CN207552440U - 一种真空镀膜机的充抽气系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种真空镀膜机的充抽气系统,包括底座,底座的上表面固定有镀膜外壳和带有隔板的气体箱,夹杆位于夹板外框的内侧上开设有盲孔槽,转轴上安装有磁性片,气体箱内腔的隔板上表面安装有鼓风机,鼓风机的输入端气管穿过隔板延伸至气体箱下部的空腔内,抽风泵的输入端与气体箱的内腔相通。本真空镀膜机的充抽气系统,基板固定槽孔和盲孔槽内,利用磁性使得磁性片上的折板固定在夹板外框上,达到固定基板的目的,抽气时,电磁阀打开抽风泵工作,使得镀膜外壳内腔真空,进行镀膜,镀膜完成后,鼓风机工作,往镀膜外壳内腔中充气,避免箱式真空镀膜机充气时灰尘带入镀膜外壳内,保证产品的质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及镀膜技术领域,具体为一种真空镀膜机的充抽气系统。
背景技术
基板镀膜通常用到真空镀膜机,真空镀膜机工作时,需要先抽真空,使真空室处于真空状态,再进行镀膜;镀膜完成后,需要向真空室充气,现有技术中,真空镀膜机的充气管道直接与外界连通,容易把外界空气中的灰尘带入真空室,导致基板上吸附灰尘,造成产品不良。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜机的充抽气系统,具有避免箱式真空镀膜机充气时灰尘带入镀膜外壳内,保证产品的质量的优点,解决了现有技术中的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种真空镀膜机的充抽气系统,包括底座,所述底座的上表面固定有镀膜外壳和带有隔板的气体箱,镀膜外壳的正面安装有密封连接的箱门,镀膜外壳的上端面连接有气管套口,镀膜外壳上部的内壁上焊接有支撑板,所述支撑板上安装有电机,电机的输出端固装有电机轴,电机轴贯穿支撑板的外壁上平行焊机有夹板外框,夹板外框的两侧边上开设的条形通孔,条形通孔内活动连接有夹杆,所述夹杆位于夹板外框的外侧上表面活动连接有转轴,夹杆位于夹板外框的内侧上开设有盲孔槽,转轴上安装有磁性片,所述气体箱内腔的隔板上表面安装有鼓风机,气体箱的隔板下部安装有抽风泵,所述鼓风机的输出端接三通管,三通管的管口通过气管套在气管套口上,鼓风机的输入端气管穿过隔板延伸至气体箱下部的空腔内,所述抽风泵的输出端通过气管接在镀膜外壳的内腔中,抽风泵的输入端与气体箱的内腔相通。
优选的,所述镀膜外壳和气体箱之间的抽风泵气管上安装有电磁阀。
优选的,所述磁性片由具有内弯的折板和焊接在折板上的磁片组成,夹板外框与磁片磁性连接。
优选的,所述夹板外框一侧边与盲孔槽对应面上开设有与盲孔槽相匹配的槽孔。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:
本真空镀膜机的充抽气系统,移动夹杆的位置使得基板固定在夹板外框的槽孔和夹板外框的盲孔槽内,旋转磁性片,利用磁性使得磁性片上的折板固定在夹板外框上,达到固定基板的目的,抽气时,电磁阀打开抽风泵工作,对镀膜外壳内部的气体抽取,使得镀膜外壳内腔真空,进行镀膜,镀膜完成后,鼓风机工作,往镀膜外壳内腔中充气,避免箱式真空镀膜机充气时灰尘带入镀膜外壳内,保证产品的质量。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构图;
图2为本实用新型的镀膜外壳内部结构图;
图3为本实用新型的气体箱内部结构图;
图4为本实用新型的夹板外框结构图。
图中:1底座、2镀膜外壳、21箱门、22气管套口、23支撑板、3气体箱、31鼓风机、311接三通管、32抽风泵、4电机、41电机轴、5夹板外框、51条形通孔、511夹杆、5111转轴、5112盲孔槽、6磁性片。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4,一种真空镀膜机的充抽气系统,包括底座1,底座1的上表面固定有镀膜外壳2和带有隔板的气体箱3,镀膜外壳2和带有隔板的气体箱3二者并排安装,镀膜外壳2的正面安装有密封连接的箱门21,箱门21打开时,可以将基板放置在镀膜外壳2内,箱门21闭合后将镀膜外壳2内腔中空气抽走进行镀膜,镀膜外壳2的上端面连接有气管套口22,镀膜外壳2上部的内壁上焊接有支撑板23,支撑板23水平安装,支撑板23上安装有电机4,电机4的输出端固装有电机轴41,电机轴41贯穿支撑板23的外壁上平行焊机有夹板外框5,电机4驱动电机轴41旋转后,位于电机轴41上的夹板外框5同样进行旋转,夹板外框5的两侧边上开设的