CN207165518U - 一种防止腔体泄漏的控压装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种防止腔体泄漏的控压装置，其特征在于：包括腔体和所述腔体上的进气孔与控压孔；所述进气孔连接进气管道，所述控压孔依次连接控压管道和泄压阀；在所述进气管道与控压管道高度一致的管道上分别设有进气管道气动阀和与所述进气管道气动阀联动的控压管道联动气动阀；所述的进气管道气动阀和控压管道联动气动阀的两个转动开关设轴心孔并由水平连接轴轴心连接并相对设置；所述转动开关能同轴转动实现进气管道气动阀和控压管道联动气动阀的同开同关。当腔体处于真空状态时，两个气动阀全部为关闭状态。由于泄压阀前端被联动的气动阀隔断，因此泄压阀的因微漏进入的管路的空气不能进到腔体，从而影响不到腔体的正常工作。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种压力装置，尤其涉及一种控压装置。
背景技术
PVD PCxT腔体，为了防止Vent时腔体压力过大，腔体上安装了泄压阀。当腔体压力达到大气压时，泄压阀自动打开，从而保证腔体最大压力等于1个大气压左右。目前的泄压阀时常会出现微漏，导致腔体RF反射功率异常。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的缺陷，提供一种能稳定的控压的防止腔体泄漏的控压装置。
本实用新型为解决上述技术问题采用以下技术方案：
一种防止腔体泄漏的控压装置，其特征在于：包括腔体和所述腔体上的进气孔与控压孔；所述进气孔连接进气管道，所述控压孔依次连接控压管道和泄压阀；在所述进气管道与控压管道高度一致的管道上分别设有进气管道气动阀和与所述进气管道气动阀联动的控压管道联动气动阀；所述的进气管道气动阀和控压管道联动气动阀的两个转动开关设轴心孔并由水平连接轴轴心连接并相对设置；所述转动开关能同轴转动实现进气管道气动阀和控压管道联动气动阀的同开同关。
为了进一步优化上述技术方案，本实用新型所采取的技术措施为：
优选的，所述进气管道气动阀和所述控压管道联动气动阀为参数相同的气动阀。
优选的，所述水平连接轴中部设转动控制机构。
优选的，所述水平连接轴为六角柱，所述转动开关轴心孔为六角孔。
优选的，所述转动控制机构为穿过所述水平连接轴带内六角孔的扳动装置。
优选的，所述转动控制机构为蜗轮蜗杆机构。
优选的，所述蜗轮与转动电机相连。
优选的，所述转动电机为伺服电机。
优选的，所述转动控制机构为齿轮传动机构。
优选的，所述齿轮传动机构为直齿圆柱齿轮传动机构。
本实用新型采用以上技术方案，与现有技术相比，具有如下技术效果：
由于泄压阀起作用的时间是在腔体通气的过程中。因此可以在泄压阀前端增加一个与通气管路上的气动阀联动的气动阀。当需要通气时，两个气动阀同时打开，泄压阀正常工作。当腔体处于真空状态时，两个气动阀全部为关闭状态。由于泄压阀前端被联动的气动阀隔断，因此泄压阀的因微漏进入的管路的空气不能进到腔体，从而影响不到腔体的正常工作。
附图说明
图1为本实用新型的一种优选实施例的防止腔体泄漏的控压装置的结构示意图；
图2为本实用新型的一种优选实施例的水平连接轴和转动控制机构的结构示意图；
图3为本实用新型的一种优选实施例的水平连接轴和转动控制机构的结构示意图；
图4为本实用新型的一种优选实施例的水平连接轴和转动控制机构的结构示意图；
其中的附图标记为：
1腔体；2进气管道；3控压管道；4泄压阀；5水平连接轴；6转动控制机构；11进气孔；12控压孔；21进气管道气动阀；31控压管道联动气动阀。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的技术方案做进一步的详细说明。
如图1-4所示，本实用新型的防止腔体泄漏的控压装置，其特征在于：包括腔体1和所述腔体1上的进气孔11与控压孔12；所述进气孔11连接进气管道2，所述控压孔12依次连接控压管道3和泄压阀4；在所述进气管道2与控压管道3高度一致的管道上分别设有进气管道气动阀21和与所述进气管道气动阀21联动的控压管道联动气动阀31；所述的进气管道气动阀21和控压管道联动气动阀31的两个转动开关设轴心孔并由水平连接轴5轴心连接并相对设置；所述转动开关能同轴转动实现进气管道气动阀21和控压管道联动气动阀31的同开同关；所述进气管道气动阀21和所述控压管道联动气动阀31为参数相同的气动阀；所述水平连接轴5中部设转动控制机构6；所述水平连接轴5可以为六角柱，所述转动开关轴心孔为六角孔；所述转动控制机构6可以为穿过所述水平连接轴5带内六角孔的扳动装置；所述转动控制机构6也可以为蜗轮蜗杆机构；所述蜗轮与转动电机相连；所述转动电机为伺服电机；所述转动控制机构6还可以为齿轮传动机构；所述齿轮传动机构为直齿圆柱齿轮传动机构。
