CN207310290U - 一种新型的自动检测线弓的集片盒结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种新型的自动检测线弓的集片盒结构,包括,相平行设置的第一切割轮和第二切割轮,在第一切割轮与第二切割轮之间设置有一集片盒,沿着集片盒的两个长边沿在集片盒内壁上设有多个角度检测装置,每个角度检测装置都包括,固定座、回转轮、激光发生器和光栅读数头,所述的固定座固定在集片盒内壁上,固定座带有回转腔,所述的摆动盘配装在柱形的回转腔中,所述的摆动盘的外壁上连接有延伸轴,在延伸轴的伸出配装有转轮,摆动盘上开有多条方形窄缝,位于摆动盘的一侧设有激光发生器,位于摆动盘的另一个设有光栅读数头,本装置效果好,感应能力强,感应效果好,并且集成效果好,改造成本低,具有良好经济效益和监控效果,有利于实现自动化。
Description
技术领域
本属于硅晶单元制备装置领域,特别涉及用于检测线弓的集片盒结构。
背景技术
硅晶单元在切割过程中都是采用丝网切割机进行切割,丝网切割机在切割时切割过程中多多少少都会出现线弓的情况,线弓指的是丝网收到压迫而卷曲,线弓在丝网切割机切割过程中如果幅度较大会导致线痕和线槽的产生而导致,切割失败产生废品,因此如何对线弓程度进行监控,就成为一个难题。
实用新型内容
本针对现有技术中存在的线弓容易对硅片产生影响因此需要一种线弓检测设备,提供了一种新型的用于检测线弓的检测装置,其集成在接线盒上可以自动检测线弓程度。
提供了一种新型的自动检测线弓的集片盒结构,包括,相平行设置的第一切割轮和第二切割轮,在第一切割轮与第二切割轮上环绕有切割线,在第一切割轮与第二切割轮之间设置有一集片盒1,其中,沿着集片盒的两个长边沿在集片盒内壁上设有多个角度检测装置,每个角度检测装置都包括,固定座2、回转轮3、激光发生器和光栅读数头,所述的固定座固定在集片盒内壁上,固定座带有回转腔,所述的回转轮配装在柱形的回转腔中,所述的回转轮的外壁上连接有延伸轴,延伸轴由固定座上开有的方形开口中穿出,在延伸轴的伸出配装有转轮4,回转轮上开有多条方形窄缝,位于回转轮的一侧设有激光发生器6,位于回转轮的另一个设有光栅读数头7,所述的激光发生器、回转轮和光栅读数头都配装在暗室壳体内。
进一步的,所述的转轮开有多圈凹槽。
进一步的,所述的固定座的内壁和回转轮的外壁上带有都带有弧形凹凸。
进一步的,还包括弹簧所述的弹簧5的一端连接在集片盒的内壁上,所述的弹簧的另一端连接在延伸轴上。
进一步的,所述的角度检测装置还包括外壳,固定座、回转轮和暗室壳都设置在外壳内,外壳上开有竖直延伸的摆动开口,所述的延伸轴由摆动开口处伸出。
本相对于现有技术相比具有以下有益效果:
采用回转盘作为角度感应单元,回转盘可以由弹簧驱动并回弹,当回转盘旋转时光栅可以时时接收到角度偏差信号,从而接收到此点的角度偏差,通过沿着长边沿设置多个可以绘测出线弓曲线。
通过在长边沿两侧各设置多个感应装置,并且搭配会转轮上设置的沟槽刚好可以与钢线相搭配,通过线槽卡紧钢线,结构简单高效,采用不同材质的会转轮和切割钢线保证转轮寿命。
本装置效果好,感应能力强,感应效果好,并且集成效果好,改造成本低,具有良好经济效益和监控效果,有利于实现自动化。
附图说明
图1为本实用新型整体结构图。
图2为图1中C处的放大图。
图3为回转盘处的各个组件结构图。
图4为回转盘处示意图。
图5为集片盒的俯视图。
