CN112846683A - 零部件集成装配误差测量装置及装配误差调整方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种零部件集成装配误差测量装置及装配误差调整方法，该零部件集成装配误差测量装置包括：上托盘、下托盘、粗调机构、微调机构和位移传感器，粗调机构，设置在上托盘和下托盘之间，粗调机构被配置为能够伸长或缩短以调节上托盘和下托盘之间的距离，粗调机构还被配置为能够转动解耦，以调节下托盘的水平度；微调机构设置在下托盘上，位移传感器设置在微调机构上，微调机构能够带动位移传感器在上托盘和下托盘之间移动。上述的零部件集成装配误差测量装置能够提高浸没头安装误差的测量精度及测量效率，有利于提高光刻设备产率。相应地，本发明还提供一种装配误差调整方法。

Description

零部件集成装配误差测量装置及装配误差调整方法
技术领域
本发明涉及集成电路制造技术领域，尤其涉及一种零部件集成装配误差测量装置及装配误差调整方法。
背景技术
浸没式成像系统广泛应用于光刻物镜领域，在浸没式成像系统中，为解决系统工作过程中液体的动态密封问题，在物镜前端需要安装浸没头，浸没头在实现对液体动态密封的同时，与物镜的相对安装位置还需要满足一定的预设精度要求。一般地，浸没头集成安装在物镜的主基板上，传统技术中通过人工采用深度尺测量浸没头与主基板的垂向距离以判断浸没头与物镜的安装位置是否符合预设精度要求，如果安装位置不符合预设精度要求存在安装误差，则通过修磨垫片调整浸没头与主基板之间的安装误差，直至浸没头与物镜的安装位置符合预设精度要求。然而，由于浸没双台光刻机中浸没头组件与硅片微动承片台垂向高度很小，并且浸没头组件与物镜底部的间隙狭小，人工测量浸没头与主基板的垂向距离操作难度大、严重影响浸没头安装误差测量的精度及测量效率。
发明内容
本发明的目的在于提出一种零部件集成装配误差测量装置及装配误差调整方法，能够提高浸没头安装误差的测量精度及测量效率。
为达此目的，一方面，本发明采用以下技术方案：
一种零部件集成装配误差测量装置，包括：上托盘、下托盘、粗调机构、微调机构和位移传感器，粗调机构，设置在所述上托盘和所述下托盘之间，所述粗调机构被配置为能够伸长或缩短以调节所述上托盘和所述下托盘之间的距离，所述粗调机构还被配置为能够转动解耦，以调节所述下托盘的水平度；所述微调机构设置在所述下托盘上，所述位移传感器设置在所述微调机构上，所述微调机构能够带动所述位移传感器在所述上托盘和所述下托盘之间移动。
在其中一个实施例中，所述粗调机构包括解耦安装座、第一球窝垫片、紧固套筒、套筒螺母、底拖、第二球窝垫片、球形垫片、锁紧螺母和螺杆，所述解耦安装座与所述上托盘连接，所述螺杆一端与所述解耦安装座连接，另一端与所述下托盘连接，所述锁紧螺母与所述螺杆螺纹连接，且所述锁紧螺母与所述解耦安装座间隔设置，所述紧固套筒套接于所述螺杆外侧，且所述紧固套筒位于所述解耦安装座和所述锁紧螺母之间，所述套筒螺母套设于所述紧固套筒外侧，所述第一球窝垫片设置在所述紧固套筒与所述解耦安装座之间，所述底拖、所述第二球窝垫片和所述球形垫片由上至下依次设置在所述紧固套筒和所述锁紧螺母之间。
在其中一个实施例中，所述微调机构包括传感器底座、滑槽型套筒和螺纹差动机构，所述滑槽型套筒与所述螺纹差动机构连接，所述传感器底座部分插入所述滑槽型套筒内与所述螺纹差动机构连接。
在其中一个实施例中，螺纹差动机构包括固定螺母座、移动螺母座和差动螺栓，所述固定螺母座与所述滑槽型套筒连接，所述移动螺母座设置在所述滑槽型套筒内，且所述移动螺母座与所述传感器底座连接，所述差动螺栓包括依次连接的第一螺纹部和第二螺纹部，所述第一螺纹部的螺纹导程大于所述第二螺纹部的螺纹导程，所述第一螺纹部与所述固定螺母座螺纹连接，所述第二螺纹部与所述移动螺母座螺纹连接。
