CN207581914U - 具有缓冲功能的电弧离子镀引弧针调节装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种具有缓冲功能的电弧离子镀引弧针调节装置，包括主杆、内推杆、顶紧螺钉、引弧针、缓冲弹簧、滑动销和引弧针安装螺栓，所述内推杆滑动安装在该第一直孔中；在内推杆的前端沿其轴向开设有第二直孔，通过端帽将缓冲弹簧和滑动销安装进第二直孔中，在内推杆的第二直孔段的杆壁上沿内推杆轴向开设有第一通槽，在主杆的第一直孔段的杆壁上沿主杆的轴向开设有第二通槽，引弧针安装螺栓透过第一通槽和第二通槽竖直安装在滑动销上，引弧针的顶部固定安装在引弧针安装螺栓上。通过推动内推杆带动引弧针沿第二通槽移动，以实现引弧针的位置调节；所述顶紧螺钉安装在主杆的第一直孔段的杆壁上，通过调节顶紧螺钉实现内推杆的位置锁定。

Description

具有缓冲功能的电弧离子镀引弧针调节装置

技术领域

本实用新型属于电弧离子镀技术领域，具体涉及一种具有缓冲功能的电弧离子镀引弧针调节装置。

背景技术

在电弧离子镀膜设备镀膜过程中，通过引弧针触碰靶材产生放电进行引弧。镀膜过程中，引弧针位置与靶材表面距离过近，引弧针针尖温度不断升高，持续烧蚀的电弧会使针尖部分熔断，造成灭弧且无法再次起弧，使镀膜过程中断；引弧针位置与靶材距离过远，弧针与靶材之间放电不充分，无法起弧。随着靶材的不断消耗，靶材与引弧针之间的距离在不断地变化，这就需要不断调整引弧针的位置，使弧针与靶材之间放电充分顺利起弧且不会熔断弧针，由于每次靶材消耗程度难以度量，给引弧针位置的调整增加了很大的难度，这就需要一种便于调节的电弧离子镀引弧针调节装置。

此外，当引弧针与靶材的预设距离稍小时，那么在工作过程中，引弧针与靶材的撞击力变大，会引起引弧针的变形、甚至损坏。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种具有缓冲功能的电弧离子镀引弧针调节装置。通过该装置能够方便快捷的调整引弧针的位置。

本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种具有缓冲功能的电弧离子镀引弧针调节装置，该装置包括主杆、内推杆、顶紧螺钉、引弧针、缓冲弹簧、滑动销和引弧针安装螺栓，

所述主杆的一端为内螺纹盲孔结构，该内螺纹盲孔用于连接气缸动作端；主杆的另一侧沿主杆轴向设置有第一直孔，所述内推杆滑动安装在该第一直孔中；

在内推杆的前端沿其轴向开设有第二直孔，通过端帽将缓冲弹簧和滑动销安装进第二直孔中，所述缓冲弹簧设置在第二直孔内端，滑动销安装在缓冲弹簧和端帽之间，通过缓冲弹簧为滑动销提供向端帽的弹力；

在内推杆的第二直孔段的杆壁上沿内推杆轴向开设有第一通槽，在主杆的第一直孔段的杆壁上沿主杆的轴向开设有第二通槽，第一通槽和第二通槽位置相对应；

所述引弧针安装螺栓透过第一通槽和第二通槽竖直安装在滑动销上，引弧针的顶部固定安装在引弧针安装螺栓上，在引弧针安装螺栓上设置有两个螺母，第一螺母顶紧滑动销，实现引弧针安装螺栓与滑动销的固定，第二螺母顶紧引弧针的顶部水平段，实现引弧针与引弧针安装螺栓的固定；通过推动内推杆带动引弧针沿第二通槽移动，以实现引弧针的位置调节；

所述顶紧螺钉安装在主杆的第一直孔段的杆壁上，通过调节顶紧螺钉实现内推杆的的位置锁定。

在上述技术方案中，主杆的第一直孔内壁设置有滑槽，内推杆上设置有与该滑槽相配合的滑键，通过滑槽与滑键配合，限制内推杆的转动，从而使内推杆只能沿主杆的第一直孔轴向滑动。

