CN207543387U - 防静电装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种防静电装置，包括座体部、转动组件、导电部及吸附部；转动组件可转动地设置于座体部；导电部设置于座体部；吸附部设置于转动组件内，转动组件转动时，吸附部用以吸附导电部，导电部接触于转动组件；据此，通过吸附部吸附导电部的设计，使得导电部能持续接触转动组件，以提升导电部与转动组件之间连续导接功能，达到静电自主接地的效果，还可降低静电干扰或损害基板的电子组件的问题，从而降低产品失败的机率，此外，吸附部还可将导电部被转动组件磨耗后产生的金属残留物或金属粉尘及时吸附，避免金属残留物或金属粉尘掉落至地面或散落于现场环境所造成的污染。

Description

防静电装置

技术领域

本实用新型是有关于一种防静电装置，尤其是指一种用于输送基板设备的防静电装置。

背景技术

静电是一种处于静止状态的电荷或者说不流动的电荷(流动的电荷就形成了电流)。任何两个不同材质的物体接触后再分离，即可产生静电，而产生静电的普遍方法，就是摩擦生电，但是，某些情况下不摩擦也能产生静电，如感应静电起电或喷射起电等。由此可知，于人们生活的环境都有可能产生静电，因此需要采取适当措施以达到防护静电的目的，避免静电产生危害。

在高科技的电子产业，也可能因静电产生危害，例如在组件间残留的静电所导致制程失败，因而对于组件间残留的静电问题越来越被重视。一般而言，在生产过程中静电防护的主要措施例如用中和或接地的方法，针对面板制程，中和方法例如利用带离子CO₂ 混合水来中和表面静电压，此方式通常是利用在湿段制程。

就干段制程的要求来说，往往是依靠滚轴与导电刷的接地能力去达到清除静电效果。然而，滚轴需要与导电刷接触，才能将静电传至导电刷，于滚轴旋转过程中，导电刷可能因滚轴的转动而产生变形弯折，变形后的导电刷若与滚轴接触不完整或根本未接触滚轴时，则会导致偶发性断路，静电无法被排除，进而使产品失败的风险机率上升。又或者，导电刷若因其本身弹性疲乏而无法复位，而无法再持续接触滚轴，也无法提供清除静电的效果。

因此，如何提供一种能确保滚轴与导电刷相互接触的防静电装置来解决上述问题，是相关技术领域亟需解决的课题。

实用新型内容

本实用新型的一目的在于，能确保滚轴与导电刷相互持续接触，以达到静电自主接地的目的。

本实用新型的另一目的在于，持续清除静电，借此避免静电干扰或损害电子组件，因此能有效解决产品因静电导致的异常。

本实用新型的又一目的在于，可借由吸附部吸附导电部所产生的金属残留物或金属粉尘，避免金属残余物污染环境，并可降低现场人员清理时间。

本实用新型的再一目的在于，通过结构上的配置关系，以稳固磁吸件的设置位置而不致于脱落或是降低旋转时的晃动。

本实用新型的其他目的在于，锁附件迫紧于轴封件，通过垫片的设置能防止药气、药液或其他制程物渗入而影响磁吸件的磁性。

本实用新型的一实施例提出防静电装置，防静电装置包括一座体部、一转动组件、一导电部以及一吸附部。转动组件可转动地设置于座体部。导电部设置于座体部。吸附部设置于转动组件内，转动组件转动时，吸附部用以吸附导电部，导电部接触于转动组件。

基于上述，在本实用新型的防静电装置中，通过吸附部吸附导电部的设计，使得导电部能持续接触转动组件，以提升导电部与转动组件之间连续导接功能，进而达到静电自主接地的效果。

再者，借由上述静电自主接地的设计，可达到有效清除静电的目的，借此降低静电干扰或损害基板的电子组件的问题，进而降低产品失败的机率。

此外，导电部被转动组件磨耗后，所产生的金属残留物或金属粉尘也可被吸附部所吸附，避免金属残留物或金属粉尘掉落至地面或散落于现场环境，可避免污染产生。

附图说明

图1为本实用新型制程设备的示意图。

图2为本实用新型防静电装置的局部放大示意图。

图3为图2的本实用新型防静电装置的分解示意图。

图4为图2的本实用新型防静电装置的剖面示意图。

附图中的符号说明：

100 制程设备；10 防静电装置；11 座体部；111 本体；112 第一容置槽；113 第二容置槽；114 装设件；12 转动组件；121 滚轴；1212 容置部；123 轴封件；1232 孔洞；124锁附件；1242 锁附端；125 垫片；1252 孔洞；13 导电部；131 金属刷体；132 板体；133 装配件；14 吸附部；141 套筒件；1412 凹部；1414 孔洞；142 被磁吸件；1422 螺孔；143 磁吸件；15 轴承组件；16 导静电滚轮；90 基板。

