CN207095300U - 氮化硅反应炉温度均匀新结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种氮化硅反应炉温度均匀新结构，它包括保温层和耐火层，所述保温层和耐火层作为氮化硅反应炉的炉膛的内衬层，二者相互接触，其中，所述耐火层位于所述炉膛的最内侧且直接与热源接触，所述保温层为氧化铝保温板，所述耐火层为莫来石耐火纤维板，并且，所述氧化铝保温板和莫来石耐火纤维板为板式结构。所述炉膛的内腔为方形，所述氧化铝保温板为四个整板，四个整板分别与所述炉膛的四壁相贴合，所述莫来石耐火纤维板为四个整板，四个整板分别与所述氧化铝保温板的四个整板相贴合。本实用新型炉膛的内衬采用板材结构，拆装容易，并且板材可以采用整体式结构，没有间隙，杜绝耗费保护气体，既降低能耗又提高产品质量。
Description
技术领域：
本实用新型涉及一种氮化硅生产设备，特别是涉及一种氮化硅反应炉温度均匀新结构。
背景技术：
氮化硅具有良好的抗热冲击性、抗氧化性、耐高温、耐腐蚀、化学稳定性高、强度高等一系列优异的热物理性能，是一种优良的高温结构材料。
氮化硅反应炉是在通入氮气、氩气、氢气的状态下把硅石烧制成氮化硅粉末，传统的氮化硅反应炉存在一些弊端：传统的耐热炉膛一般采用莫来砖或刚玉砖砌筑成形，这类砌筑方式的缺点是在高温下砖体会出现局部膨胀并吸收保护气体，导致耗气量大，另外，在重复加热和降温的过程中，耐火砖之间的缝隙变大，造成温差大，影响产品质量。
实用新型内容：
本实用新型所要解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提供一种设计合理、容易制作且降低气体耗量的氮化硅反应炉温度均匀新结构。
本实用新型的技术方案是：
所述保温层和耐火层作为氮化硅反应炉的炉膛的内衬层，二者相互接触，其中，所述耐火层位于所述炉膛的最内侧且直接与热源接触，其特征是：所述保温层为氧化铝保温板，所述耐火层为莫来石耐火纤维板，并且，所述氧化铝保温板和莫来石耐火纤维板为板式结构。
所述炉膛的内腔为方形，所述氧化铝保温板为一个整板，且弯折成四个板面，四个板面分别与所述炉膛的四壁相贴合，所述莫来石耐火纤维板为一个整板，且弯折成四个板面，四个板面分别与所述氧化铝保温板的四个板面贴合。
所述炉膛的内腔为方形，所述氧化铝保温板为四个整板，四个整板分别与所述炉膛的四壁相贴合，所述莫来石耐火纤维板为四个整板，四个整板分别与所述氧化铝保温板的四个整板相贴合。
所述炉膛的内腔为方形，所述氧化铝保温板为两个整板，每个整板弯折成两个板面，四个板面分别与所述炉膛的四壁相贴合，所述莫来石耐火纤维板为两个整板，每个整板弯折成两个板面，四个板面分别与所述氧化铝保温板的四个板面相贴合。
所述炉膛的外面设置有炉壳，所述炉壳的一段设置有炉盖，所述炉膛的两侧分别设置有侧加热管，所述侧加热管通过电极与外部电源连接，所述炉膛的下部设置有支柱和托板，所述托板上能够放置料盒，所述托板和所述炉膛的底壁之间设置有下加热管，所述下加热管与所述电极连接。
所述支柱为两个以上，所述下加热管位于相邻所述支柱之间，或者，所述下加热管位于所述支柱和炉膛的侧壁之间，所述下加热管的数量为一个以上。
本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型炉膛的内衬采用板材结构，拆装容易，并且板材可以采用整体式结构，没有间隙，杜绝耗费保护气体，既降低能耗又提高产品质量。
2、本实用新型在炉膛的底部加入适量的加热体，使下部温度提高到和上部一样，降低甚至消除温差，提高产品质量，并且，加热体采用温度可调式结构，便于调控温度。