在上述技术方案中，滑动销与第二直孔为滑动配合，内推杆的第二直孔内壁设置有滑槽，滑动销上设置有与该滑槽相配合的滑键，通过滑槽与滑键配合，限制滑动销的转动，从而使滑动销只能沿内推杆的第二直孔轴向滑动。

在上述技术方案中，第一通槽沿内推杆轴向的长度为1-2cm。

在上述技术方案中，第二通槽沿主杆轴向的长度为2-3cm。

在上述技术方案中，滑动销上开设有与引弧针安装螺栓相配合的内螺纹孔。

在上述技术方案中，所述引弧针从上至下依次包括顶部水平段、竖直段、弯折过度段和底部水平段，顶部水平段、竖直段、弯折过度段和底部水平段为一体式结构，材质为不锈钢；在底部水平段的终端内嵌有用于和靶材接触的钼材质的接触针。

所述的具有缓冲功能的电弧离子镀引弧针调节装置的使用方法为：

使用时，通过主杆右端的内螺纹盲孔将本装置固定在镀膜机的动作气缸的输出杆上，开启镀膜机，由气缸带动本装置往复振动，使引弧针触碰靶材产生放电进行引弧。当需要调节引弧针与靶面的距离时，调松顶紧螺钉，然后向靶材方向推动内推杆，内推杆带动引弧针沿第二通槽向靶面移动，移动到位后，拧紧顶紧螺钉，锁定内推杆即可；

在工作过程中，当引弧针与靶材的接触时，引弧针会带动引弧针安装螺栓和滑动销沿内推杆上的第一通槽向靶材反方向移动，并使滑动销压缩缓冲弹簧，当引弧针与靶材的脱离后，在缓冲弹簧弹力作用下，引弧针又恢复原位；通过缓冲弹簧的缓冲作用，从而有效避免因引弧针与靶材的撞击力较大而引起引弧针的变形、甚至损坏。

本实用新型的优点和有益效果为：

本实用新型结构简单、设计合理、使用方便，使用时，通过主杆右端的内螺纹盲孔将本装置固定在镀膜机的动作气缸的输出杆上，开启镀膜机，由气缸带动本装置往复振动，使引弧针触碰靶材产生放电进行引弧。当需要调节引弧针与靶面的距离时，调松顶紧螺钉，然后向靶材方向推动内推杆，内推杆带动引弧针沿第二通槽向靶面移动，移动到位后，拧紧顶紧螺钉，锁定内推杆即可。

本实用新型具有缓冲功能，在工作过程中，当引弧针与靶材的接触时，引弧针会带动引弧针安装螺栓和滑动销沿内推杆上的第一通槽向靶材反方向移动，并使滑动销压缩缓冲弹簧，当引弧针与靶材的脱离后，在缓冲弹簧弹力作用下，引弧针又恢复原位；通过缓冲弹簧的缓冲作用，从而有效避免因引弧针与靶材的撞击力较大而引起引弧针的变形、甚至损坏。

本实用新型的引弧针从上至下依次包括顶部水平段、竖直段、弯折过度段和底部水平段，顶部水平段、竖直段、弯折过度段和底部水平段为一体式结构，材质为不锈钢，在水平段的终端内嵌有用于和靶材接触的钼材质的接触针。将引弧针做成这种弯折的结构是为了使引弧针与靶面平行的那段远离靶表面，避免温度过高造成引弧针的软化，另外也可以有效减缓靶材蒸发出的材料在弧针上的沉积、积瘤。此外，引弧针的接触针采用钼材质，这是因为钼的熔点较高，可以防止持续烧蚀的电弧把不锈钢引弧针熔化，若引弧针整体都用钼丝制作，则成本较高，同时钼丝脆性大，不易弯曲成型，而不锈钢塑性较好，易弯曲成型。