在其中一个实施例中，所述微调机构还包括导向滚珠，所述导向滚珠设置在所述传感器底座与所述滑槽型套筒之间。
在其中一个实施例中，其特征在于，所述位移传感器为激光位移传感器。
在其中一个实施例中，所述位移传感器为电涡流传感器。
在其中一个实施例中，所述粗调机构的数量为三个,三个所述粗调机构呈三角形分布。
在其中一个实施例中，所述微调机构的数量为三个,三个所述微调机构呈三角形分布。
另一方面，本发明还提供一种装配误差调整方法，包括以下步骤：
步骤一：安装调试零部件集成装配误差测量装置，记录位移传感器的探测面与上托盘的上表面之间的第一垂向距离；
步骤二：将集成零部件安装至安装主体上；
步骤三：将零部件集成装配误差测量装置安装至安装主体上；
步骤四：所述位移传感器测量所述位移传感器的探测面与所述集成零部件的底部机械基准面之间的第二垂向距离；
步骤五：计算所述第一垂向距离与所述第二垂向距离的差值，得到集成零部件的底部机械基准面与安装主体的基准面之间的第三垂向距离；
步骤六：当所述第三垂向距离超出预设垂向距离误差范围时，调整所述集成零部件与所述安装主体之间的垫片的厚度。
在其中一个实施例中，步骤六之后还包括以下步骤：
所述位移传感器重新测量所述位移传感器的探测面与所述集成零部件的底部机械基准面之间的距离，获得修正的第二垂向距离，并计算所述第一垂向距离与所述修正的第二垂向距离的差值，得到所述集成零部件的底部机械基准面与所述安装主体的基准面之间的修正的第三垂向距离，当所述修正的第三垂向距离在所述预设垂向距离误差范围内时，完成装配误差调整操作。
在其中一个实施例中，步骤一包括以下步骤：
标定所述位移传感器的探测面与所述上托盘的上表面之间的垂向距离及所述下托盘的基准面在RX、Ry向的水平度；
当所述位移传感器的探测面与所述上托盘的上表面之间的垂向距离或所述下托盘的基准面在RX、Ry向的水平度超出预设校准误差范围时，调整粗调机构和/或微调机构；
当所述位移传感器的探测面与所述上托盘的上表面之间的垂向距离及所述下托盘的基准面在RX、Ry向的水平度都在预设校准误差范围内时，标定所述位移传感器的探测面与所述上托盘的上表面之间的垂向距离，得到所述第一垂向距离并记录。
在其中一个实施例中，所述安装主体为物镜的主基板，所述集成零部件为浸没头。
在其中一个实施例中，所述安装主体为光刻设备的整机框架，所述集成零部件为工件台接口、掩模台接口或平面光栅安装板。
上述的零部件集成装配误差测量装置使用时，先通过粗调机构和微调机构对零部件集成装配误差测量装置进行装调校准，使位移传感器的探测面与上托盘的上表面之间的垂向距离及下托盘的基准面在RX、Ry向的水平度都在预设校准误差范围内，完成装调校准后标定位移传感器的探测面与上托盘的上表面之间的垂向距离得到第一垂向距离并记录；之后，将集成零部件(如浸没头)安装至安装主体(如物镜主基板)上，再将零部件集成装配误差测量装置安装到安装主体上，通过位移传感器测量位移传感器的探测面与集成零部件的底部机械基准面之间的第二垂向距离；最后，计算第一垂向距离与第二垂向距离的差值，得到集成零部件的底部机械基准面与安装主体的基准面之间的第三垂向距离，完成集成零部件安装误差测量操作。进一步地，当第三垂向距离超出预设垂向距离误差范围时，调整集成零部件与安装主体之间的垫片的厚度，直至集成零部件与安装主体的安装位置符合预设精度要求即可。采用上述的零部件集成装配误差测量装置能够快速、准确地测量浸没头与主基板的垂向距离，能够实现浸没头六自由度精准定位，可以有效降低人工测量浸没头与主基板的垂向距离的劳动强度及操作难度。与现有技术相比，上述的零部件集成装配误差测量装置能够提高浸没头安装误差的测量精度及测量效率，有利于提高光刻设备产率。
