CN207501167U - 一种尾气处理系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种尾气处理系统，尾气处理系统包括过渡模式、第一切换模块及第二切换模块，尾气处理系统在长时间不生产时进入过渡模式，由过渡模式进入正常模式经过第一切换模块及第二切换模块，从而，解决尾气处理系统在长时间不生产时一直通入燃烧气体，造成无谓的浪费的问题。

Description

一种尾气处理系统

技术领域

本实用新型属于半导体环保领域，涉及一种尾气处理系统。

背景技术

尾气处理在半导体制造企业中是一个不可或缺的环保环节，作为大规模、代表先进制造技术的产业，半导体制造企业必须注意到尾气排放将对环境造成的污染、对先进半导体制程所造成的影响，因此，要积极做好尾气排放的处理和控制工作。

依据尾气的特性，在处理上常常采用水洗、氧化/燃烧、吸附、解离、冷凝等方法。在半导体制造厂，尾气排放可分为：一般排气(GEX)、酸性排气(SEX)、碱性排气(AEX)和有机排气(VEX)。

对于含有酸性/碱性物质的尾气，半导体厂大都采用大型洗涤式中央尾气处理系统进行处理。半导体制造过程中排放的含有有机成分的尾气(VOC)通常采用直接焚烧、活性炭吸附、生物氧化等方法进行处理。

现有的尾气处理系统包括机台及与机台连接的尾气处理器，尾气处理器通常有三种工作模式：正常模式，通入大量燃烧气体；闲置模式，通入少量燃烧气体；全灭模式，不通入燃烧气体且处于断电状态。如图1所述，显示为现有技术中的一种尾气处理系统在制程过程中的流程结构示意图。在制程过程中，当机台发出开始信号后，由于尾气处理器常常处于闲置模式，即尾气处理器中一直通入有少量燃烧气体，尾气处理器进行点火，因此，从闲置模式进入正常模式。在实际制程过程中，即使在机台长时间不生产的情况下，为了减少尾气处理器频繁开关机所造成的机器损耗以及减少开关机尾气处理器启动时间，尾气处理器常常一直处于闲置模式，即尾气处理器一直通入燃烧气体，因此，造成无谓的浪费。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种尾气处理系统，用于解决现有制程过程中在机台长时间不生产的情况下，尾气处理系统也一直处于闲置模式，通入燃烧气体，造成无谓的浪费的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供种一种尾气处理系统，包括机台及与所述机台连接的尾气处理器，所述尾气处理器工作在正常模式时通入第一流量的燃烧气体，工作在闲置模式时通入第二流量的燃烧气体，工作在全灭模式时不通入燃烧气体且处于断电状态，所述第一流量大于所述第二流量，所述尾气处理系统还包括：

过渡模式，所述尾气处理器不通入燃烧气体但处于通电状态。

第一切换模块，与所述尾气处理器相连，用于当所述尾气处理器工作在所述过渡模式下并收到所述机台发出的开始信号时，使所述尾气处理器从所述过渡模式切换到闲置模式工作；

第二切换模块，与所述尾气处理器相连，用于当所述尾气处理器在所述第一切换模块的控制下从所述过渡模式切换到闲置模式工作之后并进一步收到所述机台发出的点火信号时，使所述尾气处理器进一步从闲置模式切换到正常模式工作。

优选地，所述尾气处理器包括：

反应装置，包括反应装置电源及与所述反应装置电源连接的燃烧系统；所述燃烧系统包括点火器；

进气装置，连接所述机台及所述反应装置；

气体感应系统；

控制器，连接所述机台、气体感应系统、反应装置电源及所述燃烧系统。

优选地，所述气体感应系统包括气体流量计。

优选地，所述气体流量计数值为0时，所述气体流量计数值为0时，所述尾气处理器工作在所述过渡模式、闲置模式及全灭模式中的一种。

优选地，当所述气体流量计数值为0时且所述尾气处理器工作在所述过渡模式时，所述控制器关闭所述燃烧系统。

优选地，当所述气体流量计数值为0时且所述尾气处理器工作在全灭模式时，所述控制器关闭所述反应装置电源及所述燃烧系统

优选地，所述尾气处理器还包括排气系统，所述排气系统连接于所述反应装置。

优选地，所述反应装置还包括水洗系统。

优选地，所述燃烧系统包括N≥1个燃气管。

优选地，所述燃气管包括天然气管。

如上所述，本实用新型的一种尾气处理系统，具有以下有益效果：通过过渡模式、第一切换模块及第二切换模块，可以解决现有制程过程中机台在长时间不生产的情况下，尾气处理器依然处于闲置模式，即尾气处理器一直通入燃烧气体，造成无谓的浪费的问题。