附图说明

图1是本实用新型型的结构示意图。

图2是主杆和内推杆滑动配合的截面图。

图3是靶材损耗之后调节引弧针位置的结构示意图。

图4是内推杆和滑动销滑动配合的截面图。

图5是引弧针和靶材撞击时缓冲状态示意图。

具体实施方式

下面结合具体实施例进一步说明本实用新型的技术方案。

本实用新型公开了一种具有缓冲功能的电弧离子镀引弧针调节装置，参见附图1，该装置包括主杆1、内推杆2、顶紧螺钉3、引弧针4、缓冲弹簧5、滑动销6和引弧针安装螺栓8，

所述主杆1的右端为内螺纹盲孔1-1结构，该内螺纹盲孔1-1用于连接气缸动作端；主杆1的左侧沿主杆1轴向设置有第一直孔1-2，所述内推杆2滑动安装在该第一直孔1-2中，参见附图2，主杆1的第一直孔1-2内壁设置有滑槽a，内推杆2上设置有与该滑槽相配合的滑键b，通过滑槽与滑键配合，限制内推杆2的转动，从而使内推杆2只能沿主杆1的第一直孔1-2轴向滑动；

在内推杆2的前端沿其轴向开设有第二直孔2-1，通过端帽7将缓冲弹簧5和滑动销6安装进第二直孔2-1中，所述缓冲弹簧5设置在第二直孔2-1内端，滑动销6安装在缓冲弹簧5和端帽7之间，通过缓冲弹簧5为滑动销6提供向端帽7的弹力，滑动销6与第二直孔2-1为滑动配合，参见附图4，内推杆2的第二直孔2-1内壁设置有滑槽，滑动销6上设置有与该滑槽相配合的滑键，通过滑槽与滑键配合，限制滑动销6的转动，从而使滑动销6只能沿内推杆2的第二直孔2-1轴向滑动；

在内推杆2的第二直孔段的杆壁上沿内推杆轴向开设有第一通槽2-1，第一通槽沿内推杆轴向的长度为1-2cm；在主杆的第一直孔段的杆壁上沿主杆的轴向开设有第二通槽1-3，第二通槽沿主杆1轴向的长度为2-3cm；第一通槽2-1和第二通槽1-3位置相对应；

所述引弧针安装螺栓8透过第一通槽2-1和第二通槽1-3竖直安装在滑动销6上(滑动销6上开设有与引弧针安装螺栓相配合的内螺纹孔，引弧针安装螺栓8顶端通过螺纹安装在该内螺纹孔中)，引弧针的顶部水平段4-1固定安装在引弧针安装螺栓8上，在引弧针安装螺栓8上设置有两个螺母，第一螺母10顶紧滑动销6，实现引弧针安装螺栓与滑动销6的固定，第二螺母9顶紧引弧针的顶部水平段4-1，实现引弧针与引弧针安装螺栓的固定；通过推动内推杆2带动引弧针4沿第二通槽1-3移动，以实现引弧针4的位置调节；

所述顶紧螺钉3安装在主杆的第一直孔段的杆壁上，通过调节顶紧螺钉3实现内推杆2的的位置锁定；

所述引弧针4从上至下依次包括顶部水平段4-1、竖直段4-2、弯折过度段4-3和底部水平段4-4，顶部水平段4-1、竖直段4-2、弯折过度段4-3和底部水平段4-4为一体式结构，材质为不锈钢；在底部水平段4-4的终端内嵌有用于和靶材11接触的钼材质的接触针4-5。将引弧针做成这种弯折的结构是为了使引弧针与靶面平行的那段远离靶表面，避免温度过高造成引弧针的软化，另外也可以有效减缓靶材蒸发出的材料在弧针上的沉积、积瘤。此外，引弧针的接触针采用钼材质，这是因为钼的熔点较高，可以防止持续烧蚀的电弧把不锈钢引弧针熔化，若引弧针整体都用钼丝制作，则成本较高，同时钼丝脆性大，不易弯曲成型，而不锈钢塑性较好，易弯曲成型；