上述的装配误差调整方法通过应用上述的零部件集成装配误差测量装置，能够提高浸没头安装误差的测量精度及测量效率，有利于提高光刻设备产率。
附图说明
图1是一个实施例中零部件集成装配误差测量装置的结构示意图；
图2是一个实施例中粗调机构的结构示意图；
图3是一个实施例中微调机构的结构示意图；
图4是一个实施例中零部件集成装配误差测量装置用于测量浸没头装配误差的安装结构示意图；
图5是一个实施例中装配误差调整方法的流程图。
附图标记说明：
10-上托盘，20-下托盘，30-粗调机构，40-微调机构，50-位移传感器，60-浸没头，70-物镜，80-主基板，90-垫片；
31-解耦安装座，32-第一球窝垫片，33-紧固套筒，34-套筒螺母，35-底拖，36-第二球窝垫片，37-球形垫片，38-锁紧螺母，39-螺杆；
41-传感器底座，42-滑槽型套筒，43-螺纹差动机构，44-导向滚珠，431-固定螺母座，432-移动螺母座，433-差动螺栓。
具体实施方式
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
请同时参阅图1至图4，一实施例的零部件集成装配误差测量装置包括：上托盘10、下托盘20、粗调机构30、微调机构40和位移传感器50。粗调机构30设置在上托盘10和下托盘20之间，粗调机构30被配置为能够伸长或缩短以调节上托盘10和下托盘20之间的距离，粗调机构30还被配置为能够转动解耦，以调节下托盘20的水平度。微调机构40设置在下托盘20上，位移传感器50设置在微调机构40上，微调机构40能够带动位移传感器50在上托盘10和下托盘20之间移动。
具体地，上述的零部件集成装配误差测量装置可以用于测量浸没式成像系统中浸没头的安装精度，还可以应用于光刻设备整机框架的工件台接口、掩模台接口及平面光栅安装板等集成零部件的集成装配精度测量，适用范围广泛。为便于说明，以下以将上述的零部件集成装配误差测量装置应用于测量浸没式成像系统中浸没头的安装精度为例对上述的零部件集成装配误差测量装置进行详细说明。
上述的零部件集成装配误差测量装置使用时，先通过粗调机构30和微调机构40对零部件集成装配误差测量装置进行装调校准，使位移传感器50的探测面与上托盘10的上表面之间的垂向距离及下托盘20的基准面在RX、Ry向的水平度都在预设校准误差范围内，完成装调校准后标定位移传感器50的探测面与上托盘10的上表面之间的垂向距离得到第一垂向距离并记录；之后，如图4所示，将浸没头60安装至物镜70的主基板80上，再将零部件集成装配误差测量装置安装到主基板80上，通过位移传感器50测量位移传感器50的探测面与浸没头60的底部机械基准面之间的第二垂向距离；最后，计算第一垂向距离与第二垂向距离的差值，得到浸没头60的底部机械基准面与主基板80的基准面之间的第三垂向距离，完成浸没头60的安装误差测量操作。进一步地，当第三垂向距离超出预设垂向距离误差范围时，调整浸没头60与主基板80之间的垫片90的厚度，具体根据第三垂向距离与预设垂向距离误差范围的差值修磨垫片90的厚度，直至浸没头60与主基板80的安装位置符合预设精度要求即可。
上述的零部件集成装配误差测量装置采用位移传感器实现非接触式测量，测量无磨损、抗干扰能力强、测量精度高，适用于高精度、高分辨率的高速测量。上述的零部件集成装配误差测量装置可用于湿式单双台光刻机中浸没头的机械集成，能够准确测量出主基板与浸没头机械基准的距离，保证浸没头组件基准与主基板基准的垂向精度，确保了浸没头的安装精度。综上所述，采用上述的零部件集成装配误差测量装置能够快速、准确地测量浸没头60与主基板80的垂向距离，能够实现浸没头60的六自由度精准定位，可以有效降低人工测量浸没头60与主基板80的垂向距离的劳动强度及操作难度。与现有技术相比，上述的零部件集成装配误差测量装置能够提高浸没头60安装误差的测量精度及测量效率，有利于提高光刻设备产率。
