CN207366606U - 一种具有刷针功能的探针卡 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种具有刷针功能的探针卡，属于半导体制造技术领域，包括探针支架、探针卡基板、探针，探针支架的中部包括一个圆形的出针窗口，探针卡基板设置于探针支架的上方，探针设置于探针支架上并伸入到出针窗口内，在探针支架内设置一个围绕出针窗口设置的轨道，将一连接可旋转的嵌设于轨道内，并于连接上连接一中部设有通孔的固定支架，毛刷通过一个伸缩单元设置在固定支架上并伸入到出针窗口中，再设置一个驱动装置，驱动固定支架旋转。上述技术方案的有益效果是：通过在探针卡的出针窗口处设置可转动可伸缩的毛刷，在探测器的传片间隙使毛刷伸出清理探针，可以同时清理探针的针臂和针尖，减少误测率和重测率，提高测试效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种具有刷针功能的探针卡。
背景技术
为了进行形成于晶圆的各半导体器件的检查，使用探测器作为检查装置。探测器具备载置晶圆的基台和能够与该基台相对的探针卡。探针卡包括探针支架、探针卡基板、探针，探针支架的中部包括一个圆形的出针窗口，探针卡基板设置于探针支架的上方，探针设置于探针支架上并伸入到出针窗口内，在探测器中，当载置于基台上的晶圆和探针卡相对时，探针卡的各个探针与半导体器件的电极焊盘和焊锡凸块接触，使电从探针向与各电极焊盘和各焊锡凸块连接的半导体器件的电路流动，由此来检查该电路的导通状态等。
在测试过程中，探针上会附着脏物导致测试结果异常，因此在测试过程中需要对探针及时清理。现有技术中，一般探测器测试2片或3片晶圆后停机，由工作人员使用清针纸手动清理探针，该方法只能达到清洁探针尖的作用，无法有效的清洁探针臂上的脏物，可能到至相邻的探针粘连，导致探针尖无法对准相应的电极焊盘和焊锡凸块，从而导致测试数据异常，提高误测率和重测率，降低测试产能；另外，在清洁过程中，机台不做晶圆的传送，测试效率低。
发明内容
根据现有技术中存在的上述问题，现提供一种能够自动清洁探针，提高晶圆测试效率的具有刷针功能的探针卡。本实用新型采用如下技术方案：
一种具有刷针功能的探针卡，包括探针支架、探针卡基板、探针，所述探针支架的中部包括一个圆形的出针窗口，所述探针卡基板设置于所述探针支架的上方，所述探针设置于所述探针支架上并伸入到所述出针窗口内，所述探针卡还包括：
一圆环形的第一轨道，于所述探针支架的内部环绕所述出针窗口设置；
一圆环形的第二轨道，于所述探针支架背向所述探针基板的一面上环绕所述出针窗口设置，所述第二轨道与所述第一轨道连通并且所述第二轨道的宽度小于所述第一轨道的宽度；
一连接件，包括一两端贯通的圆筒和连接于所述圆筒的一端上的圆环，所述圆环与所述圆筒分别与所述第一轨道和所述第二轨道适配，并分别可旋转的嵌设于所述第一轨道和所述第二轨道中；
固定支架，连接于所述圆筒未连接所述圆环的一端，于所述固定支架上对应于所述出针窗口的位置设置一圆形的通孔；
伸缩单元，设置于所述固定支架上，所述伸缩单元设置有一处于伸出状态的第一位置及一处于缩回状态的第二位置；
毛刷，设置于所述伸缩单元上，并于所述伸缩单元处于所述第一位置处接触所述探针，以及于所述伸缩单元处于所述第二位置处位于所述通孔的边缘；
驱动装置，连接所述固定支架用以驱动所述固定支架旋转。
较佳的，上述探针卡中，所述固定支架为一第一齿轮。
较佳的，上述探针卡中，所述驱动装置包括：
电机，设置于所述探针卡基板上，所述电机的旋转轴穿过所述探针卡基板向下延伸；
第二齿轮，与所述电机的旋转轴连接；
所述第二齿轮与所述第一齿轮相互啮合。
较佳的，上述探针卡中，所述伸缩单元为气动伸缩杆，所述伸缩单元未连接所述毛刷的一端通过气管连通外部气源。
较佳的，上述探针卡中，所述毛刷通过螺纹与所述伸缩单元连接。
较佳的，上述探针卡中，所述伸缩单元沿所述通孔的半径方向伸出及缩回。
上述技术方案的有益效果是：通过在探针卡的出针窗口处设置可转动可伸缩的毛刷，在探测器的传片间隙使毛刷伸出清理探针，可以同时清理探针的针臂和针尖，减少误测率和重测率，提高测试效率。
附图说明
图1是本实用新型的较佳的实施例中，一种具有刷针功能的探针卡的剖面图；
图2是本实用新型的较佳的实施例中，一种具有刷针功能的探针卡的剖面图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。
本实用新型的较佳的实施例中，如图1和图2所示，提供一种具有刷针功能的探针卡，包括探针支架1、探针卡基板2、探针3，探针支架1的中部包括一个圆形的出针窗口11，探针卡基板2设置于探针支架1的上方，探针 3设置于探针支架1上并伸入到出针窗口11内，探针还与探针卡基板2电性连接，探针卡还包括：
一圆环形的第一轨道12，于探针支架1的内部环绕出针窗口11设置；
一圆环形的第二轨道13，于探针支架1背向探针基板2的一面上环绕出针窗口11设置，第二轨道13与第一轨道12连通并且第二轨道13的宽度小于第一轨道12的宽度；
一连接件，包括一两端贯通的圆筒81和连接于圆筒81的一端上的圆环 82，圆环82与圆筒81分别与第一轨道12和第二轨道13适配，并分别可旋转的嵌设于第一轨道12和第二轨道13中；
固定支架4，连接于圆筒81未连接圆环82的一端，于固定支架4上对应于出针窗口11的位置设置一圆形的通孔41；
伸缩单元5，设置于固定支架4上，伸缩单元5设置有一处于伸出状态的第一位置及一处于缩回状态的第二位置；
毛刷6，设置于伸缩单元5上，并于伸缩单元5处于第一位置处接触探针3，以及于伸缩单元5处于第二位置处位于通孔41的边缘；
驱动装置，连接固定支架4用以驱动固定支架4旋转。