条形通孔51,条形通孔51内活动连接有夹杆511,夹杆511位于夹板外框5的外侧上表面活动连接有转轴5111,夹杆511位于夹板外框5的内侧上开设有盲孔槽5112,夹板外框5一侧边与盲孔槽5112对应面上开设有与盲孔槽5112相匹配的槽孔,基板放置在夹板外框5内部的盲孔槽5112内,转轴5111上安装有磁性片6,磁性片6由具有内弯的折板和焊接在折板上的磁片组成,夹板外框5与磁片磁性连接,移动夹杆51的位置使得基板固定在夹板外框5的槽孔和夹板外框5的盲孔槽5112内,旋转磁性片6,利用磁性使得磁性片6上的折板固定在夹板外框5上,达到固定基板的目的,气体箱3内腔的隔板上表面安装有鼓风机31,气体箱3的隔板下部安装有抽风泵32,鼓风机31的输出端接三通管311,三通管311的管口通过气管套在气管套口22上,鼓风机31的输入端气管穿过隔板延伸至气体箱3下部的空腔内,抽风泵32的输出端通过气管接在镀膜外壳2的内腔中,镀膜外壳2和气体箱3之间的抽风泵32气管上安装有电磁阀,抽风泵32的输入端与气体箱3的内腔相通,抽气时,电磁阀打开抽风泵32工作,对镀膜外壳2内部的气体抽取,使得镀膜外壳2内腔真空,进行镀膜,镀膜完成后,鼓风机31工作,往镀膜外壳2内腔中充气,避免箱式真空镀膜机充气时灰尘带入镀膜外壳2内,保证产品的质量。
综上所述:本真空镀膜机的充抽气系统,移动夹杆51的位置使得基板固定在夹板外框5的槽孔和夹板外框5的盲孔槽5112内,旋转磁性片6,利用磁性使得磁性片6上的折板固定在夹板外框5上,达到固定基板的目的,抽气时,电磁阀打开抽风泵32工作,对镀膜外壳2内部的气体抽取,使得镀膜外壳2内腔真空,进行镀膜,镀膜完成后,鼓风机31工作,往镀膜外壳2内腔中充气,避免箱式真空镀膜机充气时灰尘带入镀膜外壳2内,保证产品的质量。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (4)
1.一种真空镀膜机的充抽气系统,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的上表面固定有镀膜外壳(2)和带有隔板的气体箱(3),镀膜外壳(2)的正面安装有密封连接的箱门(21),镀膜外壳(2)的上端面连接有气管套口(22),镀膜外壳(2)上部的内壁上焊接有支撑板(23),所述支撑板(23)上安装有电机(4),电机(4)的输出端固装有电机轴(41),电机轴(41)贯穿支撑板(23)的外壁上平行焊机有夹板外框(5),夹板外框(5)的两侧边上开设的条形通孔(51),条形通孔(51)内活动连接有夹杆(511),所述夹杆(511)位于夹板外框(5)的外侧上表面活动连接有转轴(5111),夹杆(511)位于夹板外框(5)的内侧上开设有盲孔槽(5112),转轴(5111)上安装有磁性片(6),所述气体箱(3)内腔的隔板上表面安装有鼓风机(31),气体箱(3)的隔板下部安装有抽风泵(32),所述鼓风机(31)的输出端接三通管(311),三通管(311)的管口通过气管套在气管套口(22)上,鼓风机(31)的输入端气管穿过隔板延伸至气体箱(3)下部的空腔内,所述抽风泵(32)的输出端通过气管接在镀膜外壳(2)的内腔中,抽风泵(32)的输入端与气体箱(3)的内腔相通。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的充抽气系统,其特征在于:所述镀膜外壳(2)和气体箱(3)之间的抽风泵(32)气管上安装有电磁阀。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的充抽气系统,其特征在于:所述磁性片(6)由具有内弯的折板和焊接在折板上的磁片组成,夹板外框(5)与磁片磁性连接。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的充抽气系统,其特征在于:所述夹板外框(5)一侧边与盲孔槽(5112)对应面上开设有与盲孔槽(5112)相匹配的槽孔。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN109355636A (zh) * | 2018-12-15 | 2019-02-19 | 湖南玉丰真空科学技术有限公司 | 一种连续镀膜生产线进出口室充气装置 |
CN111235534A (zh) * | 2020-03-19 | 2020-06-05 | 龙鳞(深圳)新材料科技有限公司 | 一种工件架及镀膜系统 |
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