CN207505197U - 一种弹夹式等离子真空处理箱体 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种弹夹式等离子真空处理箱体，包括真空箱体，真空箱体的前端安装有固定框，真空箱体的上端接入电极馈入件，所述真空箱体设有用于安装产品的弹夹料盒，以及用于放置两个弹夹料盒的弹夹料盒放置结构，本实用弹夹式等离子真空处理箱体通过圆孔极板和柱状电极柱混合使用，来提高真空箱室内等离子体均匀性；外部馈入式电极结构，有效的改善了极板电量均匀性，使真空箱室内等离子体分布更均匀，更具流通性，达到弹夹料盒内每层产品都能有效地处理到，提高处理效果和处理均匀性，避免了因烧板和处理不到而造成的经济损失，从而减少生产成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及等离子技术领域，特别涉及一种弹夹式等离子真空处理箱体。
背景技术
等离子体表面处理设备已广泛应用于PCB制造、电子电路、电子电器、汽车制造、半导体制造、包装、印刷、涂覆、高分子材料、塑胶五金、医疗器械、灭菌等行业，目前已经成为中国最大的真空等离子体处理设备生产领域，产品面涉及极为广泛，目前，在等离子表面处理设备多为普通弹夹处理真空箱室，极板结构单一，处理产品过多时效果很差。极板放电不均匀，容易出现烧板和处理不良现象。严重影响后续产品做工，造成成本上升，产品不良等现象。
发明内容
为了克服上述缺陷，本实用新型提供了一种弹夹式等离子真空处理箱体，来提高真空箱室内等离子体均匀性，改善极板电量均匀性。
本实用新型为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种弹夹式等离子真空处理箱体，包括真空箱体，真空箱体的前端安装有固定框，真空箱体的上端接入电极馈入件，所述真空箱体设有用于安装产品的弹夹料盒，以及用于放置两个弹夹料盒的弹夹料盒放置结构，所述弹夹料盒放置结构由支撑座、绝缘滑道、极板、连接件、以及圆柱形电极组成，所述绝缘滑道设置在支撑座上，用于放置弹夹料盒，支撑座的两侧设有若干圆柱形电极，中间设置极板，所述极板和圆柱形电极的上端通过连接件与电极馈入件连接。
作为本实用新型的进一步改进，所述极板为孔状极板。
作为本实用新型的进一步改进，所述圆柱形电极与连接件之间设有陶瓷绝缘件，且连接件与电极馈入件之间也设有绝缘件。
本实用新型的有益效果是：本实用弹夹式等离子真空处理箱体通过圆孔极板和柱状电极柱混合使用，来提高真空箱室内等离子体均匀性；外部馈入式电极结构，有效的改善了极板电量均匀性，使真空箱室内等离子体分布更均匀，更具流通性，达到弹夹料盒内每层产品都能有效地处理到，提高处理效果和处理均匀性，避免了因烧板和处理不到而造成的经济损失，从而减少生产成本。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型结构的侧视图；
图3为本实用新型弹夹料盒的结构示意图；
图中标示：1-真空箱体；2-固定框；3-电极馈入件；4-弹夹料盒；5-支撑座；6-绝缘滑道；7-极板；8-连接件；9-圆柱形电极；10-陶瓷绝缘件；11-绝缘件。
具体实施方式
为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例和附图对本实用新型作进一步详述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。
图1-3示出了本实用新型一种弹夹式等离子真空处理箱体的一种实施方式,包括真空箱体1，真空箱体1的前端安装有固定框2，真空箱体1的上端接入电极馈入件3，所述真空箱体1设有用于安装产品的弹夹料盒4，以及用于放置两个弹夹料盒4的弹夹料盒放置结构，所述弹夹料盒放置结构由支撑座5、绝缘滑道6、极板7、连接件8、以及圆柱形电极9组成，所述绝缘滑道6设置在支撑座5上，用于放置弹夹料盒4，支撑座5的两侧设有若干圆柱形电极9，中间设置极板7，所述极板7和圆柱形电极9的上端通过连接件8与电极馈入件3连接。
所述极板7为孔状极板。
所述圆柱形电极9与连接件8之间设有陶瓷绝缘件10，且连接件8与电极馈入件3之间也设有绝缘件11。
Claims (3)
1.一种弹夹式等离子真空处理箱体，包括真空箱体(1)，真空箱体(1)的前端安装有固定框(2)，真空箱体(1)的上端接入电极馈入件(3)，其特征在于：所述真空箱体(1)设有用于安装产品的弹夹料盒(4)，以及用于放置两个弹夹料盒(4)的弹夹料盒放置结构，所述弹夹料盒放置结构由支撑座(5)、绝缘滑道(6)、极板(7)、连接件(8)、以及圆柱形电极(9)组成，所述绝缘滑道(6)设置在支撑座(5)上，用于放置弹夹料盒(4)，支撑座(5)的两侧设有若干圆柱形电极(9)，中间设置极板(7)，所述极板(7)和圆柱形电极(9)的上端通过连接件(8)与电极馈入件(3)连接。
2.根据权利要求1所述的一种弹夹式等离子真空处理箱体，其特征在于：所述极板(7)为孔状极板。
3.根据权利要求1所述的一种弹夹式等离子真空处理箱体，其特征在于：所述圆柱形电极(9)与连接件(8)之间设有陶瓷绝缘件(10)，且连接件(8)与电极馈入件(3)之间也设有绝缘件(11)。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN (1) | CN207505197U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111243932A (zh) * | 2020-01-18 | 2020-06-05 | 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司 | 一种多料盒半自动式等离子体处理装置及其使用方法 |
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Cited By (2)
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| CN111243932A (zh) * | 2020-01-18 | 2020-06-05 | 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司 | 一种多料盒半自动式等离子体处理装置及其使用方法 |
| CN111243932B (zh) * | 2020-01-18 | 2022-07-05 | 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司 | 一种多料盒半自动式等离子体处理装置及其使用方法 |
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