CN207338325U - 一种半导体制造用湿法清洗设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体制造用湿法清洗设备，包括湿法清洗机机体外壳，所述湿法清洗机机体外壳的前表面一侧设置有清洗机开合门，所述湿法清洗机机体外壳的前表面另一侧上端设置有清洗机显示屏，所述湿法清洗机机体外壳的前表面另一侧下端设置有清洗机控制柜柜门，所述清洗机控制柜柜门与湿法清洗机机体外壳的连接位置处设置有连接铰链，所述清洗机控制柜柜门的后表面设置有清洗机控制按钮；通过设计了安装在湿法清洗机机体外壳一侧的吹干机便于去除清洗后的半导体上的水渍，解决了现有的半导体制造用湿法清洗设备均是使用在线甩干，由于离心力的问题，易将半导体上的微小零件甩出，从而使得半导体损坏的问题。

Description

一种半导体制造用湿法清洗设备

技术领域

本实用新型属于半导体技术领域，具体涉及一种半导体制造用湿法清洗设备。

背景技术

半导体，指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种。物质存在的形式多种多样，固体、液体、气体、等离子体等等。我们通常把导电性差的材料，如煤、人工晶体、琥珀、陶瓷等称为绝缘体。而把导电性比较好的金属如金、银、铜、铁、锡、铝等称为导体。可以简单的把介于导体和绝缘体之间的材料称为半导体。与导体和绝缘体相比，半导体材料的发现是最晚的，直到20世纪30年代，当材料的提纯技术改进以后，半导体的存在才真正被学术界认可。本征半导体：不含杂质且无晶格缺陷的半导体称为本征半导体。

现有的半导体制造用湿法清洗设备在清洗完成后均是使用在线甩干，而半导体在甩干的过程中由于离心力的关系，易将半导体上的微小零件甩出，从而导致半导体出现问题，无法使用的问题，为此我们提出一种半导体制造用湿法清洗设备。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体制造用湿法清洗设备，以解决上述背景技术中提出现有的半导体制造用湿法清洗设备在清洗完成后均是使用在线甩干，而半导体在甩干的过程中由于离心力的关系，易将半导体上的微小零件甩出，从而导致半导体出现问题，无法使用的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体制造用湿法清洗设备，包括湿法清洗机机体外壳，所述湿法清洗机机体外壳的前表面一侧设置有清洗机开合门，所述湿法清洗机机体外壳的前表面另一侧上端设置有清洗机显示屏，所述湿法清洗机机体外壳的前表面另一侧下端设置有清洗机控制柜柜门，所述清洗机控制柜柜门与湿法清洗机机体外壳的连接位置处设置有连接铰链，所述清洗机控制柜柜门的后表面设置有清洗机控制按钮，所述湿法清洗机机体外壳的下表面设置有清洗机支撑脚，所述湿法清洗机机体外壳的一侧设置有吹干机机体外壳，所述吹干机机体外壳的一侧设置有驱动电机控制开关，所述吹干机机体外壳的内部设置有驱动电机，所述驱动电机的一端设置有扇叶，所述驱动电机的外表面设置有驱动电机固定支架，所述吹干机机体外壳的下方设置有半导体固定网，所述半导体固定网的两端均设置有固定网滑带，所述固定网滑带的上表面和下表面均设置有固定网夹紧栓，所述固定网夹紧栓的一端设置有固定网夹紧片，所述固定网滑带的前表面设置有固定网旋转基座，所述半导体固定网的下方设置有废物承接盒，所述废物承接盒的两端均设置有承接盒滑带。

优选的，所述承接盒滑带的剖面形状为“L”形。

优选的，所述固定网夹紧栓的外表面设置有螺纹凹槽。

优选的，所述固定网旋转基座与固定网滑带通过转轴转动连接。

优选的，所述固定网滑带的上表面和下表面均设置有圆形孔洞，且孔洞内壁设置有螺纹凹槽，固定网滑带的剖面形状为“U”字形。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

（1）通过设计了安装在湿法清洗机机体外壳一侧的吹干机便于去除清洗后的半导体上的水渍，解决了现有的半导体制造用湿法清洗设备均是使用在线甩干，由于离心力的问题，易将半导体上的微小零件甩出，从而使得半导体损坏的问题。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的吹干机机体外壳侧面剖视结构示意图；

