CN207095301U - 氮化硅反应炉炉壳冷却水温度控制系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种氮化硅反应炉炉壳冷却水温度控制系统，它包括温度传感器和控制阀，氮化硅反应炉的炉壳内设置有至少两个水腔段，每个所述水腔段的下端通过进水控制阀与进水管连通，每个所述水腔段的上端通过回水控制阀与回水管连通，所述进水管和回水管与储水箱连通，所述进水管上设置有循环泵，每一所述水腔段上设置有所述温度传感器，所述温度传感器和循环泵均与控制器连接。本实用新型采用分段式炉壳温度监控，通过控制器控制自动调节阀的启闭，进而调节通过炉壳的水流量，保证炉壳温度误差在2%之内，使得炉内反应压力相对平稳，有助于生产好的产品。
Description
技术领域：
本实用新型涉及一种氮化硅生产设备，特别是涉及一种氮化硅反应炉炉壳冷却水温度控制系统。
背景技术：
氮化硅具有良好的抗热冲击性、抗氧化性、耐高温、耐腐蚀、化学稳定性高、强度高等一系列优异的热物理性能，是一种优良的高温结构材料。
氮化硅反应炉是在通入氮气、氩气、氢气的状态下把硅石烧制成氮化硅粉末，传统的氮化硅反应炉存在一些弊端：炉壳温度是靠水冷却来控制的，水冷却机构是由水箱、和水泵组成的，炉温控制全靠一个手动阀门来调节的，通过水流量的变化，来实现炉温的调节，这种方式造成炉壳温差较大，使得炉内压力波动较大，对反应产生不利因素。
实用新型内容：
本实用新型所要解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提供一种设计合理、温控效果好且提高产品质量的氮化硅反应炉炉壳冷却水温度控制系统。
本实用新型的技术方案是：
氮化硅反应炉的炉壳内设置有至少两个水腔段，每个所述水腔段的下端通过进水控制阀与进水管连通，每个所述水腔段的上端通过回水控制阀与回水管连通，所述进水管和回水管与储水箱连通，所述进水管上设置有循环泵，每一所述水腔段上设置有所述温度传感器，所述温度传感器和循环泵均与控制器连接。
所述进水控制阀和回水控制阀分别为进水电磁阀和回水电磁阀，所述进水电磁阀和回水电磁阀分别与所述控制器连接，进行自动控制阀门的启闭。
所述炉壳内设置有炉膛，所述炉壳的一端设置有炉盖，所述炉膛的两侧分别设置有侧加热管，所述侧加热管通过电极与外部电源连接，所述炉膛的下部设置有支柱和托板，所述托板上能够放置料盒，所述托板和所述炉膛的底壁之间设置有下加热管，所述下加热管与所述电极连接。
所述支柱为两个以上，所述下加热管位于相邻所述支柱之间，或者，所述下加热管位于所述支柱和炉膛的侧壁之间，所述下加热管的数量为一个以上。
本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型采用分段式炉壳温度监控，通过控制器控制自动调节阀的启闭，进而调节通过炉壳的水流量，保证炉壳温度误差在2%之内，使得炉内反应压力相对平稳，有助于生产好的产品。
2、本实用新型在炉膛的底部加入适量的加热体，使下部温度提高到和上部一样，降低甚至消除温差，提高产品质量，并且，加热体采用温度可调式结构，便于调控温度。
3、本实用新型设计合理、温控效果好且提高产品质量，易于推广实施，具有良好的经济效益。
附图说明：
图1为氮化硅反应炉炉壳冷却水温度控制系统的结构示意图。
具体实施方式：
实施例：参见图1，图中，1-储水箱，2-回水管，3-氮化硅反应炉，4-回水电磁阀，5-温度传感器，6-支腿，7-进水管，8-进水电磁阀，9-循环泵，10-控制器。
氮化硅反应炉炉壳冷却水温度控制系统包括温度传感器5和电磁阀，氮化硅反应炉3的炉壳内设置有至少两个水腔段（图中是三段，当然也可以是两端、四段、五段等，不一一详述），每个水腔段的下端通过进水电磁阀8与进水管7连通，每个水腔段的上端通过回水电磁阀4与回水管2连通，进水管7和回水管8与储水箱1连通，进水管7上设置有循环泵9，每一水腔段上设置有温度传感器5，温度传感器5、进水电磁阀8、回水电磁阀4和循环泵9均与控制器10连接。当然，也可以采用手动阀，进行人工控制。