附图说明

图1显示为现有技术中的一种尾气处理系统在制程过程中的流程结构示意图。

图2显示为本实用新型中的尾气处理系统在制程过程中的流程结构示意图。

图3显示为本实用新型中的尾气处理器的结构示意图。

元件标号说明

100 机台

101 反应装置

102 反应装置电源

103 燃烧系统

104 进气装置

105 气体感应系统

106 控制器

107 水洗系统

108 排气系统

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。

请参阅图2至图3。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。

本实用新型提供一种尾气处理系统，包括机台及与所述机台连接的尾气处理器，所述尾气处理器工作在正常模式时通入第一流量的燃烧气体，工作在闲置模式时通入第二流量的燃烧气体，工作在过渡模式时不通入燃烧气体且处于断电状态，所述第一流量大于所述第二流量，所述尾气处理系统还包括：

过渡模式，所述尾气处理器不通入燃烧气体但处于通电状态。当所述机台不产生尾气时，所述尾气处理器进入过渡模式。

第一切换模块，与所述尾气处理器相连，用于当所述尾气处理器工作在所述过渡模式下并收到所述机台发出的开始信号时，使所述尾气处理器从所述过渡模式切换到闲置模式工作；

第二切换模块，与所述尾气处理器相连，用于当所述尾气处理器在所述第一切换模块的控制下从所述过渡模式切换到闲置模式工作之后并进一步收到所述机台发出的点火信号时，使所述尾气处理器进一步从闲置模式切换到正常模式工作。

如图2所示，显示为本实用新型中的尾气处理系统在制程过程中的流程结构示意图。所述机台在不生产的情况下，所述尾气处理器进入所述过渡模式。而后，所述尾气处理器进入所述第一切换模块，即当所述尾气处理器工作在所述过渡模式下(通电源，没有燃烧气体通入)，所述机台需启动时，所述机台通知所述尾气处理器开始工作，所述尾气处理器收到所述机台发出的开始信号后，使所述尾气处理器从所述过渡模式切换到闲置模式，此时，通入第二流量的燃烧气体。

而后，所述尾气处理器从所述第一切换模块的控制进入所述第二切换模块的控制。所述尾气处理器在所述第一切换模块的控制下从所述过渡模式切换到闲置模式工作之后并进一步收到所述机台发出的点火信号时，使所述尾气处理器进一步从闲置模式切换到正常模式工作，即所述尾气处理器通入第一流量的燃烧气体，所述第一流量大于所述第二流量。本行业技术人员可根据具体生产需求设置所述第一流量及所述第二流量。

而后，所述尾气处理器进行点火，从闲置模式进入正常模式；当所述尾气处理器停止点火时，所述尾气处理器从正常模式进入闲置模式；而后，当所述机台通知所述尾气处理器停止工作时，所述尾气处理器从闲置模式进入所述过渡模式。

由于在所述过渡模式时，所述尾气处理器不通入燃烧气体但处于通电状态，可以解决现有制程过程中机台在长时间不生产的情况下，为了减少尾气处理器频繁开关机所造成的机器损耗以及减少开关机运行时间，而不选择全灭模式，使得尾气处理器常常一直处于闲置模式，即尾气处理器一直通入燃烧气体，造成无谓的浪费的问题。

图3显示为本实用新型中的尾气处理器的结构示意图。

所述尾气处理器包括：反应装置101、进气装置104、气体感应系统105以及控制器106。所述反应装置101包括反应装置电源102及与所述反应装置电源连接的燃烧系统103，所述燃烧系统103包括点火器。

作为示例，所述点火器包括电子脉冲式点火器、电子高频高压式点火器以及线圈硅钢片式点火器。本实施例中，所述点火器优选为体积较小而轻、功率大且产生火花温度高的线圈硅钢片式点火器。

所述进气装置104连接机台100及所述反应装置101，用以将所述机台100产生的尾气定向的导入所述尾气处理器中。所述进气装置104的材料优选为耐腐蚀材料，包括但不限于聚四氟乙烯管。

所述控制器106连接所述机台100、气体感应系统105、反应装置电源102及所述燃烧系统103。

作为示例，所述气体感应系统105包括气体流量计。所述气体感应系统105用于测量所述进气装置104内的尾气含量，从而将所述信息传递给所述控制器106。

作为示例，所述气体流量计数值为0时，所述尾气处理器工作在所述过渡模式、闲置模式及全灭模式中的一种。

作为示例，当所述气体流量计数值为0时且所述尾气处理器工作在所述过渡模式时，所述控制器106关闭所述燃烧系统103，即所述燃烧系统103不通入燃烧气体，而所述反应装置101依然处于通电状态，以便于所述尾气处理器从所述过渡模式切换到闲置模式时可以及时响应，节省设备反应时间，同时，减少尾气处理器频繁开关机所造成的机器损耗。