在一个实施例中，粗调机构30包括解耦安装座31、第一球窝垫片32、紧固套筒33、套筒螺母34、底拖35、第二球窝垫片36、球形垫片37、锁紧螺母38和螺杆39，解耦安装座31与上托盘10连接，螺杆39一端与解耦安装座31连接，另一端与下托盘20连接，锁紧螺母38与螺杆39螺纹连接，且锁紧螺母38与解耦安装座31间隔设置，紧固套筒33套接于螺杆39外侧，且紧固套筒33位于解耦安装座31和锁紧螺母38之间，套筒螺母34套设于紧固套筒33外侧，紧固套筒33外侧设置有外螺纹，套筒螺母34与紧固套筒33螺纹连接，第一球窝垫片32设置在紧固套筒33与解耦安装座31之间，底拖35、第二球窝垫片36和球形垫片37由上至下依次设置在紧固套筒33和锁紧螺母38之间。
具体地，粗调机构提供零部件集成装配误差测量装置的对外安装接口和粗调功能。解耦安装座31上开设有安装孔，解耦安装座31通过螺栓与上托盘10紧固连接，在一个实施例中，解耦安装座31上开设有四个安装孔，其通过四个M8的螺栓与上托盘10紧固连接。具体地，上述的解耦安装座31与第一球窝垫片32之间，及第二球窝垫片36与球形垫片37之间均形成球面副，能够实现粗调机构30在Rx、Ry和Rz三个旋转自由度解耦，锁紧螺母38选用细牙螺丝，螺杆39采用细牙螺杆，通过调整锁紧螺母38在细牙螺杆上的位置，能够实现安装底托35在垂向(Z向)的高度调整和水平度Rx、Ry的调整，从而可以调整上托盘10和下托盘20之间的距离及下托盘20的水平度，可以达到对位移传感器50的探测面与上托盘10的上表面之间的垂向距离及下托盘20的基准面在RX、Ry向的水平度进行粗调的目的。当安装底托35粗调完成后，向下旋拧套筒螺母34，使紧固套筒33顶紧第一球窝垫片32，安装底拖35顶紧第二球窝垫片36，从而使解耦安装座31与第一球窝垫片32相对固定，第二球窝垫片36与球形垫片37相对固定，锁紧粗调机构30，完成对位移传感器50的探测面与上托盘10的上表面之间的垂向距离及下托盘20的基准面在RX、Ry向的水平度的粗调操作。
在一个实施例中，粗调机构30的数量为三个,三个粗调机构30呈三角形分布。在其它实施例中，粗调机构30的数量还可以多于三个，本实施例并不做具体限定。
在一个实施例中，微调机构40包括传感器底座41、滑槽型套筒42和螺纹差动机构43，滑槽型套筒42与螺纹差动机构43连接，传感器底座41部分插入滑槽型套筒42内与螺纹差动机构43连接。
具体地，螺纹差动机构43包括固定螺母座431、移动螺母座432和差动螺栓433，固定螺母座431与滑槽型套筒42连接，移动螺母座432设置在滑槽型套筒42内，且移动螺母座432与传感器底座41连接，差动螺栓433包括依次连接的第一螺纹部和第二螺纹部，第一螺纹部的螺纹导程大于第二螺纹部的螺纹导程，第一螺纹部与固定螺母座431螺纹连接，第二螺纹部与移动螺母座132螺纹连接。
具体地，微调机构40用于提供位移传感器50的安装接口和位移传感器50的位置微动调整功能。位移传感器50安装在传感器底座41上，具体通过螺栓将位移传感器50锁紧在传感器底座41上。差动螺栓433分别与固定螺母座45和移动螺母座44通过螺纹连接，第一螺纹部的螺纹导程t1大于第二螺纹部的螺纹导程t2，调整螺栓每旋转一周，传感器底座41移动的距离为Δt＝t1-t2，通过螺纹差动机构43能够在粗调的基础上进一步对位移传感器50的位置进行微调，能够提高零部件集成装配误差测量装置的装配校准效率和校准精度。
在一个实施例中，微调机构还包括导向滚珠44，导向滚珠44设置在传感器底座41与滑槽型套筒42之间，导向滚珠44能够对传感器底座41进行运动导向，并能够保证传感器41在滑槽型套筒42内顺畅滑动。
