CN207468718U - 一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的真空抽气机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了磁控溅射镀膜设备技术领域的一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的真空抽气机构，包括真空压力罐，所述真空压力罐的左侧横向设置有连接管，所述连接管的左端设置有连接法兰，所述真空压力罐的顶部左右两侧均设置有密封法兰，本实用新型通过电子压力表和控制开关的相互配合，从而控制正空泵的工作，使真空压力罐中的真空压强能够处于一个平稳的状态，保证了磁控溅射装置对零件修复时的工作真空压强，减少因为真空压强不稳而造成修复零件的品质降低，同时和泄压管外壁的电磁泄压阀相互配合，防止真空压力罐因为压强太大而造成的安全事故，提高对修复零件过程中的安全性。

Description

一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的真空抽气机构

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射镀膜设备技术领域，具体为一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的真空抽气机构。

背景技术

真空镀膜技术已经广泛应用于各类薄膜材料的制备。磁控溅射镀膜技术是众多真空镀膜技术的一种，具有“低温、高速”等优点。由于基于气相过程，所以该技术完全避免了污染物的产生。由于溅射现象的广泛性，可以使用和电沉积、化学沉积相同或相近的材料作为磁控溅射靶材，辅以合适的前处理和后处理工序，在工程用零部件镀层缺陷或损伤位置处选择性的沉积上材质相同、组织结构相似并且结合紧密的修复涂层。

例如中国专利申请号为CN201420201810.9一种用于修复零件表面金属镀层缺陷的磁控溅射装置，具体内容为：一种用于修复零件表面金属镀层缺陷的磁控溅射装置，由下真空室以及与下真空室密封对接的上真空室构成真空腔，在真空腔内架设有样品台，所述样品台通过绝缘支撑连接于下真空室内壁，在样品台下方或内部设置有加热元件，并设置与所述加热元件连接的温度测控装置，所述样品台上还设有用于控制溅射束流的栅孔，所述下真空室的侧部开设有孔并在孔上安装有法兰，下真空室的内腔底部设有磁控溅射源，该装置可以用来对零部件在镀制过程、运输过程以及使用过程中形成的缺陷和损伤进行磁控溅射修复，可以非常经济且有效地实现对超长、超大零件的修复，由于修复过程是在真空条件下完成的，所以可以完全避免传统修复过程的环境污染问题，虽然该装置可以用来对零部件在镀制过程、运输过程以及使用过程中形成的缺陷和损伤进行磁控溅射修复，可以非常经济且有效地实现对超长、超大零件的修复，但是该装置没有对其真空系统进行的具体说明，无法确定其工作真空压力强度，从而造成修复零件的品质降低和因压力过大而造成对修复零件过程中的安全事故。

基于此，本实用新型设计了一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的真空抽气机构，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的真空抽气机构，以解决上述背景技术中提出的虽然该装置可以用来对零部件在镀制过程、运输过程以及使用过程中形成的缺陷和损伤进行磁控溅射修复，可以非常经济且有效地实现对超长、超大零件的修复，但是该装置没有对其真空系统进行的具体说明，无法保证稳定的工作真空压力强度，从而造成修复零件的品质降低和因压力过大而造成对修复零件过程中的安全事故的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的真空抽气机构，包括真空压力罐，所述真空压力罐的左侧横向设置有连接管，所述连接管的左端设置有连接法兰，所述真空压力罐的顶部左右两侧均设置有密封法兰，所述密封法兰的顶部设置有真空抽气管，所述真空抽气管的外壁设置有单向密封阀，所述真空抽气管的顶部设置有真空泵，所述真空压力罐的底部左右两侧均设置有支撑柱，所述支撑柱的底部设置有减震安装座，所述真空压力罐的右侧设置有泄压管，所述泄压管的外壁设置有电磁泄压阀，所述真空压力罐的外壁分别设置有电子压力表和控制开关，所述单向密封阀、真空泵、电磁泄压阀和电子压力表均通过控制开关与外部电源连接。

优选的，所述连接法兰的连接出设置有密封垫圈。

优选的，所述真空泵分别为牵引分子泵和涡轮分子泵。

优选的，所述减震安装座包括安装板，所述安装板的外壁分别开设有安装卡槽和安装孔，且安装孔呈圆周排列在安装卡槽的周围，所述安装板的底部均匀设置有弹性件，所述弹性件的底部设置有稳定座。