使用时，通过主杆右端的内螺纹盲孔将本装置固定在镀膜机的动作气缸的输出杆上，开启镀膜机，由气缸带动本装置往复振动，使引弧针触碰靶材11产生放电进行引弧。当需要调节引弧针与靶面的距离时，参见附图3，调松顶紧螺钉3，然后向靶材方向推动内推杆2，内推杆2带动引弧针4沿第二通槽1-3向靶面移动，移动到位后，拧紧顶紧螺钉3，锁定内推杆2即可。

在工作过程中，当引弧针与靶材的接触时，引弧针会带动引弧针安装螺栓和滑动销6沿内推杆2上的第一通槽2-1向靶材反方向移动，并使滑动销6压缩缓冲弹簧5，当引弧针与靶材的脱离后，在缓冲弹簧5弹力作用下，引弧针又恢复原位；通过缓冲弹簧5的缓冲作用，从而有效避免因引弧针与靶材的撞击力较大而引起引弧针的变形、甚至损坏。

以上对本实用新型做了示例性的描述，应该说明的是，在不脱离本实用新型的核心的情况下，任何简单的变形、修改或者其他本领域技术人员能够不花费创造性劳动的等同替换均落入本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种具有缓冲功能的电弧离子镀引弧针调节装置，其特征在于：该装置包括主杆、内推杆、顶紧螺钉、引弧针、缓冲弹簧、滑动销和引弧针安装螺栓，

所述主杆的一端为内螺纹盲孔结构，该内螺纹盲孔用于连接气缸动作端；主杆的另一侧沿主杆轴向设置有第一直孔，所述内推杆滑动安装在该第一直孔中；

在内推杆的前端沿其轴向开设有第二直孔，通过端帽将缓冲弹簧和滑动销安装进第二直孔中，所述缓冲弹簧设置在第二直孔内端，滑动销安装在缓冲弹簧和端帽之间，通过缓冲弹簧为滑动销提供向端帽的弹力；

在内推杆的第二直孔段的杆壁上沿内推杆轴向开设有第一通槽，在主杆的第一直孔段的杆壁上沿主杆的轴向开设有第二通槽，第一通槽和第二通槽位置相对应；

所述引弧针安装螺栓透过第一通槽和第二通槽竖直安装在滑动销上，引弧针的顶部固定安装在引弧针安装螺栓上，在引弧针安装螺栓上设置有两个螺母，第一螺母顶紧滑动销，实现引弧针安装螺栓与滑动销的固定，第二螺母顶紧引弧针的顶部水平段，实现引弧针与引弧针安装螺栓的固定；通过推动内推杆带动引弧针沿第二通槽移动，以实现引弧针的位置调节；

所述顶紧螺钉安装在主杆的第一直孔段的杆壁上，通过调节顶紧螺钉实现内推杆的的位置锁定。

2.根据权利要求1所述的一种具有缓冲功能的电弧离子镀引弧针调节装置，其特征在于：主杆的第一直孔内壁设置有滑槽，内推杆上设置有与该滑槽相配合的滑键，通过滑槽与滑键配合，限制内推杆的转动，从而使内推杆只能沿主杆的第一直孔轴向滑动。

3.根据权利要求1所述的一种具有缓冲功能的电弧离子镀引弧针调节装置，其特征在于：滑动销与第二直孔为滑动配合，内推杆的第二直孔内壁设置有滑槽，滑动销上设置有与该滑槽相配合的滑键，通过滑槽与滑键配合，限制滑动销的转动，从而使滑动销只能沿内推杆的第二直孔轴向滑动。

4.根据权利要求1所述的一种具有缓冲功能的电弧离子镀引弧针调节装置，其特征在于：第一通槽沿内推杆轴向的长度为1-2cm。

5.根据权利要求1所述的一种具有缓冲功能的电弧离子镀引弧针调节装置，其特征在于：第二通槽沿主杆轴向的长度为2-3cm。

6.根据权利要求1所述的一种具有缓冲功能的电弧离子镀引弧针调节装置，其特征在于：滑动销上开设有与引弧针安装螺栓相配合的内螺纹孔。