CN207537525U - 一种可自动调整倾斜角度的线性蒸镀源挡板 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种可自动调整倾斜角度的线性蒸镀源挡板，在所述挡板上设置至少一个角度控制器，用于改变所述挡板的角度，所述角度控制器与控制系统连接，所述控制系统用于控制所述角度控制器不断改变所述挡板的角度。采用该技术方案降低了材料分层的现象，提高了掺杂均匀性，改善了器件性能。

Description

一种可自动调整倾斜角度的线性蒸镀源挡板

技术领域

本实用新型涉及电子器件制造技术领域，特别涉及一种可自动调整倾斜角度的线性蒸镀源挡板。

背景技术

AMOLED器件制作在实现大尺寸方面使用了线性蒸镀源，材料以蒸发的形式蒸镀到基板玻璃上，有机腔体一般设置3个坩埚，部分腔体中间为掺杂材料，真空状态下，材料以近乎直线的路径蒸镀到基板上，由于传统挡板角度及高度固定，如图1所示，挡板A与水平面成固定的90°，材料蒸镀过程中，中间的材料与两边的材料有了明显的分界，使得主体材料与掺杂材料容易形成一个明显的界限，即所说的分层现象，蒸镀源来回移动扫描过程中，导致蒸镀到基板上的主体材料和中间掺杂材料不均匀，降低了器件性能。

实用新型内容

本实用新型实施例的目的在于提供一种可自动调整倾斜角度的线性蒸镀源挡板，降低了材料分层的现象，提高了掺杂均匀性。

本实用新型实施例提供的一种可自动调整倾斜角度的线性蒸镀源挡板，在所述挡板上设置至少一个角度控制器，用于改变所述挡板的角度，所述角度控制器与控制系统连接，所述控制系统用于控制所述角度控制器不断改变所述挡板的角度。

可选地，所述挡板调整的角度范围是与水平面成80°～100°。

可选地，所述角度控制装置采用伺服电机，通过所述伺服电机来改变所述挡板的角度。

由上可见，应用本实施例技术方案，由于通过自动调整两边挡板的倾斜角度，改变主体材料蒸镀到玻璃基板上的角度，降低材料分层的现象，提高掺杂均匀性，进而改善器件效果。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术中线性蒸镀源挡板示意图；

图2为本实用新型提供的一种线性蒸镀源挡板示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例：

本实施例提供一种可自动调整倾斜角度的线性蒸镀源挡板，如图2所示，基板1、蒸镀源2、挡板3、蒸镀源喷嘴4、角度控制器5和坩埚6，在所述挡板3上设置两个角度控制器5，用于改变所述挡板3的角度，所述角度控制器5与控制系统连接，所述控制系统用于控制所述角度控制器5不断改变所述挡板3的角度。使固定的垂直挡板变成可倾斜的挡板，材料以一定角度蒸镀到基板上，降低了镀膜的区域的范围，减弱了主体材料与掺杂材料的分层现象。可以但不限于，所述挡板3调整的角度范围是与水平面成80°～100°。

可以但不限于，所述角度控制装置5采用伺服电机，通过所述伺服电机来改变所述挡板3的角度，即改变了掺杂材料和主体材料的角度范围α，使得主体材料和掺杂材料蒸镀到基板上的区域近乎一致，降低分层区域β。蒸镀过程中，可根据分层现象的具体情况，在腔体操作界面设定所述挡板3的角度值(80°～100°)，通过所述控制系统控制所述伺服电机自动改变所述挡板3的角度，在不开腔不降温的情况下不断改变所述挡板3的角度，寻找使主体材料与掺杂材料蒸镀范围完美重叠的蒸镀角α，得到最佳蒸镀重叠区域，使器件性能更好。

以上所述的实施方式，并不构成对该技术方案保护范围的限定。任何在上述实施方式的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等，均应包含在该技术方案的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种可自动调整倾斜角度的线性蒸镀源挡板，其特征在于，在所述挡板上设置至少一个角度控制器，用于改变所述挡板的角度，所述角度控制器与控制系统连接，所述控制系统用于控制所述角度控制器不断改变所述挡板的角度。

2.如权利要求1所述的一种可自动调整倾斜角度的线性蒸镀源挡板，其特征在于，所述挡板调整的角度范围是与水平面成80°～100°。

3.如权利要求1或2所述的一种可自动调整倾斜角度的线性蒸镀源挡板，其特征在于，所述角度控制器采用伺服电机，通过所述伺服电机来改变所述挡板的角度。