CN207418906U - 一种单晶炉卡扣式导流筒 - Google Patents

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王礼彬
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Abstract

本实用新型提供一种单晶炉卡扣式导流筒,涉及单晶炉技术领域,包括导流筒和安装台,其特征在于:导流筒包括外筒、保温层、内筒和凸台,外筒内部设置有保温层,保温层内部设置有内筒,外筒设置有凸台,凸台为圆环形,凸台圆环外壁面上设置有卡扣,安装台为圆环形,安装台上设有安装面,安装面内侧设有梯台,安装面上开设有卡槽,卡槽形状与卡扣形状相契合,卡扣安装在卡槽内。本导流筒采用卡扣式安装,结构简单,使用便捷,可锁定导流筒的位置,防止导流筒的滑移,从而减少安全风险,提高设备的使用寿命,增加企业的生产效益。

Description

一种单晶炉卡扣式导流筒
技术领域
本实用新型涉及单晶炉技术领域,具体涉及一种单晶炉卡扣式导流筒。
背景技术
单晶硅是集成电路及太阳能电池板等高精尖设备的重要材料,硅单晶炉在拉制硅单晶的过程中,是在保护气体氩气或氮气保护中进行的,石墨加热器对石墨坩埚托内装满多晶硅原料的坩埚进行加热,使坩埚中的多晶硅原料熔化,并达到工艺引晶要求。此时,单晶硅晶种通过导流筒直接插入到熔融的多晶硅的溶液里,逐步引导坩埚内的熔融多晶硅溶液按照单晶硅晶种的原子排列方式进行结晶。导流筒是单晶硅生长炉中不可缺少的重要部件,对于单晶硅材料的生长具有非常重要的作用。传统的导流筒安装时直接放置在安装台上,在导流筒使用时容易产生滑移,从而增加安全风险,严重时甚至照成设备的破坏,影响设备使用寿命。
实用新型内容
本实用新型提供一种单晶炉卡扣式导流筒,旨在解决导流筒使用时的安全风险高的问题,从而提高设备的使用寿命,增加企业的生产效益。
为了实现本实用新型的目的,拟采用以下技术方案:
一种单晶炉卡扣式导流筒,包括导流筒和安装台,其特征在于:
导流筒包括外筒、保温层、内筒和凸台,外筒内部设置有保温层,保温层内部设置有内筒,外筒设置有凸台,凸台为圆环形,凸台圆环外壁面上设置有卡扣,
安装台为圆环形,安装台上设有安装面,安装面内侧设有梯台,安装面上开设有卡槽,卡槽形状与卡扣形状相契合,卡扣安装在卡槽内。
优选的,卡扣数量为四个,四个卡扣均匀分布在凸台外壁面上。
优选的,卡扣由卡扣直臂和卡扣凸部组成。卡扣凸部位于卡扣直臂外侧下部,卡扣凸部外侧一面为倾斜面,倾角为30~60°。
优选的,卡槽数量为四个,四个卡槽均匀分布在安装面上。
优选的,卡槽由卡扣凸部槽和凸部组成,凸部位于卡扣凸部槽内侧和梯台外侧,凸部宽度与卡扣直臂内端面到卡扣凸部的距离相等。
优选的,卡扣凸部槽外侧一面为倾斜面,倾角与卡扣凸部倾斜面倾角相同。
本实用新型的有益效果是:本导流筒采用卡扣式安装,结构简单,使用便捷,可锁定导流筒的位置,防止导流筒的滑移,从而减少安全风险,提高设备的使用寿命,增加企业的生产效益。
附图说明
图1是本实用新型主意图;
图2是本实用新型俯视图;
图3是本实用新型安装台俯视图;
图4是本实用新型安装台结构示意图;
图5是本实用新型导流筒俯视图;
图6是本实用新型卡扣结构示意图。
在所有附图中,相同的附图标记用来表示相同的元件或结构,其中:
1、导流筒:11、外筒,12、保温层,13、内筒,14、凸台,15、卡扣,151、卡扣直臂,152、卡扣凸部;
2、安装台:21、安装面,22、梯台,23、卡槽,231、卡扣凸部槽,232、凸部。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。
如图1、2、3、4、5、6所示,一种单晶炉卡扣式导流筒,包括导流筒1和安装台2,其特征在于:
导流筒1包括外筒11、保温层12、内筒13和凸台14,外筒11内部设置有保温层12,保温层12内部设置有内筒13,外筒11设置有凸台14,凸台14为圆环形,凸台14圆环外壁面上设置有卡扣15,