作为示例，当所述气体流量计数值为0时且所述尾气处理器工作在全灭模式时，所述控制器关闭所述反应装置电源102及所述燃烧系统103。全灭模式，应用于需要停机的特殊情况。

作为示例，所述燃烧系统103包括N≥1个燃气管。燃烧气体通过所述燃气管通入所述燃烧系统103内，经所述点火器点火后，促使经所述进气装置104运输的尾气与燃烧气体进行燃烧反应，从而对尾气进行处理。

作为示例，所述燃气管包括天然气管。本实施例中，以价格便宜的天然气作为燃烧气体，本行业技术人员也可根据尾气种类，对所述燃烧气体进行选择，从而根据已选择的燃烧气体种类再进一步选择所述燃气管，因此，所述燃气管的数量可以为N个，N≥1，具体数量此处不作限制。

作为示例，所述尾气处理器还包括排气系统108，所述排气系统108连接于所述反应装置101。所述排气系统108用于将经燃烧反应过后产生的多余燃烧气体导出所述尾气处理器。

作为示例，由于半导体制造中尾气中常常具有酸性/碱性的物质，所述反应装置还包括水洗系统107。所述水洗系统107的主要功能是通过控制所述水洗系统107内的水的酸碱度、电导度等参数，在尾气与水交叉流过时使尾气在所述水洗系统107中与水进行充分接触，吸收其中的酸性或碱性物质。

作为示例，所述水洗系统107可以安装在所述燃烧系统103之后或之前中的一种。由于所述水洗系统107会降低尾气的温度而所述燃烧系统103需要对尾气进行加热，因此，本实施例中优选为所述水洗系统107安装在所述燃烧系统103之后，以便于先去除大量的有机尾气后，再对所述少量酸性/碱性的尾气进行处理，从而节约能源，同时，提高处理效率。

综上所述，本实用新型尾气处理系统，通过过渡模式、第一切换模块及第二切换模块，可以解决现有制程过程中机台在长时间不生产的情况下，为了减少尾气处理器频繁开关机所造成的机器损耗以及减少开关机运行时间，而不选择全灭模式，使得尾气处理器常常一直处于闲置模式，即尾气处理器一直通入燃烧气体，因此，造成无谓的浪费的问题。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims (10)

1.一种尾气处理系统，包括机台及与所述机台连接的尾气处理器，所述尾气处理器工作在正常模式时通入第一流量的燃烧气体，工作在闲置模式时通入第二流量的燃烧气体，工作在全灭模式时不通入燃烧气体且处于断电状态，所述第一流量大于所述第二流量，其特征在于，所述尾气处理系统还包括：

过渡模式，所述尾气处理器不通入燃烧气体但处于通电状态，

第一切换模块，与所述尾气处理器相连，当所述尾气处理器工作在所述过渡模式下并收到所述机台发出的开始信号时，将所述尾气处理器从所述过渡模式切换到闲置模式工作；

第二切换模块，与所述尾气处理器相连，当所述尾气处理器在所述第一切换模块的控制下从所述过渡模式切换到闲置模式工作，并收到所述机台发出的点火信号时，将所述尾气处理器从闲置模式切换到正常模式工作。

2.根据权利要求1所述的尾气处理系统，其特征在于，所述尾气处理器包括：

反应装置，包括反应装置电源及与所述反应装置电源连接的燃烧系统；所述燃烧系统包括点火器；

进气装置，连接所述机台及所述反应装置；

气体感应系统；

控制器，连接所述机台、气体感应系统、反应装置电源及所述燃烧系统。

3.根据权利要求2所述的尾气处理系统，其特征在于：所述气体感应系统包括气体流量计。

4.根据权利要求3所述的尾气处理系统，其特征在于：所述气体流量计数值为0时，所述尾气处理器工作在所述过渡模式、闲置模式及全灭模式中的一种。

5.根据权利要求4所述的尾气处理系统，其特征在于：当所述气体流量计数值为0时且所述尾气处理器工作在所述过渡模式时，所述控制器关闭所述燃烧系统。

6.根据权利要求4所述的尾气处理系统，其特征在于：当所述气体流量计数值为0时且所述尾气处理器工作在全灭模式时，所述控制器关闭所述反应装置电源及所述燃烧系统。

7.根据权利要求2所述的尾气处理系统，其特征在于：所述尾气处理器还包括排气系统，所述排气系统连接于所述反应装置。

8.根据权利要求2所述的尾气处理系统，其特征在于：所述反应装置还包括水洗系统。

9.根据权利要求2所述的尾气处理系统，其特征在于，所述燃烧系统包括N≥1个燃气管。

10.根据权利要求9所述的尾气处理系统，其特征在于，所述燃气管包括天然气管。