在一个实施例中，微调机构40的数量为三个,三个微调机构40呈三角形分布。在其它实施例中，微调机构40的数量还可以多于三个，本实施例并不做具体限定。
在一个实施例中，位移传感器可以但不局限为激光位移传感器或电涡流传感器。
如图5所示，另一方面，本发明还提供一种装配误差调整方法，包括以下步骤：
步骤S11：安装调试零部件集成装配误差测量装置，记录位移传感器50的探测面与上托盘10的上表面之间的第一垂向距离。具体包括以下步骤：
首先，标定位移传感器50的探测面与上托盘10的上表面之间的垂向距离及下托盘20的基准面在RX、Ry向的水平度；之后，将标定得到的位移传感器50的探测面与上托盘10的上表面之间的垂向距离及下托盘20的基准面在RX、Ry向的水平度分别与零部件集成装配误差测量装置的预设校准误差范围进行比较，当位移传感器50的探测面与上托盘10的上表面之间的垂向距离或下托盘20的基准面在RX、Ry向的水平度超出预设校准误差范围时，调整粗调机构30和/或微调机构40；最后，当位移传感器50的探测面与上托盘10的上表面之间的垂向距离及下托盘20的基准面在RX、Ry向的水平度都在预设校准误差范围内时，标定位移传感器50的探测面与上托盘20的上表面之间的垂向距离，得到第一垂向距离并记录。
具体地，在对集成零部件进行机械装调前，先对零部件集成装配误差测量装置进行离线装调校准，以使零部件集成装配误差测量装置满足集成指标需求。具体采用三坐标测量仪标定位移传感器50的探测面与上托盘10的上表面垂向距离和下托盘20的基准面的水平度Rx、Ry，如果位移传感器50的探测面与上托盘10的上表面之间的垂向距离或下托盘20的基准面在RX、Ry向的水平度超出预设校准误差范围，则先调整粗调机构30再跟进需要调整微调机构40，将位移传感器50的探测面与上托盘10的上表面之间的垂向距离及下托盘20的基准面在RX、Ry向的水平度都调整至预设校准误差范围内，使位移传感器的50探测面与上托盘10的上表面之间的垂向距离及下托盘20的基准面在RX、Ry向的水平度都满足集成指标需求，分别标定三个位移传感器50的探测面与上托盘10的上表面的垂向距离实测值，分别得到并记录三个第一垂向距离Z。
步骤S12：将集成零部件安装至安装主体上。
步骤S13：将零部件集成装配误差测量装置安装至安装主体上。
步骤S14：位移传感器50测量位移传感器50的探测面与集成零部件的底部机械基准面之间的第二垂向距离。
步骤S15：计算第一垂向距离与第二垂向距离的差值，得到集成零部件的底部机械基准面与安装主体的基准面之间的第三垂向距离。
步骤S16：当第三垂向距离超出预设垂向距离误差范围时，调整集成零部件与安装主体之间的垫片90的厚度。
具体地，当对集成零部件机械集成时，先将集成零部件粗装在安装主体上，然后将已离线集成调试校准完毕的零部件集成装配误差测量装置集成在安装主体上。之后，分别通过三个位移传感器50测量每个位移传感器50的探测面与集成零部件的底部机械基准面之间的第二垂向距离H。根据尺寸链原理可知，集成零部件的底部机械基准面与安装主体的基准面之间的第三垂向距离L＝Z-H，当第三垂向距离L超出预设垂向距离误差范围时，通过修磨集成零部件与安装主体之间的垫片90的厚度来进行调整，具体根据第三垂向距离与预设垂向距离误差范围的差值修磨垫片90的厚度以使第三垂向距离L满足预设垂向距离误差范围。
进一步地，在一个实施例中，步骤S16之后还包括以下步骤：位移传感器50重新测量位移传感器50的探测面与集成零部件的底部机械基准面之间的距离，获得修正的第二垂向距离，并计算第一垂向距离与修正的第二垂向距离的差值，得到集成零部件的底部机械基准面与安装主体的基准面之间的修正的第三垂向距离，当修正的第三垂向距离在预设垂向距离误差范围内时，完成装配误差调整操作。