具体实施方式

以下结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而非用以限制本实用新型的保护范围。

图1为本实用新型制程设备的示意图。图2为本实用新型防静电装置的局部放大示意图。需说明的是，为了便于说明防静电装置，图2仅绘示防静电装置10的一端结构，并且，相对于图1而言，由于防静电装置10中两侧的座体部11结构类似，因此图2仅绘出其中一侧的座体部11为例说明。

请先参阅图1所示。在本实施例中，图1的制程设备100例如为一清洗机、一显影机、一蚀刻机、一剥膜机、一涂布机或一重工机，视实际制程而可择定适当的制程机台及制程方式。再者，本实施例的制程设备100例如用在一干段制程。此外，为了便于说明，图1仅绘出制程设备100中防静电装置10中相关联的构件。

在本实施例中，制程设备100中的防静电装置10连接数个导静电滚轮16，详细而言，防静电装置10包括两个相对的座体部11、至少一转动组件12、至少一导电部13以及至少一轴承组件15。

导静电滚轮16搭载于转动组件12，座体部11是可承载安设有轴承组件15，转动组件12穿过于轴承组件15，使得转动组件12可转动地设置于座体部11。导电部13设置于座体部11，且导电部13用以接触转动组件12。基板90传输时，导静电滚轮16用以传输基板90，基板90位于导静电滚轮16之上，导静电滚轮16可转动地抵接基板90的下表面，以将基板90移载至目标位置，并因所需制程在目标位置制程基板90或者置放基板90，而基板90相对于下表面的上表面是用来制程之用，换言之，于制程后基板90的上表面会有电子组件。

在此配置之下，制程设备100运行时，转动组件12是转动导静电滚轮16，导静电滚轮16是转动移送基板90，导电部13用以接触于转动组件12，导静电滚轮16具有导电功能，因此，基板90上的残余静电能借由导静电滚轮16传至转动组件12，接着通过转动组件12将基板90上的残余静电传至导电部13，并通过导电部13接地以排除静电。

详细而言，请再参阅图2并搭配图1所示，防静电装置10包括吸附部14，吸附部14设置于转动组件12内，详细而言，转动组件12包括一滚轴121，导电部13用以接触转动组件12的滚轴121。图1中的导静电滚轮16为搭载于转动组件12中的滚轴121，滚轴121穿过于轴承组件15，使得滚轴121可转动地设置于座体部11。

再者，本实施例在转动组件12内的一端/或两侧设置吸附部14，吸附部14用以吸附导电部13，使得导电部13能持续接触转动组件12中的滚轴121，基板90上的残余静电能持续借由滚轴121传至导电部13以达到清除静电的目的，本实施例的设计不仅能提升导电部13与转动组件12中滚轴121之间连续导接功能，以清除基板90上的残余静电，更可降低因残余静电干扰或损害基板90上的电子组件的问题，进而能降低产品失败的机率。

此外，于转动组件12中的滚轴121转动接触至导电部13过程中，导电部13被转动组件12中的滚轴121磨耗后，所产生的金属残留物或金属粉尘也可被吸附部14所吸附，借此避免污染产生。

需说明的是，上述座体部11例如绘示为一长方体，但并用以非限制本实用新型。此外，转动组件12、导电部13、吸附部14、轴承组件15与导静电滚轮16的数量可因制程需求而适当调整。

以下借由图3与图4所示来举例说明本实用新型防静电装置进一步的配置关系。图3为图2的本实用新型防静电装置的分解示意图。图4为图2的本实用新型防静电装置的剖面示意图。请参阅图2至图4所示。

在本实施例中，座体部11包括一本体111、一第一容置槽112、一第二容置槽113与一装设件114。第一容置槽112与第二容置槽113分别位于本体111的一侧，第一容置槽112与第二容置槽113分别为弧形槽体，在滚轴121的轴向方向上，第一容置槽112连通于第二容置槽113，第二容置槽113的口径大于第一容置槽112的口径。装设件114设置于本体111，装设件114例如为一装设洞。

