CN207180935U - 一种高精度压差传感器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种高精度压差传感器，其包括下壳座、上壳座、正压腔座、负压腔座、隔离片、正压感应片、中间固定片和负压感应片，所述下壳座、上壳座、正压腔座、负压腔座组成该传感器壳体，所述正压腔座的正压通道孔和负压腔座的负压通道孔的外侧均设置有隔离片，所述下壳座和上壳座之间设置有与正压通道孔垂直的所述正压感应片和负压感应片，所述正压感应片和负压感应片之间的中间位置设置有中间固定片，所述正压感应片与所述中间固定片构设成正极电容，所述负压感应片与所述中间固定片之间构设为负极电容。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种高精度压差传感器，属于压差传感器技术领域。
背景技术
压差传感器是一种用来测量两个压力之间差值的传感器，通常用于测量某一设备或部件前后两端的压差。压差传感器的工作原理是被测压力直接作用于传感器的膜片上，使膜片产生与水压成正比的微位移，使传感器的电阻值发生变化，和用电子线路检测这一变化，并转换输出一个相对应压力的标准测量信号。但是，目前的这种电阻式压差传感器的精度较低，难以实现高精度的压差测量。
发明内容
本实用新型针对现有的技术问题，提供一种高精度压差传感器，目的是提高压差传感器的测量精度，拟解决现有技术存在的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高精度压差传感器，其包括下壳座、上壳座、正压腔座、负压腔座、隔离片、正压感应片、中间固定片和负压感应片，所述下壳座、上壳座、正压腔座、负压腔座组成该传感器壳体，所述正压腔座的正压通道孔和负压腔座的负压通道孔的外侧均设置有隔离片，所述下壳座和上壳座之间设置有与正压通道孔垂直的所述正压感应片和负压感应片，所述正压感应片和负压感应片之间的中间位置设置有中间固定片，所述正压感应片与所述中间固定片构设成正极电容，所述负压感应片与所述中间固定片之间构设为负极电容，其特征在于，所述正压腔座的内侧和负压腔的内侧均设置有相互独立的油腔，所述正压腔座的正压通道孔和负压腔座的负压通道孔均与各自的油腔连通，所述油腔的体积大小为正压通道孔总容积大小的3-5倍，所述正压通道孔总容积大小和负压腔座的负压通道孔的总容积大小相等。
进一步，作为优选，所述上壳座的内壁上固定设置有导线座，所述导线座上固定设置有感应导线，所述感应导线分别与正压感应片、中间固定片和负压感应片连接。
进一步，作为优选，所述上壳座上设置有接头保护壳，所述感应导线设置在接头保护壳内。
进一步，作为优选，所述下壳座与上壳座之间还设置有辅助安装座和感应片固定座，所述感应片固定座设置在辅助安装座内侧，所述正压感应片和负压感应片分别设置在各自的感应片固定座上。
进一步，作为优选，所述下壳座和上壳座之间的最外侧还设置有硅油腔座，所述油腔为硅油腔。
进一步，作为优选，所述硅油腔座上还设置有填充座，所述硅油腔座采用所述填充座固定在正压腔座或负压腔座上。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
本实用新型结构简单，组装方便，其采用设置在传感器内部的硅油实现对压差的测量，并利用隔离片实现对硅油实施压力，两侧的硅油在各自的压力下，硅油移动，实现对正压感应片和负压感应片施加相应的压力，各自的感应片与中间固定片构成电容，这样，各自的感应片在各自的压力下电容值发生变化，通过计算电容变化来实现压差的测量，本实用新型可以实现高精度的压差测量，而且，受外界环境较小，同时，硅油腔的设置可以保证硅油对压力的敏感性，提高测量精度并降低外界干扰。
附图说明
图1是本实用新型的一种高精度压差传感器的结构示意图；
其中，1、下壳座，2、上壳座，3、接头保护壳，4、正压腔座，5、负压腔座，6、隔离片，7、油腔，8、辅助安装座，9、感应片固定座，10、正压感应片，11、中间固定片，12、负压感应片，13、感应导线，14、导线座，15、硅油腔座，16、填充座。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：一种高精度压差传感器，其包括下壳座1、上壳座2、正压腔座4、负压腔座5、隔离片6、正压感应片10、中间固定片11和负压感应片12，所述下壳座1、上壳座2、正压腔座4、负压腔座5组成该传感器壳体，所述正压腔座4的正压通道孔和负压腔座5的负压通道孔的外侧均设置有隔离片6，所述下壳座1和上壳座2之间设置有与正压通道孔垂直的所述正压感应片10和负压感应片12，所述正压感应片10和负压感应片12之间的中间位置设置有中间固定片11，所述正压感应片与所述中间固定片构设成正极电容，所述负压感应片与所述中间固定片之间构设为负极电容，其特征在于，所述正压腔座的内侧和负压腔的内侧均设置有相互独立的油腔7，所述正压腔座的正压通道孔和负压腔座的负压通道孔均与各自的油腔7连通，所述油腔的体积大小为正压通道孔总容积大小的3-5倍，所述正压通道孔总容积大小和负压腔座的负压通道孔的总容积大小相等。
在本实施例中，所述上壳座的内壁上固定设置有导线座14，所述导线座14上固定设置有感应导线13，所述感应导线13分别与正压感应片、中间固定片和负压感应片连接。所述上壳座上设置有接头保护壳3，所述感应导线13设置在接头保护壳3内。