本实施例中，在对垫片90进行修磨后重新执行步骤S14至步骤S15，对调整后的集成零部件的安装误差进行验证以进一步提高装配误差调整的准确性。具体地，如果对垫片90进行修磨后集成零部件的装配误差满足预设误差指标，则完成装配误差调试操作，如果对垫片90进行修磨后集成零部件的装配误差仍不满足预设误差指标，则重新执行步骤S16，继续修磨垫片，直至浸没头60与主基板80的安装位置符合预设精度要求，即集成零部件的装配误差满足预设误差指标。
在一个实施例中，上述的安装主体为物镜70的主基板80，集成零部件为浸没头60。在其它实施例中，安装主体还可以为光刻设备的整机框架，相应地，集成零部件为工件台接口、掩模台接口或平面光栅安装板。上述的装配误差调整方法既可以用于测量浸没式成像系统中浸没头的安装精度，又可以应用于光刻设备整机框架的工件台接口、掩模台接口及平面光栅安装板等集成零部件的集成装配精度测量，适用范围广泛。具体应用于浸没式成像系统中时位移传感器50采用激光位移传感器，应用于光刻设备整机框架零部件装配精度测量时位移传感器50采用电涡流传感器，应用于不同场景时只需要更换不同类型的位移传感器50后调整粗调机构30和微调机构40，再通过三坐标测量仪标定后就可以使用，不用更换零部件集成装配误差测量装置的结构部件，使用非常方便。
上述的装配误差调整方法通过应用上述的零部件集成装配误差测量装置，能够提高浸没头60的安装误差的测量精度及测量效率，有利于提高光刻设备产率。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (14)

1.一种零部件集成装配误差测量装置，其特征在于，包括：上托盘(10)、下托盘(20)、粗调机构(30)、微调机构(40)和位移传感器(50)，粗调机构(30)，设置在所述上托盘(10)和所述下托盘(20)之间，所述粗调机构(30)被配置为能够伸长或缩短以调节所述上托盘(10)和所述下托盘(20)之间的距离，所述粗调机构(30)还被配置为能够转动解耦，以调节所述下托盘(20)的水平度；所述微调机构(40)设置在所述下托盘(20)上，所述位移传感器(50)设置在所述微调机构(40)上，所述微调机构(40)能够带动所述位移传感器(50)在所述上托盘(10)和所述下托盘(20)之间移动。
2.根据权利要求1所述的零部件集成装配误差测量装置，其特征在于，所述粗调机构(30)包括解耦安装座(31)、第一球窝垫片(32)、紧固套筒(33)、套筒螺母(34)、底拖(35)、第二球窝垫片(36)、球形垫片(37)、锁紧螺母(38)和螺杆(39)，所述解耦安装座(31)与所述上托盘(10)连接，所述螺杆(39)一端与所述解耦安装座(31)连接，另一端与所述下托盘(20)连接，所述锁紧螺母(38)与所述螺杆(39)螺纹连接，且所述锁紧螺母(38)与所述解耦安装座(31)间隔设置，所述紧固套筒(33)套接于所述螺杆(39)外侧，且所述紧固套筒(33)位于所述解耦安装座(31)和所述锁紧螺母(38)之间，所述套筒螺母(34)套设于所述紧固套筒(33)外侧，所述第一球窝垫片(32)设置在所述紧固套筒(33)与所述解耦安装座(31)之间，所述底拖(35)、所述第二球窝垫片(36)和所述球形垫片(37)由上至下依次设置在所述紧固套筒(33)和所述锁紧螺母(38)之间。
3.根据权利要求1所述的零部件集成装配误差测量装置，其特征在于，所述微调机构(40)包括传感器底座(41)、滑槽型套筒(42)和螺纹差动机构(43)，所述滑槽型套筒(42)与所述螺纹差动机构(43)连接，所述传感器底座(41)部分插入所述滑槽型套筒(42)内与所述螺纹差动机构(43)连接。
