CN114284127B - 一种电极固定底座 - Google Patents

Abstract

本发明提供的一种电极固定底座，包括：底座本体，设置有第一螺丝孔和第二螺丝孔；保护件，设置有第三螺丝孔和第四螺丝孔，第三螺丝孔和第一螺丝孔对应，第四螺丝孔和第二螺丝孔对应；保护件和底座本体层叠设置于上电极和下电极之间、且保护件远离下电极，底座本体远离上电极；保护件的材料硬度大于底座本体的材料硬度。本发明通过在电极固定底座上设置保护件，且该保护件的材料硬度大于底座本体的硬度，进而降低了摩擦过程中产生的表面磨损，提高了产品良率，也就减少产品修补及报废问题，从而降低了产品制造的成本。

Description

一种电极固定底座

技术领域

本申请属于电极底座技术领域，尤其涉及一种电极固定底座。

背景技术

等离子干法刻蚀技术是利用等离子体进行薄膜微细加工的技术。在干法刻蚀工艺过程中，一种或多种气体原子或分子混合于反应腔室中，在外部能量作用下(如射频、微波等)形成等离子体，干法刻蚀技术由于具有良好的各向异性和工艺可控性已被广泛应用于LCD及OLED产品制造领域。

但随着使用时间的增加，干法刻蚀设备内部器件如电极固定底座会受热胀冷缩原因形成部件间的摩擦，其均会产生大量的粒子严重影响制程腔内的真空环境，降低产品的良率，增加了制造产品的成本。

发明内容

本发明的目的在于提供一种电极固定底座，能够有效解决因电极固定底座与部件之间的摩擦而降低产品良率的问题。

为了达到上述目的，本发明采取了以下技术方案：

本申请实施例提供一种电极固定底座，包括：

底座本体，设置有第一螺丝孔和第二螺丝孔；

保护件，设置有第三螺丝孔和第四螺丝孔，第三螺丝孔和第一螺丝孔对应，第四螺丝孔和第二螺丝孔对应；

保护件和底座本体层叠设置于上电极和下电极之间、且保护件远离下电极，底座本体远离上电极；保护件的材料硬度大于底座本体的材料硬度。

在一些实施例的电极固定底座中，保护件的厚度小于底座本体的厚度。

在一些实施例的电极固定底座中，第一螺丝孔设置于底座本体的中央，第一螺丝孔的外围且以第一螺丝孔为中心等间距设置有四个第二螺丝孔。

在一些实施例的电极固定底座中，第三螺丝孔设置于底座本体的中央，第三螺丝孔的外围且以第三螺丝孔为中心等间距设置有四个第四螺丝孔。

在一些实施例的电极固定底座中，每个所述第二螺丝孔内设置有台阶。

在一些实施例的电极固定底座中，第一螺丝孔远离保护件的一面镶嵌有与底座本体一体成型的凸出套筒，凸出套筒的直径与第一螺丝孔的直径相等。

在一些实施例的电极固定底座中，底座本体上远离保护件的一面、且沿着第一螺丝孔和其中两个相对的第二螺丝孔所在的直线方向开设有第一限位槽；第一限位槽的宽度小于第一螺丝孔的直径。

在一些实施例的电极固定底座中，保护件上远离底座本体的一面、且沿着第三螺丝孔和两个相对第四螺丝孔所在的直线方向开设有第二限位槽；第二限位槽的宽度小于第三螺丝孔的直径。

在一些实施例的电极固定底座中，第一限位槽和第二限位槽平行设置。

在一些实施例的电极固定底座中，第一限位和第二限位槽的宽度相等。

本申请实施例提供的一种电极固定底座，通过在电极固定底座上设置保护件，且该保护件的材料硬度大于底座本体的硬度，进而降低了摩擦过程中产生的表面磨损，提高了产品良率，也就减少产品修补及报废问题，从而降低了产品制造的成本。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对本领域技术人员来说，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

为了更完整地理解本申请及其有益效果，下面将结合附图来进行说明。其中，在下面的描述中相同的附图标号表示相同部分。

图1为本发明提供的电极固定底座与第一固定件和第二固定件的连接结构图。

图2为本发明提供的电极固定底座的横向截面图。

图3为本发明提供的电极固定底座的正面示意图。

图4为本发明提供的电极固定底座的背面示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

为使本发明的目的、技术方案及效果更加清楚、明确，以下参照附图并举实施例对本发明进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

