CN207418907U - 一种单晶炉保温热场 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种单晶炉保温热场，包含炉体、保温层、加热器、石墨坩埚、导流筒和排气孔，其特征在于：保温层包含上保温层、中保温层和下保温层，上保温层上方设置有安装台，安装台为圆环形，安装台上设有安装面，安装面内侧设有梯台，安装面外侧设有压环安装梯台，压环安装梯台上方安装有压环，安装面均匀开设有四个卡扣凸部槽，卡扣凸部槽内设有凸部，中保温层位于上保温层下方，下保温层位于炉体底部和中保温层下方；导流筒包括外筒、导流筒保温层、内筒和凸台，外筒内部设置有导流筒保温层，导流筒保温层内部设置有内筒，外筒设置有凸台，凸台为圆环形，凸台外壁面上均匀设置有四个卡扣，卡扣由卡扣直臂和卡扣凸部组成。

Description

一种单晶炉保温热场

技术领域

本实用新型涉及单晶硅制造技术领域，具体涉及一种单晶炉保温热场。

背景技术

单晶硅是集成电路及太阳能电池板等高精尖设备的重要材料，硅单晶炉在拉制硅单晶的过程中，是在保护气体氩气或氮气保护中进行的，石墨加热器对石墨坩埚托内装满多晶硅原料的坩埚进行加热，使坩埚中的多晶硅原料熔化，并达到工艺引晶要求。通常，单晶炉热场加热功率的50％左右用于维持其长晶条件，而其余的能量都消耗在环境中，因此，在单晶炉引晶过程中，大量能量被浪费掉了。同时，常规单晶炉热场的导流筒安装时直接放置在上保温层的安装平台上，在导流筒使用时容易产生滑移，从而增加安全风险。因此，如何减少热场的能量浪费和降低导流筒滑移的风险，是提高单晶炉使用品质的重要问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种单晶炉保温热场，旨在解决热场的能量浪费大和导流筒使用时滑移风险大的问题。

为了实现本实用新型的目的，拟采用以下技术方案：

一种单晶炉保温热场，包含炉体、保温层、加热器、石墨坩埚、导流筒和排气孔，所述炉体内部设有保温层，所述保温层内设置有所述加热器，所述加热器内部设置有所述石墨坩埚，所述石墨坩埚上方设置有所述导流筒，所述导流筒安装在所述保温层上，所述保温层底部设置有所述排气孔，所述排气孔穿过所述炉体，其特征在于：

所述保温层包含上保温层、中保温层和下保温层，所述上保温层上方设置有安装台，所述安装台为圆环形，所述安装台上设有安装面，所述安装面内侧设有梯台，所述安装面外侧设有压环安装梯台，所述压环安装梯台上方安装有压环，所述安装面均匀开设有四个卡扣凸部槽，所述卡扣凸部槽内设有凸部，所述中保温层位于所述上保温层下方，所述下保温层位于所述炉体底部和所述中保温层下方；

所述导流筒包括外筒、导流筒保温层、内筒和凸台，所述外筒内部设置有所述导流筒保温层，所述导流筒保温层内部设置有所述内筒，所述外筒设置有所述凸台，所述凸台为圆环形，所述凸台外壁面上均匀设置有四个卡扣，所述卡扣由卡扣直臂和卡扣凸部组成。

优选的，所述上保温层、所述中保温层和所述下保温层均分为四层，最内层为固化炭毡层，第二层为真空层，第三层也为固化炭毡层，第四层为钢筒层。

优选的，所述上保温层最内层的固化炭毡层厚度为30mm，所述中保温层和所述下保温层最内层的固化炭毡层厚度为20mm。

优选的，所述上保温层、所述中保温层和所述下保温层的真空层厚度为5mm。

优选的，所述上保温层、所述中保温层和所述下保温层第三层的固化炭毡层厚度为20mm。

优选的，所述卡扣凸部位于所述卡扣直臂外侧下部。

优选的，所述卡扣凸部外侧一面为倾斜面，倾角为30~60°。

优选的，所述凸部位于所述卡扣凸部槽内侧和所述梯台外侧。

优选的，所述凸部宽度与卡扣直臂内端面到卡扣凸部的距离相等。

优选的，所述卡扣凸部槽外侧一面为倾斜面，倾角与卡扣凸部倾斜面倾角相同。

本实用新型的有益效果是：

1、热场的上保温层、中保温层和下保温层设置了两个固化炭毡层和一个真空层，可有效减少热场内热量的流失，降低能源的浪费，节约生产成本。

2、通过在导流筒上设计卡扣，可锁紧导流筒，防止导流筒的滑动，减少安全风险，提高设备的使用寿命，增加企业的生产效益。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图；