在本实施例中，转动组件12包括一滚轴121、一轴封件123、一锁附件124以及一垫片125。滚轴121具有导电功能，举例而言，滚轴121的材质为具有导电材料(conductivematerial)所制，导电材料例如为不锈钢或其他金属，或者于滚轴121上涂布或包覆导电膜，本实用新型不对此加以限制。滚轴121内呈空心而具有一容置部1212。

轴承组件15设置于座体部11的第二容置槽113，滚轴121穿设于轴承组件15，使得部分滚轴121承靠于第一容置槽112。在本实施例中，轴承组件15例如为一滚珠轴承，然而本实用新型不对轴承组件15的型态加以限制，视实际应用或设计需求而定。

导电部13例如为一导电刷，可视实际需求而将导电部替换为其他具有类同导电或防静电功能的构件，导电部13包括一金属刷体131、一板体132与装配件133。金属刷体131具有复位弹性并连接于板体132，板体132上设有装配件133，装配件133用以组装于装设件114，以将导电部13固定在座体部11，使得金属刷体131接触于滚轴121。在其他实施例中，导电部也可通过其他方式而固定在座体部，视实际应用或设计需求而定。

吸附部14位于滚轴121的容置部1212内，吸附部14包括一套筒件141、一被磁吸件142与一磁吸件143。套筒件141的形状例如为一圆柱体且为塑料所制成。套筒件141内具有一孔洞1414，被磁吸件142的形状例如为一圆柱体。在一示范性实施方式中，在被磁吸件142外表面以套筒件141包覆，结合方式例如为通过胶合方式将套筒件141包覆于被磁吸件142的外表面，使得被磁吸件142设置于套筒件141的孔洞1414内。

磁吸件143为一磁铁，磁吸件143设置于套筒件141外表面，磁吸件143用以吸附导电部13中的金属刷体131。在本实施例中，被磁吸件142可为一磁吸金属，然而本实用新型不对此加以限制，于其他实施例中，被磁吸件142也可为一磁铁或者可让磁吸件吸附的构件均可。在此配置之下，磁吸件143吸附被磁吸件142，使磁吸件143固定于套筒件141外表面，而不致于脱落或是能降低旋转时的晃动。由于磁吸件143能稳固在套筒件141外表面，因此磁吸件143的磁吸力能持续吸附金属刷体131，受到磁吸力状态之下的金属刷体131朝滚轴121靠近并接触。

在本实施例中，套筒件141外表面设有一凹部1412，凹部1412是形成于套筒件141外表面的一部分且沿着套筒件141的周向的一凹槽，磁吸件143设置于套筒件141的凹部1412，借由凹部1412的设置，能降低磁吸件143与被磁吸件142之间的距离，提升磁吸件143吸附被磁吸件142的效果，除此之外，于旋转时可供磁吸件143抵接于凹部1412，使得磁吸件143较不会沿着套筒件141轴向方向任意移动。

需说明的是，本实施例不对上述套筒件与磁吸件的设置方式加以限制。在一实施例中，磁吸件143例如为一对半月形环状磁铁，该对半月形环状磁铁分别设置于凹部1412内，且半月形环状磁铁借由吸附被磁吸件142以稳固地卡固于凹部1412内。在另一实施例中，套筒件的凹部的数量与型态可为配合半月形环状磁铁的数量与型态，使得凹部为两个，半月形环状磁铁设置在相对应的凹部。在又一实施例中，磁吸件例如为一环状磁铁，环状磁铁设置在凹部。在其他实施例中，套筒件外表面未有凹部，磁吸件设置在套筒件外表面之上。

在本实施例中，垫片125设置于轴封件123与锁附件124之间，锁附件124的一锁附端1242，锁附端1242外周面上设有螺纹，锁附端1242穿设于垫片125的孔洞1252、轴封件123的孔洞1232，使得锁附端1242上的螺纹螺锁至吸附部14中的被磁吸件142的螺孔1422内，使被磁吸件142能稳固地位于套筒件141之内，进而能维持并稳固磁吸件143相对位置。借由上述固定方式将轴封件123固定于滚轴121的一端，进而固定设置于滚轴121一端内的吸附部14，且锁附件124迫紧于轴封件123，垫片125可防止药气、药液或其他制程物渗入，借此避免药气、药液或其他制程物渗入而影响磁吸件143的磁性。