请一并参阅图1、图2、图3和图4，本发明提供一种电极固定底座，包括：底座本体10，设置有第一螺丝孔11和第二螺丝孔12；保护件20，设置有第三螺丝孔21和第四螺丝孔22，第三螺丝孔21和第一螺丝孔11对应，第四螺丝孔22和第二螺丝孔12对应；保护件20和底座本体10层叠设置于上电极和下电极之间、且保护件20远离下电极，底座本体10远离上电极；保护件20的材料硬度大于底座本体10的材料硬度。

其中，本实施例中底座本体10的材料为铝，保护件20的材料可以选择铁，当然也可以选择其他比铝硬度更大的材料。在实际生产过程中，本实施例中的电极固定底座相当于将原来电极固定底座中与上电极接触的一面切割一部分换成铁块形成一层保护件20。在保证固定底座整体体积不变的情况下可有效降低摩擦过程中产生的表面磨损，提高了产品良率，也就减少产品修补及报废问题，从而降低了产品制造的成本。

进一步地，本实施例中保护件20的厚度小于底座本体10的厚度，例如可将底座本体10的厚度设置为10mm，对应的保护件20的厚度可以为3mm。其中，保护件20要完全覆盖住底座本体10远离下电极的一面，因电极固定底座需要通过螺钉经对应的螺丝孔连接上下电极，那么保护件20也需要开设与固定底座一致的螺丝孔，也即保护件20设置的第三螺丝孔21与底座本体10的第一螺丝孔11对应，保护见设置的第四螺丝孔22与底座本体10的第二螺丝孔12对应设置，确保能够连接螺钉进而连接上下电极。

进一步地，第一螺丝孔11设置于底座本体10的中央，第一螺丝孔11的外围且以第一螺丝孔11为中心等间距设置有四个第二螺丝孔12；因第三螺丝孔21和第一螺丝孔11对应，第四螺丝孔22和第二螺丝孔12对应。那么对应的第三螺丝孔21设置于底座本体10的中央，第三螺丝孔21的外围且以第三螺丝孔21为中心等间距设置有四个第四螺丝孔22。其中，本实施例中，所述第一螺丝孔11的孔径小于所述第二螺丝孔12的孔径。因设置螺丝孔在连接上下电极时还相应设置有第一固定件50和第二固定件60。具体来说，第一固定件50与上电极连接，且部分设置于第一螺丝孔11和第三螺丝孔21以与保护件20和本体固定连接；第二固定件60，与下电极连接，且部分设置于第二和第四孔以与保护件20和本体固定连接。本实施例中第一固定件50和第二固定件60可以为螺钉。因第二螺丝孔12设置有四个，那么与第二螺丝孔12对应的第四螺丝孔22也设置为四个，相应的也会设置四个第二固定件60来连接下电极。通过在中央第一螺丝孔11(或第三螺丝孔21)的外围均等设置四个第二螺丝孔12(或第四螺丝孔22)，确保电极固定底座在连接下电极的均匀稳定性。

进一步地，本实施例中每个所述第二螺丝孔12内设置有台阶121，通过在每个第二螺丝孔12内设置台阶121能够便于设置第二固定件60。

进一步地，第一螺丝孔11远离保护件20的一面设置有与底座本体10一体成型的凸出套筒13，凸出套筒13的直径与第一螺丝孔11的直径相等，通过设置凸出套筒13以便于第一固定件50能够与底座本体10部分连接，确保固定底座与上电极连接的稳固性。

进一步地，如图4所示，底座本体10上远离保护件20的一面(也即电极固定底座的背面)、且沿着第一螺丝孔11和其中两个相对的第二螺丝孔12所在的直线方向开设有第一限位槽30；第一限位槽30的宽度小于第一螺丝孔11的直径。本实施例中通过设置第一限位槽30能够确保在电极连接时能够准确的卡合下电极，起到定位下电极的作用。