附图标记说明:集片盒1、固定座2、回转轮3、转轮4、弹簧5、激光发生器6、光栅读数头7。
具体实施方式
以下结合附图1-5对本做进一步详细说明。
实施例1,一种新型的自动检测线弓的集片盒结构,包括,相平行设置的第一切割轮和第二切割轮,在第一切割轮与第二切割轮上环绕有切割线,在第一切割轮与第二切割轮之间设置有一集片盒1,其沿着集片盒的两个长边沿在集片盒内壁上设有多个角度检测装置,每个角度检测装置都包括,固定座2、回转轮3、外壳、激光发生器和光栅读数头,所述的固定座固定在集片盒内壁上,固定座为柱形壳体,固定座内带有回转腔,所述的回转轮配装在柱形的回转腔中,回转轮可在回转腔自由转动,所述的回转轮的外壁上连接有延伸轴,在固定座上开有供延伸轴上下摆动的方形开口,延伸轴由固定座上开有的方形开口中穿出,在延伸轴的伸出配装有转轮4,转轮的轴线与回转轮的轴线组成T形,回转轮上开有多条方形窄缝,位于回转轮的一侧设有激光发生器6,位于回转轮的另一个设有光栅读数头7,回转轮、激光发生器6和光栅读数头7依次相正对,所述的激光发生器、回转轮、光栅读数头和所述的都配装在暗室壳体内,暗室壳体内形成一暗腔,所述的固定座的内壁和回转轮的外壁上带有都带有弧形凹凸,回转轮的侧壁穿过暗室壳体预留的开口与固定座的内壁相贴合,所述的转轮开有多圈凹槽,所述的固定座、回转轮和暗室壳都设置在外壳内,外壳上开有竖直延伸的摆动开口,所述的延伸轴由摆动开口处伸出。
为保证回弹效果,还设置有弹簧所述的弹簧5的一端连接在集片盒的内壁上,所述的弹簧的另一端连接在延伸轴上。
本实用新型在使用过程中,线弓会压迫转轮导致转轮下移,当转轮下移时会带动回转轮发生偏转,因为会转轮会带动回转轮偏转,回转轮偏转激光发生器的所发出的光就会发生骗着,光栅读数头可以感应到光源的偏折角度,通过现有技术的计算方法经过控制单元计算即可计算得知偏折角度。
Claims (5)
1.一种新型的自动检测线弓的集片盒结构,包括,相平行设置的第一切割轮和第二切割轮,在第一切割轮与第二切割轮上环绕有切割线,在第一切割轮与第二切割轮之间设置有一集片盒(1),其特征在于:沿着集片盒的两个长边沿在集片盒内壁上设有多个角度检测装置,每个角度检测装置都包括,固定座(2)、回转轮(3)、激光发生器和光栅读数头,所述的固定座固定在集片盒内壁上,固定座带有回转腔,所述的回转轮配装在柱形的回转腔中,所述的回转轮的外壁上连接有延伸轴,延伸轴由固定座上开有的方形开口中穿出,在延伸轴的伸出配装有转轮(4),回转轮上开有多条方形窄缝,位于回转轮的一侧设有激光发生器(6),位于回转轮的另一个设有光栅读数头(7),所述的激光发生器、回转轮和光栅读数头都配装在暗室壳体内。
2.根据权利要求1所述的一种新型的自动检测线弓的集片盒结构,其特征在于:所述的转轮开有多圈凹槽。
3.根据权利要求1所述的一种新型的自动检测线弓的集片盒结构,其特征在于:所述的固定座的内壁和回转轮的外壁上带有都带有弧形凹凸。
4.根据权利要求3所述的一种新型的自动检测线弓的集片盒结构,其特征在于:还包括弹簧所述的弹簧(5)的一端连接在集片盒的内壁上,所述的弹簧的另一端连接在延伸轴上。
5.根据权利要求1所述的一种新型的自动检测线弓的集片盒结构,其特征在于:所述的角度检测装置还包括外壳,固定座、回转轮和暗室壳都设置在外壳内,外壳上开有竖直延伸的摆动开口,所述的延伸轴由摆动开口处伸出。
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