另外，所述下壳座与上壳座之间还设置有辅助安装座8和感应片固定座9，所述感应片固定座9设置在辅助安装座8内侧，所述正压感应片和负压感应片分别设置在各自的感应片固定座9上。所述下壳座和上壳座之间的最外侧还设置有硅油腔座15，所述油腔为硅油腔。所述硅油腔座上还设置有填充座16，所述硅油腔座采用所述填充座16固定在正压腔座或负压腔座上。
本实用新型结构简单，组装方便，其采用设置在传感器内部的硅油实现对压差的测量，并利用隔离片实现对硅油实施压力，两侧的硅油在各自的压力下，硅油移动，实现对正压感应片和负压感应片施加相应的压力，各自的感应片与中间固定片构成电容，这样，各自的感应片在各自的压力下电容值发生变化，通过计算电容变化来实现压差的测量，本实用新型可以实现高精度的压差测量，而且，受外界环境较小，同时，硅油腔的设置可以保证硅油对压力的敏感性，提高测量精度并降低外界干扰。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种高精度压差传感器，其包括下壳座、上壳座、正压腔座、负压腔座、隔离片、正压感应片、中间固定片和负压感应片，所述下壳座、上壳座、正压腔座、负压腔座组成传感器壳体，所述正压腔座的正压通道孔和负压腔座的负压通道孔的外侧均设置有隔离片，所述下壳座和上壳座之间设置有与正压通道孔垂直的所述正压感应片和负压感应片，所述正压感应片和负压感应片之间的中间位置设置有中间固定片，所述正压感应片与所述中间固定片构设成正极电容，所述负压感应片与所述中间固定片之间构设为负极电容，其特征在于，所述正压腔座的内侧和负压腔的内侧均设置有相互独立的油腔，所述正压腔座的正压通道孔和负压腔座的负压通道孔均与各自的油腔连通，所述油腔的体积大小为正压通道孔总容积大小的3-5倍，所述正压通道孔总容积大小和负压腔座的负压通道孔的总容积大小相等。
2.根据权利要求1所述的一种高精度压差传感器，其特征在于：所述上壳座的内壁上固定设置有导线座，所述导线座上固定设置有感应导线，所述感应导线分别与正压感应片、中间固定片和负压感应片连接。
3.根据权利要求2所述的一种高精度压差传感器，其特征在于：所述上壳座上设置有接头保护壳，所述感应导线设置在接头保护壳内。
4.根据权利要求1所述的一种高精度压差传感器，其特征在于：所述下壳座与上壳座之间还设置有辅助安装座和感应片固定座，所述感应片固定座设置在辅助安装座内侧，所述正压感应片和负压感应片分别设置在各自的感应片固定座上。
5.根据权利要求1所述的一种高精度压差传感器，其特征在于：所述下壳座和上壳座之间的最外侧还设置有硅油腔座，所述油腔为硅油腔。
6.根据权利要求5所述的一种高精度压差传感器，其特征在于：所述硅油腔座上还设置有填充座，所述硅油腔座采用所述填充座固定在正压腔座或负压腔座上。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201721057419.6U CN207180935U (zh) | 2017-08-23 | 2017-08-23 | 一种高精度压差传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201721057419.6U CN207180935U (zh) | 2017-08-23 | 2017-08-23 | 一种高精度压差传感器 |
Publications (1)
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|---|---|
| CN207180935U true CN207180935U (zh) | 2018-04-03 |
Family
ID=61737920
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201721057419.6U Expired - Fee Related CN207180935U (zh) | 2017-08-23 | 2017-08-23 | 一种高精度压差传感器 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111099003A (zh) * | 2019-12-26 | 2020-05-05 | 杭州电子科技大学 | 一种分布式传感水下航行器及其驱动控制方法 |
| CN111207879A (zh) * | 2020-01-15 | 2020-05-29 | 中国电子科技集团公司第四十九研究所 | 一种硅-蓝宝石单芯体压差传感器 |
| CN112729666A (zh) * | 2020-12-25 | 2021-04-30 | 上海艾靳智能科技有限公司 | 一种高稳定性单晶硅压差传感器 |
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| CN111207879B (zh) * | 2020-01-15 | 2021-11-02 | 中国电子科技集团公司第四十九研究所 | 一种硅-蓝宝石单芯体压差传感器 |
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