CN207489818U - 硅片清洗用花篮 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种硅片清洗用花篮，包括第一侧板、第二侧板以及第一排梳齿和第二排梳齿，第一排梳齿的下侧设有第一连接板，第二排梳齿的下侧设有第二连接板，其特征在于：还包括设置在第一排梳齿及第二排梳齿中部的用于连接第一侧板与第二侧板且用于防止硅片滑落的第二横杆以及用于连接第一侧板和第二侧板且位于第一排梳齿和第二排梳齿之间的用于支撑硅片的至少一个第一横杆，第一排梳齿和第二排梳齿的上端分别设有用于连接第一侧板及第二侧板的挂耳。本装置旨在解决现有花篮强度低，易破碎的问题，本装置能在满足硅片能充分暴露在清洗液中的同时，保证花篮具有足够的强度。
Description
技术领域
本实用新型属于硅片清洗装置技术领域，更具体地说，是涉及一种硅片清洗用花篮。
背景技术
随着大规模集成电路的发展,集成度的不断提高,线宽的不断减小,对硅片的质量要求也越来越高,特别是对硅片的表面质量要求越来越严。这主要是因为硅片抛光面的颗粒和金属杂质沾污会严重影响器件的质量和成品率。在目前的集成电路生产中,硅片清洗不彻底,可能使全部硅片报废,或者制造出来的器件性能低劣,稳定性和可靠性很差。
目前，硅片清洗多采用超声波清洗，清洗工序中需要将硅片间隔放置在花篮内并浸泡到清洗液中，通常为保证硅片能充分接触清洗液，花篮的间隔片通常只通过中部的连接杆连接固定，花篮强度低，易破碎，造成硅片损伤。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种硅片清洗用花篮，旨在解决现有花篮强度低，易破碎的问题，本装置能在满足硅片能充分暴露在清洗液中的同时，保证花篮具有足够的强度。
为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：提供一种硅片清洗用花篮，包括第一侧板、与第一侧板平行设置的第二侧板以及设置在第一侧板与第二侧板之间的用于间隔放置硅片的第一排梳齿和第二排梳齿，第一排梳齿的下侧设有用于连接第一侧板及第二侧板且用于承托硅片的第一连接板，第二排梳齿的下侧设有用于连接第一侧板及第二侧板且用于承托硅片的第二连接板，第一侧板与第一排梳齿的下端固接，第二连接板与第二排梳齿的下端固接，其特征在于：还包括设置在第一排梳齿及第二排梳齿中部的用于连接第一侧板与第二侧板且用于防止硅片滑落的第二横杆以及用于连接第一侧板和第二侧板且位于第一排梳齿和第二排梳齿之间的用于支撑硅片的至少一个第一横杆，第一排梳齿和第二排梳齿的上端分别设有用于连接第一侧板及第二侧板的挂耳，挂耳与第二横杆平行设置且突出于对应的第一排梳齿和第二排梳齿的外端面。
进一步地，第一横杆为两根且分别通过若干连接筋固定连接于第一连接板与第二连接板。
进一步地，两根第一横杆平行设置且在两根第一横杆的上侧均设有若干分别与第一排梳齿以及第二排梳齿相对应的用于固定硅片的立柱。
进一步地，第二侧板的外侧设有用于防止硅片损伤的凸出。
进一步地，第一排梳齿与第二排梳齿齿间距值至少为硅片厚度值的1.5倍。
进一步地，第一排梳齿与第二排梳齿的齿数均为29个。
进一步地，第二横杆外侧凸出第一排梳齿与第二排梳齿的外侧面。
进一步地，第一侧板呈H型，第一侧板的上下端分别设有用于清洗液流通的第一缺口、第二缺口，第二侧板上设有用于清洗液流通的第三缺口。
进一步地，第二侧板的两侧对称设有用于夹持取放的夹持部。
进一步地，第一横杆下端平行设有与第一连接板的底面垂直设置的支脚。
本实用新型提供的硅片清洗用花篮的有益效果在于：通过第一连接板及第二连接板将第一侧板和第二侧板的底部连接，通过第一横杆支撑硅片并且同样连接第一侧板和第二侧板，既能保持硅片的稳定性，又能提高连接强度，通过挂耳将第一侧板和第二侧板的上部连接，挂耳突出于对应的第一排梳齿和第二排梳齿的外端面，连接强度更好，本装置在具有足够的通透性的情况下，能保证花篮的强度，结构简单，使用方便。