优选的，所述泄压管与真空压力罐之间通过密封螺纹连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过电子压力表和控制开关的相互配合，从而控制正空泵的工作，使真空压力罐中的真空压强能够处于一个平稳的状态，保证了磁控溅射装置对零件修复时的工作真空压强，减少因为真空压强不稳而造成修复零件的品质降低，同时和泄压管外壁的电磁泄压阀相互配合，防止真空压力罐因为压强太大而造成的安全事故，提高对修复零件过程中的安全性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型减震安装座结构示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1-真空压力罐，2-连接管，3-连接法兰，4-密封法兰，5-真空抽气管，6-单向密封阀，7-真空泵，8-支撑柱，9-减震安装座，91-安装板，92-安装卡槽，93-安装孔，94-弹性件，95-稳定座，10-泄压管，11-电磁泄压阀，12-电子压力表，13-控制开关。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的真空抽气机构，包括真空压力罐1，真空压力罐1的左侧横向设置有连接管2，连接管2的左端设置有连接法兰3，真空压力罐1的顶部左右两侧均设置有密封法兰4，密封法兰4的顶部设置有真空抽气管5，真空抽气管5的外壁设置有单向密封阀6，真空抽气管5的顶部设置有真空泵7，真空压力罐1的底部左右两侧均设置有支撑柱8，支撑柱8的底部设置有减震安装座9，真空压力罐1的右侧设置有泄压管10，泄压管10的外壁设置有电磁泄压阀11，真空压力罐1的外壁分别设置有电子压力表12和控制开关13，单向密封阀6、真空泵7、电磁泄压阀11和电子压力表12均通过控制开关13与外部电源连接。

其中，连接法兰3的连接出设置有密封垫圈，增加连接法兰3在连接时的密封性，真空泵7分别为牵引分子泵和涡轮分子泵，通过两种不同真空泵7的组合，通过减压时的稳定性，减震安装座9包括安装板91，安装板91的外壁分别开设有安装卡槽92和安装孔93，且安装孔93呈圆周排列在安装卡槽92的周围，安装板91的底部均匀设置有弹性件94，弹性件94的底部设置有稳定座95，减少真空压力罐1在抽真空或泄压时的震动和增加真空压力罐1在抽真空或泄压的稳定性，泄压管10与真空压力罐1之间通过密封螺纹连接，保证真空压力罐1的密封性，同时方便对泄压管10的更换。

本实施例的一个具体应用为：通过连接法兰3与磁控溅射装置真空室的法兰进行密封连接，通过控制开关13接通真空泵7与外部电源接通，使真空泵7能够抽出真空压力罐1中的空气，从而通过连接管2抽出磁控溅射装置真空室的空气，使磁控溅射装置真空室的压力降低，通过电子压力表12监控真空压力罐1中的压强，由于真空压力罐1通过连接管2与磁控溅射装置真空室连接，从而达到监控磁控溅射装置真空室的压强的目的，当压力到达预定的工作压强时，电子压力表12传递给控制开关13一个电信号，使控制开关13断开真空泵7与外部的电源连接，通过打开泄压管10外壁的电磁泄压阀11，使空气能够进入真空压力罐1中，从而达到对真空压力罐1降压的目的，从而防止真空压力罐1因为压强太大而造成的安全事故，提高对修复零件过程中的安全性。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (5)

1.一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的真空抽气机构，包括真空压力罐(1)，其特征在于：所述真空压力罐(1)的左侧横向设置有连接管(2)，所述连接管(2)的左端设置有连接法兰(3)，所述真空压力罐(1)的顶部左右两侧均设置有密封法兰(4)，所述密封法兰(4)的顶部设置有真空抽气管(5)，所述真空抽气管(5)的外壁设置有单向密封阀(6)，所述真空抽气管(5)的顶部设置有真空泵(7)，所述真空压力罐(1)的底部左右两侧均设置有支撑柱(8)，所述支撑柱(8)的底部设置有减震安装座(9)，所述真空压力罐(1)的右侧设置有泄压管(10)，所述泄压管(10)的外壁设置有电磁泄压阀(11)，所述真空压力罐(1)的外壁分别设置有电子压力表(12)和控制开关(13)，所述单向密封阀(6)、真空泵(7)、电磁泄压阀(11)和电子压力表(12)均通过控制开关(13)与外部电源连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的真空抽气机构，其特征在于：所述连接法兰(3)的连接出设置有密封垫圈。

3.根据权利要求1所述的一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的真空抽气机构，其特征在于：所述真空泵(7)分别为牵引分子泵和涡轮分子泵。

4.根据权利要求1所述的一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的真空抽气机构，其特征在于：所述减震安装座(9)包括安装板(91)，所述安装板(91)的外壁分别开设有安装卡槽(92)和安装孔(93)，且安装孔(93)呈圆周排列在安装卡槽(92)的周围，所述安装板(91)的底部均匀设置有弹性件(94)，所述弹性件(94)的底部设置有稳定座(95)。

5.根据权利要求1所述的一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的真空抽气机构，其特征在于：所述泄压管(10)与真空压力罐(1)之间通过密封螺纹连接。