氮化硅反应炉炉壳的炉壳内设置有炉膛，并且，氮化硅反应炉3的一端设置有炉盖，炉膛的两侧分别设置有侧加热管，侧加热管通过电极与外部电源连接，炉膛的下部设置有支柱和托板，托板上能够放置料盒，其中：托板和炉膛的底壁之间设置有下加热管，下加热管与电极连接。在炉膛的底部加入适量的加热体，使下部温度提高到和上部一样，降低甚至消除温差，提高产品质量，并且，加热体采用温度可调式结构，便于调控温度。
支柱为两个以上，下加热管位于相邻支柱之间，或者，下加热管位于支柱和炉膛的侧壁之间，下加热管的数量为一个以上。
本实用新型采用分段式炉壳温度监控，通过控制器控制自动调节阀的启闭，进而调节通过炉壳的水流量，保证炉壳温度误差在2%之内，使得炉内反应压力相对平稳，有助于生产好的产品。
以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
Claims (4)
1.一种氮化硅反应炉炉壳冷却水温度控制系统，包括温度传感器和控制阀，其特征是：氮化硅反应炉的炉壳内设置有至少两个水腔段，每个所述水腔段的下端通过进水控制阀与进水管连通，每个所述水腔段的上端通过回水控制阀与回水管连通，所述进水管和回水管与储水箱连通，所述进水管上设置有循环泵，每一所述水腔段上设置有所述温度传感器，所述温度传感器和循环泵均与控制器连接。
2.根据权利要求1所述的氮化硅反应炉炉壳冷却水温度控制系统，其特征是：所述进水控制阀和回水控制阀分别为进水电磁阀和回水电磁阀，所述进水电磁阀和回水电磁阀分别与所述控制器连接，进行自动控制阀门的启闭。
3.根据权利要求1所述的氮化硅反应炉炉壳冷却水温度控制系统，其特征是：所述炉壳内设置有炉膛，所述炉壳的一端设置有炉盖，所述炉膛的两侧分别设置有侧加热管，所述侧加热管通过电极与外部电源连接，所述炉膛的下部设置有支柱和托板，所述托板上能够放置料盒，所述托板和所述炉膛的底壁之间设置有下加热管，所述下加热管与所述电极连接。
4.根据权利要求3所述的氮化硅反应炉炉壳冷却水温度控制系统，其特征是：所述支柱为两个以上，所述下加热管位于相邻所述支柱之间，或者，所述下加热管位于所述支柱和炉膛的侧壁之间，所述下加热管的数量为一个以上。
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| CN201721113235.7U CN207095301U (zh) | 2017-09-01 | 2017-09-01 | 氮化硅反应炉炉壳冷却水温度控制系统 |
Publications (1)
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Family
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| CN201721113235.7U Active CN207095301U (zh) | 2017-09-01 | 2017-09-01 | 氮化硅反应炉炉壳冷却水温度控制系统 |
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109631584A (zh) * | 2018-12-21 | 2019-04-16 | 河南中汇新材科技有限公司 | 双开门式新型氮化炉及其进出料方法 |
| CN110699747A (zh) * | 2019-11-27 | 2020-01-17 | 湖南大合新材料有限公司 | 一种单晶炉 |
| CN112877533A (zh) * | 2021-01-13 | 2021-06-01 | 江苏建中新材料科技有限公司 | 一种适用于制造轿车传动轴用钢管的热处理设备及工艺 |
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| CN112877533B (zh) * | 2021-01-13 | 2021-09-24 | 江苏建中新材料科技有限公司 | 一种适用于制造轿车传动轴用钢管的热处理设备及工艺 |
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| GR01 | Patent grant | ||
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