图中：1-湿法清洗机机体外壳、2-清洗机开合门、3-清洗机显示屏、4-清洗机控制柜柜门、5-清洗机控制按钮、6-连接铰链、7-清洗机支撑脚、8-承接盒滑带、9-固定网夹紧栓、10-固定网旋转基座、11-固定网滑带、12-驱动电机控制开关、13-吹干机机体外壳、14-扇叶、15-固定网夹紧片、16-驱动电机、17-驱动电机固定支架、18-半导体固定网、19-废物承接盒。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1和图2，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体制造用湿法清洗设备，包括湿法清洗机机体外壳1，湿法清洗机机体外壳1的前表面一侧设置有清洗机开合门2，湿法清洗机机体外壳1的前表面另一侧上端设置有清洗机显示屏3，湿法清洗机机体外壳1的前表面另一侧下端设置有清洗机控制柜柜门4，清洗机控制柜柜门4与湿法清洗机机体外壳1的连接位置处设置有连接铰链6，清洗机控制柜柜门4的后表面设置有清洗机控制按钮5，湿法清洗机机体外壳1的下表面设置有清洗机支撑脚7，湿法清洗机机体外壳1的一侧设置有吹干机机体外壳13，吹干机机体外壳13的一侧设置有驱动电机控制开关12，吹干机机体外壳13的内部设置有驱动电机16，驱动电机16的一端设置有扇叶14，驱动电机16的外表面设置有驱动电机固定支架17，吹干机机体外壳13的下方设置有半导体固定网18，半导体固定网18的两端均设置有固定网滑带11，固定网滑带11的上表面和下表面均设置有固定网夹紧栓9，固定网夹紧栓9的一端设置有固定网夹紧片15，固定网滑带11的前表面设置有固定网旋转基座10，半导体固定网18的下方设置有废物承接盒19，废物承接盒19的两端均设置有承接盒滑带8。

为了便于支撑废物承接盒19，本实施例中，优选的，承接盒滑带8的剖面形状为“L”形。

为了便于在固定网滑带11上上下活动，本实施例中，优选的，固定网夹紧栓9的外表面设置有螺纹凹槽。

为了便于固定网旋转基座10与固定网滑带11连接，本实施例中，优选的，固定网旋转基座10与固定网滑带11通过转轴转动连接。

为了便于固定网夹紧栓9上下移动和为了便于支撑半导体固定网18，本实施例中，优选的，固定网滑带11的上表面和下表面均设置有圆形孔洞，且孔洞内壁设置有螺纹凹槽，固定网滑带11的剖面形状为“U”字形。

本实用新型的工作原理及使用流程：该装置安装完成后，正常使用机器，当半导体清洗完成后，将废物承接盒19放置于承接盒滑带8上，然后将半导体放置于两片半导体固定网18之间，然后旋转固定网夹紧栓9，使得固定网夹紧片15夹紧半导体固定网18的两端，再通过驱动电机控制开关12开启驱动电机16，驱动电机16带动扇叶14旋转，并产生空气流通，然后通过固定网滑带11与固定网旋转基座10连接处的转轴旋转固定网滑带11，即可对半导体整体进行自然风干。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种半导体制造用湿法清洗设备，包括湿法清洗机机体外壳（1），其特征在于：所述湿法清洗机机体外壳（1）的前表面一侧设置有清洗机开合门（2），所述湿法清洗机机体外壳（1）的前表面另一侧上端设置有清洗机显示屏（3），所述湿法清洗机机体外壳（1）的前表面另一侧下端设置有清洗机控制柜柜门（4），所述清洗机控制柜柜门（4）与湿法清洗机机体外壳（1）的连接位置处设置有连接铰链（6），所述清洗机控制柜柜门（4）的后表面设置有清洗机控制按钮（5），所述湿法清洗机机体外壳（1）的下表面设置有清洗机支撑脚（7），所述湿法清洗机机体外壳（1）的一侧设置有吹干机机体外壳（13），所述吹干机机体外壳（13）的一侧设置有驱动电机控制开关（12），所述吹干机机体外壳（13）的内部设置有驱动电机（16），所述驱动电机（16）的一端设置有扇叶（14），所述驱动电机（16）的外表面设置有驱动电机固定支架（17），所述吹干机机体外壳（13）的下方设置有半导体固定网（18），所述半导体固定网（18）的两端均设置有固定网滑带（11），所述固定网滑带（11）的上表面和下表面均设置有固定网夹紧栓（9），所述固定网夹紧栓（9）的一端设置有固定网夹紧片（15），所述固定网滑带（11）的前表面设置有固定网旋转基座（10），所述半导体固定网（18）的下方设置有废物承接盒（19），所述废物承接盒（19）的两端均设置有承接盒滑带（8）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体制造用湿法清洗设备，其特征在于：所述承接盒滑带（8）的剖面形状为“L”形。

3.根据权利要求1所述的一种半导体制造用湿法清洗设备，其特征在于：所述固定网夹紧栓（9）的外表面设置有螺纹凹槽。

4.根据权利要求1所述的一种半导体制造用湿法清洗设备，其特征在于：所述固定网旋转基座（10）与固定网滑带（11）通过转轴转动连接。

5.根据权利要求1所述的一种半导体制造用湿法清洗设备，其特征在于：所述固定网滑带（11）的上表面和下表面均设置有圆形孔洞，且孔洞内壁设置有螺纹凹槽，固定网滑带（11）的剖面形状为“U”字形。