3、本实用新型设计合理、容易制作且降低气体耗量，易于推广实施，具有良好的经济效益。
附图说明：
图1为氮化硅反应炉温度均匀新结构的结构示意图。
具体实施方式：
实施例：参见图1，图中，1-支腿，2-炉壳，3-支架，4-炉膛，5-支柱，6-下加热管，7-托板，8-料盒，9-侧加热管，10-电极，11-上端口，12-气管，13-氧化铝保温板，14-莫来石耐火纤维板。
氮化硅反应炉的炉膛4的内壁设置有内衬保温层，内衬保温层包括保温层和耐火层，耐火层位于炉膛4的最里侧且直接与热源接触。保温层为氧化铝保温板13，耐火层为莫来石耐火纤维板14，并且，氧化铝保温板13和莫来石耐火纤维板14为整板式结构，尤其是在长度方向采用整板结构，四个侧壁均采用整板弯折而成，或者，四个侧壁分别由一个整板构成，相邻侧壁的端头交叉连接。
氮化硅反应炉包括炉壳2、炉膛4和炉盖24，炉膛24的两侧分别设置有侧加热管9，侧加热管9通过电极10与外部电源连接，炉膛4的下部设置有支柱5和托板7，托板7上能够放置料盒8，其中：托板7和炉膛4的底壁之间设置有下加热管6，下加热管6与电极10连接。在炉膛4的底部加入适量的加热体，使下部温度提高到和上部一样，降低甚至消除温差，提高产品质量，并且，加热体采用温度可调式结构，便于调控温度。
支柱5为两个以上，下加热管6位于相邻支柱5之间，或者，下加热管6位于支柱5和炉膛4的侧壁之间，下加热管6的数量为一个以上。
本实用新型炉膛的内衬采用板材结构，拆装容易，并且板材可以采用整体式结构，没有间隙，杜绝耗费保护气体，既降低能耗又提高产品质量。
以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
Claims (6)
1.一种氮化硅反应炉温度均匀新结构，包括保温层和耐火层，所述保温层和耐火层作为氮化硅反应炉的炉膛的内衬层，二者相互接触，其中，所述耐火层位于所述炉膛的最内侧且直接与热源接触，其特征是：所述保温层为氧化铝保温板，所述耐火层为莫来石耐火纤维板，并且，所述氧化铝保温板和莫来石耐火纤维板为板式结构。
2.根据权利要求1所述的氮化硅反应炉温度均匀新结构，其特征是：所述炉膛的内腔为方形，所述氧化铝保温板为一个整板，且弯折成四个板面，四个板面分别与所述炉膛的四壁相贴合，所述莫来石耐火纤维板为一个整板，且弯折成四个板面，四个板面分别与所述氧化铝保温板的四个板面贴合。
3.根据权利要求1所述的氮化硅反应炉温度均匀新结构，其特征是：所述炉膛的内腔为方形，所述氧化铝保温板为四个整板，四个整板分别与所述炉膛的四壁相贴合，所述莫来石耐火纤维板为四个整板，四个整板分别与所述氧化铝保温板的四个整板相贴合。
4.根据权利要求1所述的氮化硅反应炉温度均匀新结构，其特征是：所述炉膛的内腔为方形，所述氧化铝保温板为两个整板，每个整板弯折成两个板面，四个板面分别与所述炉膛的四壁相贴合，所述莫来石耐火纤维板为两个整板，每个整板弯折成两个板面，四个板面分别与所述氧化铝保温板的四个板面相贴合。
5.根据权利要求1所述的氮化硅反应炉温度均匀新结构，其特征是：所述炉膛的外面设置有炉壳，所述炉壳的一段设置有炉盖，所述炉膛的两侧分别设置有侧加热管，所述侧加热管通过电极与外部电源连接，所述炉膛的下部设置有支柱和托板，所述托板上能够放置料盒，所述托板和所述炉膛的底壁之间设置有下加热管，所述下加热管与所述电极连接。
6.根据权利要求5所述的氮化硅反应炉温度均匀新结构，其特征是：所述支柱为两个以上，所述下加热管位于相邻所述支柱之间，或者，所述下加热管位于所述支柱和炉膛的侧壁之间，所述下加热管的数量为一个以上。
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