本实施例中，通过在探针支架1上设置第一轨道12和第二轨道13，将一连接件可旋转的嵌设于第一轨道12和第二轨道13中，再将一固定支架4 连接于连接件未连接探针支架1的一端，从而使得固定支架4可旋转地设置于探针支架1的下方，再将一毛刷6通过一伸缩单元5固定在固定支架4上，毛刷6位于出针窗口11内。如图1所示，在测试过程中，伸缩单元5处于缩回状态时，毛刷6位于通孔41的边缘处，不接触探针3，不影响晶圆测试；如图2所示，当探测器测试完一片晶圆，等待下一片晶圆载入的过程中，伸缩单元5处于伸出状态，使得毛刷6接触探针3，同时驱动装置驱动固定支架4带动毛刷6转动，使毛刷6与探针3之间产生摩擦，从而达到清理探针 3的作用。进一步地，本实施例中，毛刷6长度与探针3的垂直高度相等，可以同清理探针3的针臂和针尖。
上述技术方案中，通过在探针卡的出针窗口11处设置可转动可伸缩的毛刷6，在探测器的传片间隙使毛刷6伸出清理探针3，可以同时清理探针3 的针臂和针尖，减少误测率和重测率，提高测试效率；同时减少因探针3不清洁导致的晶圆报废。
本实用新型的较佳的实施例中，固定支架4为一第一齿轮。
本实用新型的较佳的实施例中，驱动装置包括：
电机71，设置于探针卡基板2上，电机71的旋转轴72穿过探针卡基板 2向下延伸；
第二齿轮73，与电机71的旋转轴72连接；
第二齿轮73与第一齿轮(固定支架4)相互啮合。
本实用新型的较佳的实施例中，伸缩单元5为气动伸缩杆，伸缩单元5 未连接毛刷6的一端通过气管连通外部气源。
本实用新型的较佳的实施例中，毛刷6通过螺纹与伸缩单元5连接，方便毛刷6磨损后对其进行更换。
本实用新型的较佳的实施例中，伸缩单元5沿通孔的半径方向伸出及缩回。
以上所述仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。
Claims (6)
1.一种具有刷针功能的探针卡，包括探针支架、探针卡基板、探针，所述探针支架的中部包括一个圆形的出针窗口，所述探针卡基板设置于所述探针支架的上方，所述探针设置于所述探针支架上并伸入到所述出针窗口内，其特征在于，所述探针卡还包括：
一圆环形的第一轨道，于所述探针支架的内部环绕所述出针窗口设置；
一圆环形的第二轨道，于所述探针支架背向所述探针基板的一面上环绕所述出针窗口设置，所述第二轨道与所述第一轨道连通并且所述第二轨道的宽度小于所述第一轨道的宽度；
一连接件，包括一两端贯通的圆筒和连接于所述圆筒的一端上的圆环，所述圆环与所述圆筒分别与所述第一轨道和所述第二轨道适配，并分别可旋转的嵌设于所述第一轨道和所述第二轨道中；
固定支架，连接于所述圆筒未连接所述圆环的一端，于所述固定支架上对应于所述出针窗口的位置设置一圆形的通孔；
伸缩单元，设置于所述固定支架上，所述伸缩单元设置有一处于伸出状态的第一位置及一处于缩回状态的第二位置；
毛刷，设置于所述伸缩单元上，并于所述伸缩单元处于所述第一位置处接触所述探针，以及于所述伸缩单元处于所述第二位置处位于所述通孔的边缘；
驱动装置，连接所述固定支架用以驱动所述固定支架旋转。
2.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述固定支架为一第一齿轮。
3.如权利要求2所述的探针卡，其特征在于，所述驱动装置包括：
电机，设置于所述探针卡基板上，所述电机的旋转轴穿过所述探针卡基板向下延伸；
第二齿轮，与所述电机的旋转轴连接；
所述第二齿轮与所述第一齿轮相互啮合。
4.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述伸缩单元为气动伸缩杆，所述伸缩单元未连接所述毛刷的一端通过气管连通外部气源。
5.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述毛刷通过螺纹与所述伸缩单元连接。
6.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述伸缩单元沿所述通孔的半径方向伸出及缩回。
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| CN201721158395.3U CN207366606U (zh) | 2017-09-11 | 2017-09-11 | 一种具有刷针功能的探针卡 |
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| CN (1) | CN207366606U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108761151A (zh) * | 2018-08-10 | 2018-11-06 | 浙江金连接科技有限公司 | 一种测试探针用磷青铜套筒 |
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2017
- 2017-09-11 CN CN201721158395.3U patent/CN207366606U/zh active Active
Cited By (2)
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| CN108761151A (zh) * | 2018-08-10 | 2018-11-06 | 浙江金连接科技有限公司 | 一种测试探针用磷青铜套筒 |
| CN108761151B (zh) * | 2018-08-10 | 2023-10-31 | 浙江金连接科技股份有限公司 | 一种测试探针用磷青铜套筒 |
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