CN207199571U - 一种改善扩散均匀性的炉管 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种改善扩散均匀性的炉管,包括石英炉管,所述的炉管内设有镂空螺旋结构体,所述的镂空螺旋结构体的高度与炉管的内壁直径相等。本实用新型利用空气动力学原理,通过增加螺旋结构使五氧化二磷颗粒增加横向移动,从而深入硅片之间的缝隙中,改善方阻片内均匀性。
Description
技术领域
本实用新型属于太阳能电池制造领域,具体涉及一种改善扩散均匀性的炉管。
背景技术
太阳能电池制造的核心工序为扩散工序,随着太阳能电池制造技术的发展,扩散方阻不断升高,同时面对成本的压力,产能的提升,石英舟槽距越来越小对磷源扩散要求也越来越高。传统的扩散方式只能通过减少气体流速、磷源携带量和延长扩散时间,不能很好的解决产能与方阻均匀性。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服上述现有技术的不足,提供一种结构简单、操作方便效率高,挥发少,不容易损坏的简便式浆料过滤装置。
本实用新型所述的一种改善扩散均匀性的炉管,包括石英炉管,所述的炉管内设有镂空螺旋结构体,所述的镂空螺旋结构体的高度与炉管的内壁直径相等。
进一步改进,所述的镂空螺旋结构体为石英材料制成,可耐高温。
进一步改进,所述的镂空螺旋结构体为螺旋形薄片,该薄片的宽度为1-2cm。
本实用新型的工作原理:常规石英管中内壁上,加入螺旋状的石英条,在气体运行过程中,管壁处的磷源受到石英条的阻挡,改变平行于石英管运行的轨迹,向下运行,可以更深入的进入硅片中间,改善片内均匀性。
本实用新型的有益效果在于:
与现有技术相比,本实用操作简单方便,可以节约生产时间和劳动力,大大提高了生产效率,减少了生产成本;利用空气动力学原理,通过增加螺旋结构使五氧化二磷颗粒增加横向移动,从而深入硅片之间的缝隙中,改善方阻片内均匀性。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示,本实用新型所述的一种改善扩散均匀性的炉管,包括炉管1,所述的石英炉管内设有镂空螺旋结构体2,所述的镂空螺旋结构体的高度与炉管的内壁直径相等。所述的镂空螺旋结构体为石英材料制成,具有耐高温的优点。
所述的镂空螺旋结构体为螺旋形薄片,该薄片的宽度为1-2cm。
本实用新型的原理在于,在常规石英管中内壁上加入螺旋状的石英条,在气体运行过程中,管壁处的磷源受到石英条的阻挡,改变平行于石英管运行的轨迹,向下运行,可以更深入的进入硅片中间,改善片内均匀性。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方法,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以作出若干改进,这些改进也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (3)
1.一种改善扩散均匀性的炉管,包括石英炉管,其特征在于:所述的石英炉管内设有镂空螺旋结构体,所述的镂空螺旋结构体的高度与炉管的内壁直径相等。
2.根据权利要求1所述的改善扩散均匀性的炉管,其特征在于,所述的镂空螺旋结构体为石英材料制成。
3.根据权利要求1所述的改善扩散均匀性的炉管,其特征在于,所述的镂空螺旋结构体为螺旋形薄片,该薄片的宽度为1-2cm。
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