安装台2为圆环形,安装台2上设有安装面21,安装面21内侧设有梯台22,安装面21上开设有卡槽23,卡槽23形状与卡扣15形状相契合,卡扣15安装在卡槽23内。
优选的,卡扣15数量为四个,均匀分布在凸台14外壁面上。
优选的,卡扣15由卡扣直臂151和卡扣凸部152组成,卡扣凸部152位于卡扣直臂151外侧下部,卡扣凸部152外侧一面为倾斜面,倾角为30~60°。
优选的,卡槽23数量为四个,均匀分布在安装面21上。
优选的,卡槽23由卡扣凸部槽231和凸部232组成,凸部232位于卡扣凸部槽231内侧和梯台21外侧,凸部232宽度与卡扣直臂151内端面到卡扣凸部152的距离相等,卡扣凸部槽231外侧一面为倾斜面,倾角与卡扣凸部152倾斜面倾角相同。
本导流筒1使用时,安装台2固定在单晶炉壁面上,将四个卡扣15装入对应四个卡槽23内,依靠导流筒1自身重力,卡扣15可锁紧在卡槽23内,从而将导流筒1位置锁定并锁紧导流筒1,防止导流筒1在使用时发生滑动,从而避免因导流筒1的滑动而发生安全事故和照成设备的破坏,提高单晶炉设备的使用寿命。
本导流筒1采用卡扣式安装,结构简单,使用便捷,可锁定导流筒1的位置,防止导流筒1的滑动,从而减少安全风险,提高设备的使用寿命,增加企业的生产效益。
本领域的技术人员容易理解,以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种单晶炉卡扣式导流筒,包括导流筒(1)和安装台(2),其特征在于:
所述导流筒(1)包括外筒(11)、保温层(12)、内筒(13)和凸台(14),所述外筒(11)内部设置有保温层(12),所述保温层(12)内部设置有内筒(13),所述外筒(11)设置有凸台(14),所述凸台(14)为圆环形,所述凸台(14)圆环外壁面上设置有卡扣(15),所述卡扣(15)由卡扣直臂(151)和卡扣凸部(152)组成;
所述安装台(2)为圆环形,安装台(2)上设有安装面(21),所述安装面(21)内侧设有梯台(22),所述安装面(21)上开设有卡槽(23),所述卡槽(23)形状与卡扣(15)形状相契合,所述卡扣(15)安装在卡槽(23)内。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉卡扣式导流筒,其特征在于:所述卡扣(15)数量为四个。
3.根据权利要求2所述的一种单晶炉卡扣式导流筒,其特征在于:四个所述卡扣(15)均匀分布在凸台(14)外壁面上。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉卡扣式导流筒,其特征在于:所述卡扣凸部(152)位于卡扣直臂(151)外侧下部。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉卡扣式导流筒,其特征在于:所述卡扣凸部(152)外侧一面为倾斜面,倾角为30~60°。
6.根据权利要求1所述的一种单晶炉卡扣式导流筒,其特征在于:所述卡槽(23)数量为四个。
7.根据权利要求1所述的一种单晶炉卡扣式导流筒,其特征在于:四个所述卡槽(23)均匀分布在安装面(21)上。
8.根据权利要求1所述的一种单晶炉卡扣式导流筒,其特征在于:所述卡槽(23)由卡扣凸部槽(231)和凸部(232)组成。
9.根据权利要求8所述的一种单晶炉卡扣式导流筒,其特征在于:所述凸部(232)位于卡扣凸部槽(231)内侧和梯台(22)外侧,所述凸部(232)宽度与卡扣直臂(151)内端面到卡扣凸部(152)的距离相等。
10.根据权利要求8所述的一种单晶炉卡扣式导流筒,其特征在于:所述卡扣凸部槽(231)外侧一面为倾斜面,倾角与卡扣凸部(152)倾斜面倾角相同。
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