CN207480945U - 一种切片机的上棒和下片装置 - Google Patents

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李茂欣
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Abstract

本实用新型公开了一种切片机的上棒和下片装置,包括底座,所述底座的顶部固定安装有支撑杆,支撑杆上活动套设有支撑块,支撑块的一侧对称焊接有两个安装块,两个安装块相互靠近的一侧对称开设有两个安装槽,两个安装块之间焊接有同一个铁板,且铁板位于安装槽的下方,安装块的上方设有焊接在支撑杆一侧的固定板,固定板的底部对称开设有四个滑槽,四个滑槽内均滑动安装有滑块,且滑块的一侧延伸至滑槽外。本实用新型结构简单,操作方便,不使用粘合剂来固定晶棒,减小了生产技术人员的工作量,同时在固定晶棒的过程中,通过缓冲装置的配合,避免了因晶棒的变形而造成原材料的浪费。

Description

一种切片机的上棒和下片装置
技术领域
[0001] 本实用新型涉及切片机技术领域,尤其涉及一种切片机的上棒和下片装置。
背景技术
[0002] 切片机,顾名思义是指能把块状的物体通过一定的动作使块状物体变成片状物体 的一种机器。
[0003] 目前,在把晶棒切割成硅片的过程中需要用到切片机进行切割,现有的技术中,大 多数切片机都是采用粘合剂把晶棒固定在切片机上然后提升铁板把晶棒进一步的夹紧,然 后通过切片机的刀片进行切割,这种采用粘合剂的方法把晶棒粘在切片机上,在切片完成 之后很难把切片机上的粘合剂清理干净,给生产技术人员带来了困扰,而且在晶棒的整个 固定过程中没有任何的缓冲装置,很有可能在挤压的过程中造成晶棒的变形,导致材料的 浪费,因此本实用新型就以上问题提出了解决办法。 实用新型内容
[0004] 本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种切片机的上 棒和下片装置。
[0005] 为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
[0006] 一种切片机的上棒和下片装置,包括底座,所述底座的顶部固定安装有支撑杆,支 撑杆上活动套设有支撑块,支撑块的一侧对称焊接有两个安装块,两个安装块相互靠近的 一侧对称开设有两个安装槽,两个安装块之间焊接有同一个铁板,且铁板位于安装槽的下 方,安装块的上方设有焊接在支撑杆一侧的固定板,固定板的底部对称开设有四个滑槽,四 个滑槽内均滑动安装有滑块,且滑块的一侧延伸至滑槽外,固定板的下方对称设有两个活 动块,两个活动块的顶部均对称开设有两个一侧为开口的第一凹槽,第一凹槽内转动安装 有第一连杆,且第一连杆的一端延伸至第一凹槽外,第一连杆位于第一凹槽外的一端转动 安装在滑块上,活动块的顶部焊接有第二连杆,第二连杆的底端开设有第二凹槽,第二凹槽 内滑动安装有活动杆,且活动杆的底端延伸至第二凹槽外,活动杆的底端焊接有夹板。
[0007] 优选的,所述滑槽的两侧内壁上对称开设有卡槽,滑块的两侧焊接有卡块,卡块滑 动安装在卡槽内。
[0008] 优选的,所述滑槽靠近支撑杆的一侧内壁上焊接有第一弹簧,第一弹簧与滑块焊 接固定。
[0009] 优选的,所述第一凹槽内转动安装有第一转轴,第一连杆转动安装在第一转轴上。
[0010] 优选的,位于同一侧的两个滑块上对称开设有两个一侧为开口的第三凹槽,第三 凹槽内转动安装有第二转轴,第一连杆转动安装在第二转轴上。
[0011] 优选的,所述第二凹槽的内壁上对称开设有两个限位槽,活动杆的顶端焊接有限 位块,限位块滑动安装在限位槽内,第二凹槽远离开口的一侧内壁上焊接有第二弹簧,第二 弹簧与限位块焊接固定。
[0012]优选的,所述夹板的底部安装有防滑垫,防滑垫上安装有螺钉,防滑垫通过螺钉固 定安装在夹板上。
[0013]与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
[0014]本实用新型中,通过底座、支撑杆、支撑块、安装块、安装槽、铁板、固定板、滑槽、滑 块、活动块、第一凹槽、第一连杆、第二连杆、第二凹槽、活动杆、夹板共同构建了一种切片机 的上棒和下片装置,通过以上结构的配合,能把晶棒固定在切片机上进行切片,而且固定的 过程中没有使用粘合剂,同时在固定晶棒的过程中,减小了刚性碰撞,对晶棒起到了一定的 缓冲作用,本实用新型结构简单,操作方便,不使用粘合剂来固定晶棒,减小了生产技术人 员的工作量,同时在固定晶棒的过程中,通过缓冲装置的配合,避免了因晶棒的变形而造成 原材料的浪费。
附图说明
[0015] 图1为本实用新型提出的一种切片机的上棒和下片装置的侧视的剖视结构示意 图;
[0016] 图2为本实用新型提出的一种切片机的上棒和下片装置的俯视的剖视结构示意 图;
[0017]图3为本实用新型提出的一种切片机的上棒和下片装置的A部分的剖视结构示意 图。