图2是本实用新型保温层结构示意图；

图3是本实用新型保温层俯视图；

图4是本实用新型安装台结构示意图；

图5是本实用新型保温层AA剖视图；

图6是本实用新型保温层BB剖视图；

图7是本实用新型导流筒结构示意图；

图8是本实用新型导流筒俯视图；

图9是本实用新型卡扣结构示意图。

在所有附图中，相同的附图标记用来表示相同的元件或结构，其中：

1、炉体，2、保温层，3、加热器，4、石墨坩埚，5、导流筒，6、排气孔；

21、安装台，22、上保温层，23、中保温层，24、下保温层，25、压环；

211、安装面，212、梯台，213、卡扣凸部槽，214、凸部，215、压环安装梯台；

51、外筒，52、导流筒保温层，53、内筒，54、凸台，55、卡扣；

551、卡扣直臂，552、卡扣凸部。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。

如图1、2、3、4、5、6、7、8、9所示，一种单晶炉保温热场，包含炉体1、保温层2、加热器3、石墨坩埚4、导流筒5和排气孔6，炉体1内部设有保温层2，保温层2内设置有加热器3，加热器3内部设置有石墨坩埚4，石墨坩埚4上方设置有导流筒5，导流筒5安装在保温层2上，保温层2底部设置有排气孔6，排气孔6穿过炉体1，其特征在于：

保温层2包含上保温层22、中保温层23和下保温层24，上保温层22上方设置有安装台21，安装台21为圆环形，安装台21上设有安装面211，安装面211内侧设有梯台212，安装面211外侧设有压环安装梯台215，压环安装梯台215上方安装有压环25，安装面211均匀开设有四个卡扣凸部槽213，卡扣凸部槽213内设有凸部214，中保温层23位于上保温层22下方，下保温层24位于炉体1底部和中保温层23下方；

导流筒5包括外筒51、导流筒保温层52、内筒53和凸台54，外筒51内部设置有导流筒保温层52，导流筒保温层52内部设置有内筒53，外筒51设置有凸台54，凸台54为圆环形，凸台54外壁面上均匀设置有四个卡扣55，卡扣55由卡扣直臂551和卡扣凸部552组成。

优选的，上保温层22、中保温层23和下保温层24均分为四层，最内层为固化炭毡层，第二层为真空层，第三层也为固化炭毡层，第四层为钢筒层。

优选的，上保温层22最内层的固化炭毡层厚度为30mm，中保温层23和下保温层24最内层的固化炭毡层厚度为20mm。

优选的，上保温层22、中保温层23和下保温层24的真空层厚度为5mm。

优选的，上保温层22、中保温层23和下保温层24第三层的固化炭毡层厚度为20mm。

优选的，卡扣凸部552位于卡扣直臂551外侧下部，卡扣凸部552外侧一面为倾斜面，倾角为30~60°。

优选的，凸部214位于卡扣凸部槽213内侧和梯台212外侧，凸部214宽度与卡扣直臂551内端面到卡扣凸部552的距离相等，卡扣凸部槽213外侧一面为倾斜面，倾角与卡扣凸部552倾斜面倾角相同。

传统的软毡有气孔多的特点，所以在保温热场过程中会造成热量的流失造成热能效的浪费，固化炭毡是固体能有效的保住热量从而降低加热功率，降低了能源的浪费节约了加工成本。

如图2、3、4、5、6所示，热场的上保温层22、中保温层23和下保温层24设置了两个固化炭毡层和一个真空层，因传统的软毡有气孔多的特点，在保温热场过程中会造成热量的流失，使用固化炭毡代替传统的软毡，可以有效的保住热量从而降低加热功率；同时，设置真空层后，可增大上保温层22、中保温层23和下保温层24的传热热阻，从而减少保温层2的热量流失，降低能源的浪费，节约生产成本。