附图说明
图1为本实用新型实施例提供的硅片清洗用花篮的结构示意图一；
图2为本实用新型实施例提供的硅片清洗用花篮的结构示意图二。
具体实施方式
为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
请参阅图1和图2，现对本实用新型提供的硅片清洗用花篮进行说明。硅片清洗用花篮，包括第一侧板1、与第一侧板1平行设置的第二侧板2以及设置在第一侧板1与第二侧板2之间的用于间隔放置硅片的第一排梳齿3和第二排梳齿4，第一排梳齿3的下侧设有用于连接第一侧板1及第二侧板2且用于承托硅片的第一连接板31，第二排梳齿4的下侧设有用于连接第一侧板1及第二侧板2且用于承托硅片的第二连接板41，第一侧板1与第一排梳齿3的下端固接，第二连接板41与第二排梳齿4的下端固接，其特征在于：还包括设置在第一排梳齿3及第二排梳齿4中部的用于连接第一侧板1与第二侧板2且用于防止硅片滑落的第二横杆6以及用于连接第一侧板1和第二侧板2且位于第一排梳齿3和第二排梳齿4之间的用于支撑硅片的至少一个第一横杆5，第一排梳齿3和第二排梳齿4的上端分别设有用于连接第一侧板1及第二侧板2的挂耳9，挂耳9与第二横杆6平行设置且突出于对应的第一排梳齿3和第二排梳齿4的外端面。
通过第一连接板31及第二连接板41将第一侧板1和第二侧板2的底部连接，通过第一横杆5支撑硅片并且同样连接第一侧板1和第二侧板2，既能保持硅片的稳定性，又能提高连接强度，通过挂耳9将第一侧板1和第二侧板2的上部连接，挂耳9突出于对应的第一排梳齿3和第二排梳齿4的外端面，连接强度更好，本装置在具有足够的通透性的情况下，能保证花篮的强度，结构简单，使用方便；当本装置放好硅片后，需要将本装置花篮置于清洗框架上让后悬浮于清洗液中，挂耳9用于将本装置放置于清洗框架上。
第一横杆5为两根且分别通过若干连接筋51固定连接于第一连接板31与第二连接板41。第一横杆5可交叉或平行设置在第一排梳齿3与第二排梳齿4的底部，本实用新型不对第一横杆5的数量和固定形式进行限制。
两根第一横杆5平行设置且在两根第一横杆5的上侧均设有若干分别与第一排梳齿3以及第二排梳齿4相对应的用于固定硅片的立柱7。第一横杆5上加设的立柱7有助于硅片在在清洗液中的稳固性，立柱7的端部设有倒角，有助于引导硅片进入齿间。
第二侧板2的外侧设有用于防止硅片损伤的凸出。本装置在流水线上移动时，通常为第一侧板1与传送带贴合，第二侧板2向上，具有一定突出高度的第二侧板2具有防止异物撞伤硅片的作用，第二侧板2的凸出形势可为弧形或本实施例中的折板状。
第一排梳齿3与第二排梳齿4的齿间距值至少为硅片厚度值的1.5倍。为保证在插片机内硅片内顺利插入齿间且又不损伤硅片，设置第一排梳齿3与第二排梳齿4的齿间距为硅片厚度的1.5倍以上，比如，硅片厚度为200微米，齿间距为300微米或以上。
第一排梳齿3与第二排梳齿4的齿数均为29个。本实施例中，本装置可放置30硅片。
第二横杆6外侧凸出第一排梳齿3与第二排梳齿4的外侧面。
第一侧板1呈H型，第一侧板1的上下端分别设有用于清洗液流通的第一缺口11、第二缺口12，第二侧板2上设有用于清洗液流通的第三缺口21。第一侧板外侧设有用于加强第一侧板1强度的加强筋。
第二侧板2的两侧对称设有用于夹持取放的夹持部22。夹持部22用于在插片机中机械臂的夹持。
第一横杆5下端平行设有与第一连接板31的底面垂直设置的支脚10