[0018]图中:1底座、2支撑杆、3支撑块、4安装块、5安装槽、6铁板、7固定板、8滑槽、9滑块、 10活动块、11第一凹槽、12第一连杆、13第二连杆、14第二凹槽、15活动杆、16夹板。
具体实施方式
[0019]下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行 清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的 实施例。
[0020]参照图1-3,一种切片机的上棒和下片装置,包括底座1,底座1的顶部固定安装有 支撑杆2,支撑杆2上活动套设有支撑块3,支撑块3的一侧对称焊接有两个安装块4,两个安 装块4相互靠近的一侧对称开设有两个安装槽5,两个安装块4之间焊接有同一个铁板6,且 铁板6位于安装槽5的下方,安装块4的上方设有焊接在支撑杆2—侧的固定板7,固定板的底 部对称开设有四个滑槽8,四个滑槽8内均滑动安装有滑块9,且滑块9的一侧延伸至滑槽8 夕卜,固定板7的下方对称设有两个活动块10,两个活动块10的顶部均对称开设有两个一侧为 开口的第一凹槽11,第一凹槽11内转动安装有第一连杆12,且第一连杆12的一端延伸至第 一凹槽11外,第一连杆12位于第一凹槽11外的一端转动安装在滑块9上,活动块10的顶部焊 接有第二连杆13,第二连杆I3的底端开设有第二凹槽14,第二凹槽14内滑动安装有活动杆 15,且活动杆15的底端延伸至第二凹槽14外,活动杆15的底端焊接有夹板16,通过底座1、支 撑杆2、支撑块3、安装块4、安装槽5、铁板6、固定板7、滑槽8、滑块9、活动块10、第一凹槽11、 第一连杆12、第二连杆13、第二凹槽14、活动杆15、夹板16共同构建了一种切片机的上棒和 下片装置,通过以上结构的配合,能把晶棒固定在切片机上进行切片,而且固定的过程中没 有使用粘合剂,同时在固定晶棒的过程中,减小了刚性碰撞,对晶棒起到了 一定的缓冲作 用,本实用新型结构简单,操作方便,不使用粘合剂来固定晶棒,减小了生产技术人员的工 作量,同时在固定晶棒的过程中,通过缓冲装置的配合,避免了因晶棒的变形而造成原材料 的浪费。
[0021]滑槽8的两侧内壁上对称开设有卡槽,滑块9的两侧焊接有卡块,卡块滑动安装在 卡槽内,滑槽8靠近支撑杆2的一侧内壁上焊接有第一弹簧,第一弹簧与滑块9焊接固定,第 一凹槽11内转动安装有第一转轴,第一连杆12转动安装在第一转轴上,位于同一侧的两个 滑块9上对称开设有两个一侧为开口的第三凹槽,第三凹槽内转动安装有第二转轴,第一连 杆12转动安装在第二转轴上,第二凹槽14的内壁上对称开设有两个限位槽,活动杆15的顶 端焊接有限位块,限位块滑动安装在限位槽内,第二凹槽14远离开口的一侧内壁上焊接有 第二弹簧,第二弹簧与限位块焊接固定,夹板16的底部安装有防滑垫,防滑垫上安装有螺 钉,防滑垫通过螺钉固定安装在夹板16上,通过底座1、支撑杆2、支撑块3、安装块4、安装槽 5、铁板6、固定板7、滑槽8、滑块9、活动块10、第一凹槽11、第一连杆12、第二连杆13、第二凹 槽14、活动杆15、夹板ie共同构建了一种切片机的上棒和下片装置,通过以上结构的配合, 能把晶棒固定在切片机上进行切片,而且固定的过程中没有使用粘合剂,同时在固定晶棒 的过程中,减小了刚性碰撞,对晶棒起到了一定的缓冲作用,本实用新型结构简单,操作方 便,不使用粘合剂来固定晶棒,减小了生产技术人员的工作量,同时在固定晶棒的过程中, 通过缓冲装置的配合,避免了因晶棒的变形而造成原材料的浪费。
[0022]本实用新型中,是通过旋转锁链带动支撑块3在支撑杆2上上下移动的,在对晶棒 进行切片之前首先要把晶棒放在两个安装槽5之间,让晶棒的两端分别位于两个安装槽5 内,然后利用旋转锁链带动支撑块3在支撑杆2上向上移动,支撑块3带动安装块4向上移动, 安装块4带动铁板6和晶棒同时向上移动,此时在移动的过程中,晶棒和夹板16之间的距离 慢慢减小,当夹板ie与晶棒相接触时,此时继续使晶棒向上移动,晶棒推动活动杆15在第二 凹槽14内移动,活动杆15带动限位块在限位槽内移动,限位块压缩第二弹簧,此时第二连杆 13带动活动块10向上移动,活动块10带动第一连杆12转动,第一连杆12带动滑块9在滑槽8 内移动,滑块9带动卡块在卡槽内移动,滑块9压缩第一弹簧,对晶棒的挤压起到了缓冲作 用,同时持续让旋转锁链带动支撑块3移动板晶棒夹紧,然后利用切片机对晶棒进行切片, 切好的硅片就掉落在铁板6上,然后,通过旋转锁链带动铁板6下移,然后把硅片从铁板6上 取下。
[0023]以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不 局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用 新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范 围之内。

