁紧螺母，防止所述调整螺杆311相对所述调心球313的转动；最后拧紧第二锁紧螺母，防止载板2相对主基板1在垂轴方向移动。具体的，本实用新型中的第一螺纹和第二螺纹的设置，使得调整装置3可实现粗精调分离，节省操作时间。

旋转调整螺杆311进行载板2的垂向调整，调整到位后；使用第一锁紧螺母3将调整螺杆311与主基板1进行锁紧；拧紧第三锁紧螺母，防止调整螺杆311相对调心球313的转动；最后拧紧第二锁紧螺母，防止载板2相对主基板1在Z轴方向移动。三个该调整装置3组合起来使用就构成了一三维调整装置，可实现垂轴、Rx及Ry调整，同时实现每个调整装置3独立锁紧，确保调焦调平整机集成时焦面位置稳定及所用过程中精度。

本实用新型又一实施例中，将上述三维调整装置运用在超大集成电路制造的投影光刻技术中，构成一种光刻装置，具体的，所述光刻装置使用上述三位调整装置可减少硅片表面形貌对投影物镜焦平面的影响，保证光刻效果，同时，结构简单，调整方便，且增加了光刻过程的稳定性及精确度。

综上，在本实用新型提供的调整装置及三维调整装置中，调整装置中的调整螺杆的一端与主基板连接，锁紧组件及载板均套接在所述调整螺杆上，使用调整螺杆调整所述载板，结构简单，调整方便；进一步，通过锁紧组件限定载板沿垂轴方向的位移，调整到位后，载板垂向完全锁紧，保证了调整的精确性和系统的稳定性；进一步，使用至少三个调整装置实现载板的垂向、Rx和Ry方向的调整的同时，且可锁紧垂向、Rx和Ry方向的位移，避免测量过程中产生的误差，增加了三维调整的精确度。

上述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内。

Claims (14)

1.一种调整装置，与一主基板连接，其特征在于，用于调节一载板沿第一方向的位移，所述第一方向垂直于所述载板所在的平面；所述调整装置包括调整组件及一用于锁紧所述载板位移的锁紧组件；

所述调整组件包括一调整螺杆，所述调整螺杆的一端与所述主基板连接，所述锁紧组件及载板均套接在所述调整螺杆上。

2.如权利要求1所述的调整装置，其特征在于，所述调整组件还包括调心座、调心球、防转座以及至少一个固定件；

所述载板、调心座、调心球以及防转座均套接在所述调整螺杆上，所述防转座通过螺纹与所述调心座连接，所述调心球均与所述调心座及防转座连接；

所述调心座通过所述至少一个固定件与所述载板连接。

3.如权利要求2所述的调整装置，其特征在于，所述锁紧组件包括第一锁紧单元、第二锁紧单元以及第三锁紧单元；

所述第一锁紧单元、第二锁紧单元、载板、调心座、调心球、防转座以及第三锁紧单元依序套接于所述调整螺杆上；所述第一锁紧单元与所述主基板的距离小于所述第三锁紧单元与所述主基板的距离。

4.如权利要求3所述的调整装置，其特征在于，所述第一锁紧单元包括第一锁紧螺母，所述第二锁紧单元包括第二锁紧螺母，所述第三锁紧单元包括第三锁紧螺母；所述第一锁紧螺母、第二锁紧螺母、载板、调心座、调心球、防转座以及第三锁紧螺母依序套接于所述调整螺杆上；所述第一锁紧螺母与所述主基板的距离小于所述第三锁紧螺母与所述主基板的距离。

5.如权利要求4所述的调整装置，其特征在于，所述调整螺杆的一端设有第一螺纹，所述调整螺杆的另一端设有第二螺纹；所述第一螺纹与所述第二螺纹的旋向相同且螺距不同。

6.如权利要求5所述的调整装置，其特征在于，所述主基板上设有第一螺纹孔，所述第一螺纹与所述第一螺纹孔匹配，所述调整螺杆通过所述第一螺纹与所述主基板连接。

7.如权利要求6所述的调整装置，其特征在于，所述第一锁紧螺母通过所述第一螺纹套接在所述调整螺杆上；所述第三锁紧螺母通过所述第二螺纹套接在所述调整螺杆上。

8.如权利要求7所述的调整装置，其特征在于，所述调心球包括第一球面端、第二球面端和平面端；所述第三锁紧螺母与所述平面端贴合，所述调心座与所述第一球面端贴合，所述防转座与所述第二球面端贴合。

9.如权利要求2所述的调整装置，其特征在于，所述载板上设有至少一个连接件，每个固定件与一个连接件连接，使所述调心座连接于所述载板。

10.如权利要求9所述的调整装置，其特征在于，所述至少一个连接件均包括第二螺纹孔，所述第二螺纹孔设于所述载板内；所述至少一个固定件均包括螺钉，所述螺钉设于所述调心座内；每个螺钉的旋向均与所述第二螺纹孔的旋向匹配；

每个螺钉通过所述螺纹孔，使所述调心座连接于所述载板。

11.如权利要求9所述的调整装置，其特征在于，所述载板上包括两个连接件及两个固定件。

12.一种三维调整装置，其特征在于，用于调节一载板的位移，所述三维调整装置包括至少三个如权利要求1-11所述的任一调整装置；每个调整装置均连接于一主基板的表面上，且构成一平面。

13.如权利要求12所述的三维调整装置，其特征在于，每个调整装置中的调整螺杆均包括第一螺纹，所述主基板包括至少三个螺纹孔，所述第一螺纹与所述至少三个螺纹孔匹配；每个调整装置通过所述第一螺纹与所述主基板连接。

14.一种光刻装置，其特征在于，包括如权利要求12或13所述的三维调整装置。