进一步地，如图3所示，保护件20上远离底座本体10的一面(也即电极固定底座的正面)、且沿着第三螺丝孔21和两个相对第四螺丝孔22所在的直线方向开设有第二限位槽40；第二限位槽40的宽度小于第三螺丝孔21的直径。本实施例中通过在保护件20上设置第二限位槽40能够确保在电极连接时能够准确的卡合上电极，起到定位上电极的作用。

进一步地，本实施例中第一限位槽30和第二限位槽40平行设置，具体来说，第一限位槽30位于第二限位槽40在底座本体10上垂直投影的位置。其中，本实施例中第一限位和第二限位槽40的宽度相等，那么在第一限位槽30和第二限位槽40的相对位置可以固定上下电极的相对位置，确保电极固定底座能够稳固的连接上下电极。

本发明提供的一种电极固定底座，包括：底座本体，设置有第一螺丝孔和第二螺丝孔；保护件，设置有第三螺丝孔和第四螺丝孔，第三螺丝孔和第一螺丝孔对应，第四螺丝孔和第二螺丝孔对应；保护件和底座本体层叠设置于上电极和下电极之间、且保护件远离下电极，底座本体远离上电极；保护件的材料硬度大于底座本体的材料硬度。本发明通过在电极固定底座上设置保护件，且该保护件的材料硬度大于底座本体的硬度，进而降低了摩擦过程中产生的表面磨损，提高了产品良率，也就减少产品修补及报废问题，从而降低了产品制造的成本。

在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。

在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个特征。

以上对本申请实施例所提供的电极固定底座进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想；同时，对于本领域的技术人员，依据本申请的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。

Claims (10)

1.一种电极固定底座，其特征在于，应用于干法蚀刻设备中，包括：

底座本体，设置有第一螺丝孔和第二螺丝孔，所述底座本体上安装有上电极和下电极；

保护件，设置有第三螺丝孔和第四螺丝孔，所述第三螺丝孔和所述第一螺丝孔对应，所述第四螺丝孔和所述第二螺丝孔对应；

所述保护件安装在所述底座本体上，且所述保护件接触并覆盖所述底座本体，所述保护件和所述底座本体层叠设置于上电极和下电极之间、且所述保护件远离所述下电极，所述底座本体远离所述上电极；所述保护件的材料硬度大于所述底座本体的材料硬度。

2.根据权利要求1所述的电极固定底座，其特征在于，所述保护件的厚度小于所述底座本体的厚度。

3.根据权利要求1所述的电极固定底座，其特征在于，所述第一螺丝孔设置于所述底座本体的中央，所述第一螺丝孔的外围且以所述第一螺丝孔为对称中心设置有四个所述第二螺丝孔，四个所述第二螺丝孔呈环状设置。

4.根据权利要求3所述的电极固定底座，其特征在于，所述第三螺丝孔设置于所述保护件的中央，所述第三螺丝孔的外围且以所述第三螺丝孔为对称中心设置有四个所述第四螺丝孔，四个所述第四螺丝孔呈环状设置。

5.根据权利要求3所述的电极固定底座，其特征在于，每个所述第二螺丝孔内设置有台阶。

6.根据权利要求4所述的电极固定底座，其特征在于，所述第一螺丝孔远离所述保护件的一面镶嵌有与所述底座本体一体成型的凸出套筒，所述凸出套筒的直径与所述第一螺丝孔的直径相等。

7.根据权利要求4所述的电极固定底座，其特征在于，所述底座本体上远离所述保护件的一面、且沿着所述第一螺丝孔和其中两个相对的所述第二螺丝孔所在的直线方向开设有第一限位槽；所述第一限位槽的宽度小于所述第一螺丝孔的直径。

8.根据权利要求7所述的电极固定底座，其特征在于，所述保护件上远离所述底座本体的一面、且沿着所述第三螺丝孔和两个相对所述第四螺丝孔所在的直线方向开设有第二限位槽；所述第二限位槽的宽度小于所述第三螺丝孔的直径。

9.根据权利要求8所述的电极固定底座，其特征在于，所述第一限位槽和所述第二限位槽平行设置。

10.根据权利要求9所述的电极固定底座，其特征在于，所述第一限位槽和所述第二限位槽的宽度相等。

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