CN207210536U - 一种磁性流体真空轴封的轴芯结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种磁性流体真空轴封的轴芯结构，包括旋转轴、一号轴承、二号轴承、永久性磁铁、磁性流体盒和磁性流体，通过在旋转轴的一端设置一号轴承和二号轴承，当一号轴承损坏时，二号轴承可以继续工作，不会出现整个机台产能停产的现象；再在一号轴承的内侧设置磁性流体盒，并在磁性流体盒内盛装磁性流体，当一号轴承被损坏时，也容易导致磁性流体盒的外侧板被损坏，从而使磁性流体盒内的磁性流体流出，便于提醒工作人员一号轴承被损坏，需要及时更换，且磁性流体盒的内侧固定有永久性磁铁，能够在一定程度上将磁性流体吸附，避免流出过多的磁性流体，同时，能够避免磁性流体进入永久性磁铁的内侧。

Description

一种磁性流体真空轴封的轴芯结构

技术领域

本实用新型涉及一种轴芯结构，具体涉及一种磁性流体真空轴封的轴芯结构。

背景技术

溅度技术的原理主要是利用辉光放电将氩气离子撞击靶表面，靶材的原子被弹出而堆积在基板表面形成薄膜，其性质、均匀度都比以往蒸镀技术来的好。溅镀设备几乎都使用强力磁铁将电子成螺旋状运动以加速靶材周围的氩气离子化，造成靶与氩气离子间的撞击机率增加，提高溅镀速率，通过撞击将使靶材的物质飞出而沉积在基板上形成薄膜，因此，溅镀设备中的重要组件便是当中的承载机构-磁性流体真空轴封。

大多数磁性流体真空轴封因长时间操作都需要定期保养(如：更换轴承及磁液和清洗等)，然而虽有定期的保养，轴承(又称培林)的寿命因负载过重仍然过短，一旦轴承(又称培林)损坏就必须全部更换。

因此，如何提供一个可增加轴承(又称培林)寿命，来达到减少因磁性流体真空轴封漏气所造成的整个机台内的溅镀损失及产能停产的损失的目的，是目前亟待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种磁性流体真空轴封的轴芯结构，解决了如何提供一个可增加轴承(又称培林)寿命，来达到减少因磁性流体真空轴封漏气所造成的整个机台内的溅镀损失及产能停产的损失的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型一种磁性流体真空轴封的轴芯结构，包括旋转轴，所述旋转轴的一端固定有一号轴承和二号轴承，且所述一号轴承固定在二号轴承的外侧，所述一号轴承向内一侧焊接有磁性流体盒，所述磁性流体盒内盛满磁性流体，所述磁性流体盒上与一号轴承相对称的一侧设置有永久性磁铁，所述永久性磁铁通过磁力与磁性流体盒相吸。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述磁性流体盒的中间开设有通孔，且该磁性流体盒套设在旋转轴上。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述永久性磁铁的中间开设有通孔，且该永久性磁铁套设在旋转轴上。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述旋转轴、一号轴承和二号轴承均为非磁性金属。

本实用新型所达到的有益效果是：通过在旋转轴的一端设置一号轴承和二号轴承，当一号轴承损坏时，二号轴承可以继续工作，不会出现整个机台产能停产的现象；再在一号轴承的内侧设置磁性流体盒，并在磁性流体盒内盛装磁性流体，当一号轴承被损坏时，也容易导致磁性流体盒的外侧板被损坏，从而使磁性流体盒内的磁性流体流出，便于提醒工作人员一号轴承被损坏，需要及时更换，且磁性流体盒的内侧固定有永久性磁铁，能够在一定程度上将磁性流体吸附，避免流出过多的磁性流体，同时，能够避免磁性流体进入永久性磁铁的内侧。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。

在附图中：

图1是本实用新型一种磁性流体真空轴封的轴芯结构的整体结构图；

图中：1、旋转轴；2、一号轴承；3、二号轴承；4、永久性磁铁；5、磁性流体盒；6、磁性流体。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例：如图1所示，本实用新型一种磁性流体真空轴封的轴芯结构，包括旋转轴1，旋转轴1的一端固定有一号轴承2和二号轴承3，一号轴承2设置在旋转轴1的外侧，在长时间工作后，容易被损坏，当一号轴承2被损坏时，二号轴承3继续一号轴承2的工作，能够避免整个装置停止工作，避免整个机台停产的现象发生；且一号轴承2固定在二号轴承3的外侧，一号轴承2向内一侧焊接有磁性流体盒5，使磁性流体盒5的外侧板与一号轴承2焊接，当一号轴承2被损坏时，若工作人员未发现，一段时间后，也容易导致磁性流体盒5的外侧板被损坏，进而会使磁性流体盒5内的磁性流体6流出，方便提醒工作人员更换一号轴承2；磁性流体盒5内盛满磁性流体6，磁性流体盒5上与一号轴承2相对称的一侧设置有永久性磁铁4，永久性磁铁4通过磁力与磁性流体盒5相吸，永久性磁铁4与磁性流体6之间产生磁力吸附，进而使磁性流体盒5与永久性磁铁4吸附在一起，永久性磁铁4不仅能够在一号轴承2被损坏时，在一定程度上固定磁性流体6，还能够阻挡磁性流体6进入到内部。

磁性流体盒5的中间开设有通孔，且该磁性流体盒5套设在旋转轴1上。

永久性磁铁4的中间开设有通孔，且该永久性磁铁4套设在旋转轴1上。

旋转轴1、一号轴承2和二号轴承3均为非磁性金属。

该种磁性流体真空轴封的轴芯结构，通过在旋转轴1的一端设置一号轴承2和二号轴承3，当一号轴承2损坏时，二号轴承3可以继续工作，不会出现整个机台产能停产的现象；再在一号轴承2的内侧设置磁性流体盒5，并在磁性流体盒5内盛装磁性流体6，当一号轴承2被损坏时，也容易导致磁性流体盒5的外侧板被损坏，从而使磁性流体盒5内的磁性流体6流出，便于提醒工作人员一号轴承2被损坏，需要及时更换，且磁性流体盒5的内侧固定有永久性磁铁4，能够在一定程度上将磁性流体6吸附，避免流出过多的磁性流体6，同时，能够避免磁性流体6进入永久性磁铁4的内侧。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种磁性流体真空轴封的轴芯结构，包括旋转轴(1)，其特征在于，所述旋转轴(1)的一端固定有一号轴承(2)和二号轴承(3)，且所述一号轴承(2)固定在二号轴承(3)的外侧，所述一号轴承(2)向内一侧焊接有磁性流体盒(5)，所述磁性流体盒(5)内盛满磁性流体(6)，所述磁性流体盒(5)上与一号轴承(2)相对称的一侧设置有永久性磁铁(4)，所述永久性磁铁(4)通过磁力与磁性流体盒(5)相吸。

2.根据权利要求1所述的一种磁性流体真空轴封的轴芯结构，其特征在于，所述磁性流体盒(5)的中间开设有通孔，且该磁性流体盒(5)套设在旋转轴(1)上。

3.根据权利要求1所述的一种磁性流体真空轴封的轴芯结构，其特征在于，所述永久性磁铁(4)的中间开设有通孔，且该永久性磁铁(4)套设在旋转轴(1)上。

4.根据权利要求1所述的一种磁性流体真空轴封的轴芯结构，其特征在于，所述旋转轴(1)、一号轴承(2)和二号轴承(3)均为非磁性金属。