4.根据权利要求3所述的零部件集成装配误差测量装置，其特征在于，螺纹差动机构(43)包括固定螺母座(431)、移动螺母座(432)和差动螺栓(433)，所述固定螺母座(431)与所述滑槽型套筒(42)连接，所述移动螺母座(432)设置在所述滑槽型套筒(42)内，且所述移动螺母座(432)与所述传感器底座(41)连接，所述差动螺栓(433)包括依次连接的第一螺纹部和第二螺纹部，所述第一螺纹部的螺纹导程大于所述第二螺纹部的螺纹导程，所述第一螺纹部与所述固定螺母座(431)螺纹连接，所述第二螺纹部与所述移动螺母座(432)螺纹连接。
5.根据权利要求3所述的零部件集成装配误差测量装置，其特征在于，所述微调机构(40)还包括导向滚珠(44)，所述导向滚珠(44)设置在所述传感器底座(41)与所述滑槽型套筒(42)之间。
6.根据权利要求1至5任一项所述的零部件集成装配误差测量装置，其特征在于，所述位移传感器(50)为激光位移传感器(50)。
7.根据权利要求1至5任一项所述的零部件集成装配误差测量装置，所述位移传感器(50)为电涡流传感器。
8.根据权利要求1至5任一项所述的零部件集成装配误差测量装置，所述粗调机构(30)的数量为三个,三个所述粗调机构(30)呈三角形分布。
9.根据权利要求1至5任一项所述的零部件集成装配误差测量装置，所述微调机构(40)的数量为三个,三个所述微调机构(40)呈三角形分布。
10.一种装配误差调整方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一：安装调试零部件集成装配误差测量装置，记录位移传感器(50)的探测面与上托盘(10)的上表面之间的第一垂向距离；
步骤二：将集成零部件安装至安装主体上；
步骤三：将零部件集成装配误差测量装置安装至安装主体上；
步骤四：所述位移传感器(50)测量所述位移传感器(50)的探测面与所述集成零部件的底部机械基准面之间的第二垂向距离；
步骤五：计算所述第一垂向距离与所述第二垂向距离的差值，得到集成零部件的底部机械基准面与安装主体的基准面之间的第三垂向距离；
步骤六：当所述第三垂向距离超出预设垂向距离误差范围时，调整所述集成零部件与所述安装主体之间的垫片(90)的厚度。
11.根据权利要求10所述的装配误差调整方法，其特征在于，步骤六之后还包括以下步骤：
所述位移传感器(50)重新测量所述位移传感器(50)的探测面与所述集成零部件的底部机械基准面之间的距离，获得修正的第二垂向距离，并计算所述第一垂向距离与所述修正的第二垂向距离的差值，得到所述集成零部件的底部机械基准面与所述安装主体的基准面之间的修正的第三垂向距离，当所述修正的第三垂向距离在所述预设垂向距离误差范围内时，完成装配误差调整操作。
12.根据权利要求10所述的装配误差调整方法，其特征在于，步骤一包括以下步骤：
标定所述位移传感器(50)的探测面与所述上托盘(10)的上表面之间的垂向距离及下托盘(20)的基准面在RX、Ry向的水平度；
当所述位移传感器(50)的探测面与所述上托盘(10)的上表面之间的垂向距离或所述下托盘(20)的基准面在RX、Ry向的水平度超出预设校准误差范围时，调整粗调机构(30)和/或微调机构(40)；
当所述位移传感器(50)的探测面与所述上托盘(10)的上表面之间的垂向距离及所述下托盘(20)的基准面在RX、Ry向的水平度都在预设校准误差范围内时，标定所述位移传感器(50)的探测面与所述上托盘(10)的上表面之间的垂向距离，得到所述第一垂向距离并记录。
13.根据权利要求10所述的装配误差调整方法，其特征在于，所述安装主体为物镜(70)的主基板(80)，所述集成零部件为浸没头(60)。
14.根据权利要求10所述的装配误差调整方法，其特征在于，所述安装主体为光刻设备的整机框架，所述集成零部件为工件台接口、掩模台接口或平面光栅安装板。
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