如图1所示，热场导流筒5使用时，卡扣55的卡扣直臂551和卡扣凸部552对应装入凸部214和卡扣凸部槽213的位置，依靠导流筒5自身重力，卡扣55可锁紧在卡扣凸部槽213内，从而将导流筒5锁紧在安装台21上，防止导流筒5在使用时发生滑移，避免因导流筒5的滑移而发生安全事故和照成设备的破坏，提高单晶炉设备的使用寿命。

本热场可有效减少热场内热量的流失，降低能源的浪费，节约生产成本，同时可锁紧导流筒5，防止导流筒5的滑动，减少安全风险，提高设备的使用寿命，增加企业的生产效益。

本领域的技术人员容易理解，以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种单晶炉保温热场，包含炉体（1）、保温层（2）、加热器（3）、石墨坩埚（4）、导流筒（5）和排气孔（6），所述炉体（1）内部设有所述保温层（2），所述保温层（2）内设置有所述加热器（3），所述加热器（3）内部设置有所述石墨坩埚（4），所述石墨坩埚（4）上方设置有所述导流筒（5），所述导流筒（5）安装在所述保温层（2）上，所述保温层（2）底部设置有所述排气孔（6），所述排气孔（6）穿过所述炉体（1），其特征在于：

所述保温层（2）包含上保温层（22）、中保温层（23）和下保温层（24），所述上保温层（22）上方设置有安装台（21），所述安装台（21）为圆环形，所述安装台（21）上设有安装面（211），所述安装面（211）内侧设有梯台（212），所述安装面（211）外侧设有压环安装梯台（215），所述压环安装梯台（215）上方安装有压环（25），所述安装面（211）均匀开设有四个卡扣凸部槽（213），所述卡扣凸部槽（213）内设有凸部（214），所述中保温层（23）位于所述上保温层（22）下方，所述下保温层（24）位于所述炉体（1）底部和所述中保温层（23）下方；

所述导流筒（5）包括外筒（51）、导流筒保温层（52）、内筒（53）和凸台（54），所述外筒（51）内部设置有所述导流筒保温层（52），所述导流筒保温层（52）内部设置有所述内筒（53），所述外筒（51）设置有所述凸台（54），所述凸台（54）为圆环形，所述凸台（54）外壁面上均匀设置有四个卡扣（55），所述卡扣（55）由卡扣直臂（551）和卡扣凸部（552）组成。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉保温热场，其特征在于：所述上保温层（22）、所述中保温层（23）和所述下保温层（24）均分为四层，最内层为固化炭毡层，第二层为真空层，第三层也为固化炭毡层，第四层为钢筒层。

3.根据权利要求2所述的一种单晶炉保温热场，其特征在于：所述上保温层（22）最内层的固化炭毡层厚度为30mm，所述中保温层（23）和所述下保温层（24）最内层的固化炭毡层厚度为20mm。

4.根据权利要求2所述的一种单晶炉保温热场，其特征在于：所述上保温层（22）、所述中保温层（23）和所述下保温层（24）的真空层厚度为5mm。

5.根据权利要求2所述的一种单晶炉保温热场，其特征在于：所述上保温层（22）、所述中保温层（23）和所述下保温层（24）第三层的固化炭毡层厚度为20mm。

6.根据权利要求1所述的一种单晶炉保温热场，其特征在于：所述卡扣凸部（552）位于所述卡扣直臂（551）外侧下部。

7.根据权利要求6所述的一种单晶炉保温热场，其特征在于：所述卡扣凸部（552）外侧一面为倾斜面，倾角为30~60°。

8.根据权利要求1所述的一种单晶炉保温热场，其特征在于：所述凸部（214）位于所述卡扣凸部槽（213）内侧和所述梯台（212）外侧。

9.根据权利要求8所述的一种单晶炉保温热场，其特征在于：所述凸部（214）宽度与卡扣直臂（551）内端面到卡扣凸部（552）的距离相等。

10.根据权利要求8所述的一种单晶炉保温热场，其特征在于：所述卡扣凸部槽（213）外侧一面为倾斜面，倾角与卡扣凸部（552）倾斜面倾角相同。