本实用新型的具体流程为：
通气时，经水平连接轴5上的转动控制机构6打开进气管道气动阀21，由于联动的作用下，控压管道联动气动阀31也打开了，气体从进气管道2进入腔体1内，并通过控压管道3经过泄压阀4控制腔体1内的压强，当通气完成时，经水平连接轴5上的转动控制机构6关闭进气管道气动阀21，由于联动的作用下，控压管道联动气动阀31也一并关闭。
综上所述，由于泄压阀起作用的时间是在腔体通气的过程中。因此可以在泄压阀前端增加一个与通气管路上的气动阀联动的气动阀。当需要通气时，两个气动阀同时打开，泄压阀正常工作。当腔体处于真空状态时，两个气动阀全部为关闭状态。由于泄压阀前端被联动的气动阀隔断，因此泄压阀的因微漏进入的管路的空气不能进到腔体，从而影响不到腔体的正常工作。
以上对本实用新型的具体实施例进行了详细描述，但其只作为范例，本实用新型并不限制于以上描述的具体实施例。对于本领域技术人员而言，任何对该实用进行的等同修改和替代也都在本实用新型的范畴之中。因此，在不脱离本实用新型的精神和范围下所作的均等变换和修改，都应涵盖在本实用新型的范围内。
Claims (10)
1.一种防止腔体泄漏的控压装置，其特征在于：包括腔体(1)和所述腔体(1)上的进气孔(11)与控压孔(12)；所述进气孔(11)连接进气管道(2)，所述控压孔(12)依次连接控压管道(3)和泄压阀(4)；在所述进气管道(2)与控压管道(3)高度一致的管道上分别设有进气管道气动阀(21)和与所述进气管道气动阀(21)联动的控压管道联动气动阀(31)；所述的进气管道气动阀(21)和控压管道联动气动阀(31)的两个转动开关设轴心孔并由水平连接轴(5)轴心连接并相对设置；所述转动开关能同轴转动实现进气管道气动阀(21)和控压管道联动气动阀(31)的同开同关。
2.根据权利要求1所述的防止腔体泄漏的控压装置，其特征在于：所述进气管道气动阀(21)和所述控压管道联动气动阀(31)为参数相同的气动阀。
3.根据权利要求1所述的防止腔体泄漏的控压装置，其特征在于：所述水平连接轴(5)中部设转动控制机构(6)。
4.根据权利要求3所述的防止腔体泄漏的控压装置，其特征在于：所述水平连接轴(5)为六角柱，所述转动开关轴心孔为六角孔。
5.根据权利要求4所述的防止腔体泄漏的控压装置，其特征在于：所述转动控制机构(6)为穿过所述水平连接轴(5)带内六角孔的扳动装置。
6.根据权利要求3所述的防止腔体泄漏的控压装置，其特征在于：所述转动控制机构(6)为蜗轮蜗杆机构。
7.根据权利要求6所述的防止腔体泄漏的控压装置，其特征在于：所述蜗轮与转动电机相连。
8.根据权利要求7所述的防止腔体泄漏的控压装置，其特征在于：所述转动电机为伺服电机。
9.根据权利要求3所述的防止腔体泄漏的控压装置，其特征在于：所述转动控制机构(6)为齿轮传动机构。
10.根据权利要求9所述的防止腔体泄漏的控压装置，其特征在于：所述齿轮传动机构为直齿圆柱齿轮传动机构。
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| CN201721024386.5U CN207165518U (zh) | 2017-08-16 | 2017-08-16 | 一种防止腔体泄漏的控压装置 |
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN110512190A (zh) * | 2019-09-25 | 2019-11-29 | 上海华力微电子有限公司 | 集成气动阀组的改装机构、气动阀组装置、气相沉积设备 |
| CN116884890A (zh) * | 2023-09-07 | 2023-10-13 | 无锡尚积半导体科技有限公司 | 协同控压式刻蚀装置 |
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