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种硅片清洗用花篮，包括第一侧板(1)、与所述第一侧板(1)平行设置的第二侧板(2)以及设置在所述第一侧板(1)与所述第二侧板(2)之间的用于间隔放置硅片的第一排梳齿(3)和第二排梳齿(4)，所述第一排梳齿(3)的下侧设有用于连接所述第一侧板(1)及所述第二侧板(2)且用于承托硅片的第一连接板(31)，所述第二排梳齿(4)的下侧设有用于连接所述第一侧板(1)及所述第二侧板(2)且用于承托硅片的第二连接板(41)，所述第一侧板(1)与所述第一排梳齿(3)的下端固接，所述第二连接板(41)与所述第二排梳齿(4)的下端固接，其特征在于：还包括设置在所述第一排梳齿(3)及所述第二排梳齿(4)中部的用于连接所述第一侧板(1)与所述第二侧板(2)且用于防止硅片滑落的第二横杆(6)以及用于连接所述第一侧板(1)和所述第二侧板(2)且位于所述第一排梳齿(3)和所述第二排梳齿(4)之间的用于支撑硅片的至少一个第一横杆(5)，所述第一排梳齿(3)和所述第二排梳齿(4)的上端分别设有用于连接所述第一侧板(1)及所述第二侧板(2)的挂耳(9)，所述挂耳(9)与所述第二横杆(6)平行设置且突出于对应的所述第一排梳齿(3)和所述第二排梳齿(4)的外端面。
2.如权利要求1所述的硅片清洗用花篮，其特征在于：所述第一横杆(5)为两根且分别通过若干连接筋(51)固定连接于所述第一连接板(31)与所述第二连接板(41)。
3.如权利要求2所述的硅片清洗用花篮，其特征在于：两根所述第一横杆(5)平行设置且在两根所述第一横杆(5)的上侧均设有若干分别与所述第一排梳齿(3)以及所述第二排梳齿(4)相对应的用于固定硅片的立柱(7)。
4.如权利要求1所述的硅片清洗用花篮，其特征在于：所述第二侧板(2)的外侧设有用于防止所述硅片损伤的凸出。
5.如权利要求1所述的硅片清洗用花篮，其特征在于：所述第一排梳齿(3)与所述第二排梳齿(4)的齿间距值至少为硅片厚度值的1.5倍。
6.如权利要求1所述的硅片清洗用花篮，其特征在于：所述第一排梳齿(3)与所述第二排梳齿(4)的齿数均为29个。
7.如权利要求1所述的硅片清洗用花篮，其特征在于：所述第二横杆(6)外侧凸出所述第一排梳齿(3)与所述第二排梳齿(4)的外侧面。
8.如权利要求1所述的硅片清洗用花篮，其特征在于：所述第一侧板(1)呈H型，所述第一侧板(1)的上下端分别设有用于清洗液流通的第一缺口(11)、第二缺口(12)，所述第二侧板(2)上设有用于清洗液流通的第三缺口(21)。
9.如权利要求1所述的硅片清洗用花篮，其特征在于：所述第二侧板(2)的两侧对称设有用于夹持取放的夹持部(22)。
10.如权利要求1所述的硅片清洗用花篮，其特征在于：所述第一横杆(5)下端平行设有与所述第一连接板(31)的底面垂直设置的支脚(10)。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110867407A (zh) * | 2019-11-20 | 2020-03-06 | 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所) | 扩散工艺篮具内成组硅片托起机构的梳齿状托架制作方法 |
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2017
- 2017-11-20 CN CN201721557131.5U patent/CN207489818U/zh active Active
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| CN110867407A (zh) * | 2019-11-20 | 2020-03-06 | 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所) | 扩散工艺篮具内成组硅片托起机构的梳齿状托架制作方法 |
| CN110867407B (zh) * | 2019-11-20 | 2023-04-18 | 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所) | 扩散工艺篮具内成组硅片托起机构的梳齿状托架制作方法 |
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