CN207393438U - 一种真空泵n+1系统装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空泵N+1系统装置，包括：若干炉管设备；若干真空泵，每一真空泵分别与一炉管设备相连接，每一真空泵和一炉管设备之间设有一单向阀；若干预警装置，每一真空泵设置有一预警装置；一真空备泵，若干炉管设备均与真空备泵相连接，真空备泵与若干炉管设备之间均设有一电磁阀，真空备泵与若干预警装置均信号连接，若干预警装置分别与若干电磁阀信号连接；一排放装置，若干真空泵和真空备泵均与排放装置相连接。本实用新型加装后真空泵N+1系统装置后，当系统中某一台后机台真空泵出现异常时，所对应的主机台真空将不在后影响，避免产品因真空异常造成回灌而报废。

Description

一种真空泵N+1系统装置

技术领域

本实用新型涉及真空泵的技术领域，尤其涉及一种真空泵N+1系统装置。

背景技术

低压炉管制程必须需要在稳定的真空环境下进行，真空泵是用来为炉管主机台提供真空环境的机械设备；真空泵运行过程中会受到诸多因素影响而停止运行，例如：管道堵塞，控制信号异常，制程副产物掉落导致卡死；现有的低压炉管主机台与真空泵采用一对一安装方式，一旦真空泵在设备制程过程中出现异常将直接损坏低压炉管主机台。

实用新型内容

针对上述产生的问题，本实用新型的目的在于提供一种真空泵N+1系统装置。

为了实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种真空泵N+1系统装置，其中，包括：若干炉管设备；若干真空泵，每一所述真空泵分别与一所述炉管设备相连接，每一所述真空泵和一所述炉管设备之间设有一单向阀；若干预警装置，每一所述真空泵设置有一所述预警装置；一真空备泵，若干所述炉管设备均与所述真空备泵相连接，所述真空备泵与若干所述炉管设备之间均设有一电磁阀，所述真空备泵与若干所述预警装置均信号连接，若干所述预警装置分别与若干所述电磁阀信号连接；一排放装置，若干所述真空泵和所述真空备泵均与所述排放装置相连接。

上述的真空泵N+1系统装置，其中，每一所述单向阀的方向为所述炉管设备至所述真空泵。

上述的真空泵N+1系统装置，其中，每一所述炉管设备与一所述真空泵均通过第一管道连接。

上述的真空泵N+1系统装置，其中，还包括若干第二管道，若干所述第二管道的一端分别与所述真空备泵相连接，每一所述第一管道分别与一所述第二管道相连通。

上述的真空泵N+1系统装置，其中，每一所述第一管道与一所述第二管道相连通的交接点位于一所述单向阀和所述炉管设备之间。

上述的真空泵N+1系统装置，其中，若干所述真空泵和所述真空备泵均与所述排放装置通过管道连接。

上述的真空泵N+1系统装置，其中，所述排放装置上开设有若干进气口和一排气口，若干所述真空泵和所述真空备泵分别与若干所述进气口连接。

本实用新型由于采用上述技术，使之与现有技术相比具有的积极效果是：

(1)本实用新型加装后真空泵N+1系统装置后，当系统中某一台后机台真空泵出现异常时，所对应的主机台真空将不在后影响，避免产品因真空异常造成回灌而报废。

附图说明

图1是本实用新型的真空泵N+1系统装置的流程示意图。

附图中：1、炉管设备；2、真空泵；3、真空备泵；4、单向阀；5、电磁阀；6、排放装置；7、第一管道；8、第二管道。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。

图1是本实用新型的真空泵N+1系统装置的流程示意图，请参见图1所示，示出了一种较佳实施例的真空泵N+1系统装置，包括有：若干炉管设备1和若干真空泵2，每一真空泵2分别与一炉管设备1相连接，每一真空泵2和一炉管设备1之间设有一单向阀4，炉管设备1要在稳定的真空环境下运行，若干真空泵2用于为炉管设备1抽真空。

此外，作为一种较佳的实施例，真空泵N+1系统装置还包括：若干预警装置(图中未示出)，每一真空泵2设置有一预警装置，预警装置监测真空泵2运行情况。

另外，作为一种较佳的实施例，真空泵N+1系统装置还包括：一真空备泵3，若干炉管设备1均与真空备泵3相连接，真空备泵3与若干炉管设备1之间均设有一电磁阀5，真空备泵3与若干预警装置均信号连接，若干预警装置分别与若干电磁阀5信号连接，当预警装置检测到某一或多个真空泵2运行异常时，真空备泵3会立即开启，同时与该真空泵2相对应第二管道8上的一电磁阀5会打开，炉管设备1的真空环境由其余真空泵2和真空备泵3同时提供，当真空泵2停机时，第一管道7上的单向阀4会将第一管道关闭保证真空不漏，确保当前在生产的产品不受影响。

进一步，作为一种较佳的实施例，真空泵N+1系统装置还包括：一排放装置6，若干真空泵2和真空备泵3均与排放装置6相连接，排放装置6用于排放气体。

此外，作为一种较佳的实施例，每一单向阀4的方向为炉管设备1至真空泵2。

另外，作为一种较佳的实施例，每一炉管设备1与一真空泵2均通过第一管道7连接。

以上仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围。

本实用新型在上述基础上还具有如下实施方式：

本实用新型的进一步实施例中，还包括若干第二管道8，若干第二管道8的一端分别与真空备泵3相连接，每一第一管道7分别与一第二管道8相连通。

本实用新型的进一步实施例中，每一第一管道7与一第二管道8相连通的交接点位于一单向阀4和炉管设备1之间。

本实用新型的进一步实施例中，若干真空泵2和真空备泵3均与排放装置6通过管道连接。

本实用新型的进一步实施例中，排放装置6上开设有若干进气口(图中未示出)和一排气口(图中未示出)，若干真空泵2和真空备泵3分别与若干进气口连接。

以上仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。

Claims (7)

1.一种真空泵N+1系统装置，其特征在于，包括：

若干炉管设备；

若干真空泵，每一所述真空泵分别与一所述炉管设备相连接，每一所述真空泵和一所述炉管设备之间设有一单向阀；

若干预警装置，每一所述真空泵设置有一所述预警装置；

一真空备泵，若干所述炉管设备均与所述真空备泵相连接，所述真空备泵与若干所述炉管设备之间均设有一电磁阀，所述真空备泵与若干所述预警装置均信号连接，若干所述预警装置分别与若干所述电磁阀信号连接；

一排放装置，若干所述真空泵和所述真空备泵均与所述排放装置相连接。

2.根据权利要求1所述的一种真空泵N+1系统装置，其特征在于，每一所述单向阀的方向为所述炉管设备至所述真空泵。

3.根据权利要求1所述的一种真空泵N+1系统装置，其特征在于，每一所述炉管设备与一所述真空泵均通过第一管道连接。

4.根据权利要求3所述的一种真空泵N+1系统装置，其特征在于，还包括若干第二管道，若干所述第二管道的一端分别与所述真空备泵相连接，每一所述第一管道分别与一所述第二管道相连通。

5.根据权利要求4所述的一种真空泵N+1系统装置，其特征在于，每一所述第一管道与一所述第二管道相连通的交接点位于一所述单向阀和所述炉管设备之间。

6.根据权利要求1所述的一种真空泵N+1系统装置，其特征在于，若干所述真空泵和所述真空备泵均与所述排放装置通过管道连接。

7.根据权利要求1所述的一种真空泵N+1系统装置，其特征在于，所述排放装置上开设有若干进气口和一排气口，若干所述真空泵和所述真空备泵分别与若干所述进气口连接。