Claims (7)

1.一种切片机的上棒和下片装置,包括底座(1),其特征在于,所述底座⑴的顶部固定 安装有支撑杆(2),支撑杆(2)上活动套设有支撑块(3),支撑块(3)的一侧对称焊接有两个 安装块(4),两个安装块⑷相互靠近的一侧对称开设有两个安装槽(5),两个安装块⑷之 间焊接有同一个铁板(6),且铁板(6)位于安装槽⑸的下方,安装块⑷的上方设有焊接在 支撑杆⑵一侧的固定板(7),固定板⑺的底部对称开设有四个滑槽⑻,四个滑槽⑻内均 滑动安装有滑块(9),且滑块(9)的一侧延伸至滑槽(8)外,固定板(7)的下方对称设有两个 活动块(10),两个活动块(10)的顶部均对称开设有两个一侧为开口的第一凹槽(11),第一 凹槽(11)内转动安装有第一连杆(12),且第一连杆(12)的一端延伸至第一凹槽(11)外,第 一连杆(12)位于第一凹槽(11)外的一端转动安装在滑块(9)上,活动块(10)的顶部焊接有 第二连杆(13),第二连杆(13)的底端开设有第二凹槽(14),第二凹槽(14)内滑动安装有活 动杆(15),且活动杆(15)的底端延伸至第二凹槽(14)外,活动杆(15)的底端焊接有夹板 G6)。
2. 根据权利要求1所述的一种切片机的上棒和下片装置,其特征在于,所述滑槽(8)的 两侧内壁上对称开设有卡槽,滑块(9)的两侧焊接有卡块,卡块滑动安装在卡槽内。
3. 根据权利要求1所述的一种切片机的上棒和下片装置,其特征在于,所述滑槽(8)靠 近支撑杆(2)的一侧内壁上焊接有第一弹簧,第一弹簧与滑块(9)焊接固定。
4. 根据权利要求1所述的一种切片机的上棒和下片装置,其特征在于,所述第一凹槽 (11)内转动安装有第一转轴,第一连杆(12)转动安装在第一转轴上。
5. 根据权利要求1所述的一种切片机的上棒和下片装置,其特征在于,位于同一侧的两 个滑块(9)上对称开设有两个一侧为开口的第三凹槽,第三凹槽内转动安装有第二转轴,第 一连杆(12)转动安装在第二转轴上。
6. 根据权利要求1所述的一种切片机的上棒和下片装置,其特征在于,所述第二凹槽 (14)的内壁上对称开设有两个限位槽,活动杆(15)的顶端焊接有限位块,限位块滑动安装 在限位槽内,第二凹槽(14)远离开口的一侧内壁上焊接有第二弹簧,第二弹簧与限位块焊 接固定。
7. 根据权利要求1所述的一种切片机的上棒和下片装置,其特征在于,所述夹板(16)的 底部安装有防滑垫,防滑垫上安装有螺钉,防滑垫通过螺钉固定安装在夹板(16)上。
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