综上所述，在本实用新型防静电装置中，在转动组件内设置吸附部，使导电部能被吸附部所吸附，通过吸附部吸附导电部的设计，使得导电部能持续接触转动组件，基板上的残余静电能持续借由转动组件传至导电部以达到除静电的目的。

再者，本实用新型不仅能提升导电部与转动组件之间连续导接功能，达到静电自主接地的效果，更可降低因残余静电干扰或损害基板上的电子组件的问题，因此本实用新型可降低产品失败的机率，并有效解决产品因静电导致的异常。

此外，于转动组件转动接触至导电部过程中，导电部被转动组件磨耗后，所产生的金属残留物或金属粉尘也可被吸附部所吸附，避免金属残留物或金属粉尘掉落至地面或散落于现场环境，借此收集金属残留物或金属粉尘，此举不仅可以降低操作员清扫金属残留物或金属粉尘的时间，更可避免污染产生而影响现场人员。

另外，金属刷体虽具有复位弹性，本实用新型即便在滚轴旋转过程中导致金属刷体产生变形或金属刷体较难以依靠自身复位弹性而回复至与滚轴接触的位置，金属刷体仍可借由磁吸件的吸力，使得金属刷体朝滚轴靠近并与滚轴接触，因此本实用新型可确保滚轴与金属刷体相互接触。

进一步地，本实用新型可通过结构上的配置关系，以稳固磁吸件的设置位置而不致于脱落或是降低旋转时的晃动，在一实施例中，通过轴封件与锁附件，除了将轴封件固定于滚轴的一端，还能固定设置于滚轴一端内的吸附部，进而维持并稳固磁吸件的设置位置。在另一实施例中，于套筒件外表面形成凹部，借由凹部的设置，能降低磁吸件与被磁吸件之间的距离，提升磁吸件吸附被磁吸件的效果，除此之外，于旋转时可供磁吸件抵接于凹部，使得磁吸件较不会沿着套筒件轴向方向任意移动。

另外，上述固定方式将轴封件固定于滚轴的一端中，锁附件迫紧于轴封件，通过垫片的设置能防止药气、药液或其他制程物渗入而影响磁吸件的磁性。

以上所述，仅记载本实用新型为呈现解决问题所采用的技术手段的较佳实施方式或实施例而已，并非用来限定本实用新型专利实施的范围。即凡与本实用新型专利申请范围文义相符，或依本实用新型专利范围所做的均等变化与修饰，皆为本实用新型专利范围所涵盖。

Claims (10)

1.一种防静电装置，其特征在于，包括：

一座体部；

一转动组件，可转动地设置于所述座体部；

一导电部，设置于所述座体部；以及

一吸附部，设置于所述转动组件内，其中所述转动组件转动时，所述吸附部用以吸附所述导电部，所述导电部接触于所述转动组件。

2.如权利要求1所述的防静电装置，其特征在于，其中所述吸附部包括：

一套筒件；以及

一磁吸件，设置于所述套筒件外表面，所述磁吸件用以吸附所述导电部。

3.如权利要求2所述的防静电装置，其特征在于，其中所述吸附部还包括：

一被磁吸件，设置于所述套筒件的内部，所述磁吸件吸附所述被磁吸件，使所述磁吸件固定于所述套筒件外表面。

4.如权利要求2所述的防静电装置，其特征在于，其中所述磁吸件为一磁铁。

5.如权利要求3所述的防静电装置，其特征在于，其中所述被磁吸件为一磁吸金属。

6.如权利要求3所述的防静电装置，其特征在于，其中所述被磁吸件为一磁铁。

7.如权利要求2所述的防静电装置，其特征在于，其中所述套筒件外表面包含一凹部，所述磁吸件设置于所述凹部。

8.如权利要求1所述的防静电装置，其特征在于，其中所述转动组件包含一滚轴，所述防静电装置还包括：

一轴承组件，所述轴承组件设置于所述座体部，所述滚轴穿设于所述轴承组件。

9.如权利要求8所述的防静电装置，其特征在于，其中所述导电部包括一金属刷体，所述金属刷体接触于所述滚轴。

10.如权利要求1所述的防静电装置，其特征在于，其中所述转动组件包括一轴封件、一锁附件以及一垫片，所述垫片设置于所述轴封件与所述锁附件之间，所述锁附件穿设于所述轴封件与所述吸附部。