CN207082513U - 一种用于湿法蚀刻槽的防滴液盖板 - Google Patents
一种用于湿法蚀刻槽的防滴液盖板 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型是一种用于湿法蚀刻槽的防滴液盖板，基体的下表面开有多条平行的V型沟槽，从V型沟槽表面开有多个贯穿基体的小海绵孔，每个小海绵孔中均装有小海绵，在相邻条V型沟槽之间开有贯穿基体的条形槽，条形槽与V型沟槽的长度方向平行，条形槽中装有大海绵，基体的上表面为一斜面，本实用新型是一种用于湿法蚀刻槽的防滴液盖板，盖板下表面设有V型斜面，有利于对凝聚的液滴进行导流，将液滴导流至大海绵处吸收，结合V型斜面上设有的小海绵的吸收作用，能够大幅减少盖板面液滴凝聚的现象。并且盖板上表面为斜面，结合碾辊的碾压作用不仅能够将海绵中的液滴挤出，从回收孔中收集，而且能够避免海绵饱和，维护海绵的吸收能力。
Description
技术领域
本实用新型涉及蚀刻装置领域，尤其涉及一种用于湿法蚀刻槽的防滴液盖板。
背景技术
湿法刻蚀工艺主要是指采用液态化学品对被刻蚀物进行去除的技术。由于刻蚀槽内会产生大量的酸雾及其它有害气体，现有技术中，采用在刻蚀槽的开口处覆盖盖板来封闭刻蚀槽，防止其内部的酸雾及其它有害气体溢出。但是在生产过程中，酸性液体的挥发和喷淋出的液滴容易附着在湿法刻蚀槽的盖板上，附着在盖板上的酸性小液滴逐渐累积，将逐渐凝结成大的液滴，最终掉落到基板上，导致基板刻蚀不均，影响产品合格率。
实用新型内容
本实用新型旨在解决现有技术的不足，而提供一种用于湿法蚀刻槽的防滴液盖板。
本实用新型为实现上述目的，采用以下技术方案：一种用于湿法蚀刻槽的防滴液盖板，其特征在于，包括基体和碾辊，所述基体为板状，所述基体的下表面开有多条平行的V型沟槽，从所述V型沟槽表面开有多个贯穿所述基体的小海绵孔，每个所述小海绵孔中均装有小海绵，所述小海绵的两端分别伸出所述基体的上下表面之外，
在相邻条所述V型沟槽之间开有贯穿所述基体的条形槽，所述条形槽与所述V型沟槽的长度方向平行，所述条形槽中装有大海绵，所述大海绵的上下两端分别伸出所述基体的上下表面之外，
所述基体的上表面为一斜面，在所述基体较高的一侧上表面向外延伸设有隔板一，在所述基体较低的一侧上表面向外延伸设有隔板二，所述碾辊位于所述基体的隔板一上。
特别的，所述隔板二表面朝下开有斜槽，所述斜槽的底部设有用于连接回收管道的回收孔。
特别的，所述大海绵和所述小海绵中含有起防腐蚀作用的环氧丙烷。
特别的，所述基体的材质为聚偏氟乙烯。
本实用新型的有益效果是：本实用新型是一种用于湿法蚀刻槽的防滴液盖板，盖板下表面设有V型斜面，有利于对凝聚的液滴进行导流，将液滴导流至大海绵处吸收，结合V型斜面上设有的小海绵的吸收作用，能够大幅减少盖板面液滴凝聚的现象。并且盖板上表面为斜面，结合碾辊的碾压作用不仅能够将海绵中的液滴挤出，从回收孔中收集，而且能够避免海绵饱和，维护海绵的吸收能力。
附图说明
图1为本实用新型的上表面的结构示意图；
图2为本实用新型的下表面的结构示意图；
图3为本实用新型的基体较高的一侧的主视图；
图中：1-基体；2-隔板一；3-碾辊；4-隔板二；5-斜槽；6-回收孔；7-大海绵；8-小海绵；9-V型沟槽；
以下将结合本实用新型的实施例参照附图进行详细叙述。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明：
如图1、2、3所示，一种用于湿法蚀刻槽的防滴液盖板，其特征在于，包括基体1和碾辊3，所述基体1为板状，所述基体1的下表面开有多条平行的V型沟槽9，从所述V型沟槽9表面开有多个贯穿所述基体1的小海绵孔，每个所述小海绵孔中均装有小海绵8，所述小海绵8的两端分别伸出所述基体1的上下表面之外，
在相邻条所述V型沟槽9之间开有贯穿所述基体1的条形槽，所述条形槽与所述V型沟槽9的长度方向平行，所述条形槽中装有大海绵7，所述大海绵7的上下两端分别伸出所述基体1的上下表面之外，
所述基体1的上表面为一斜面，在所述基体1较高的一侧上表面向外延伸设有隔板一2，在所述基体1较低的一侧上表面向外延伸设有隔板二4，所述碾辊3位于所述基体1的隔板一2上。
特别的，所述隔板二4表面朝下开有斜槽5，所述斜槽5的底部设有用于连接回收管道的回收孔6。
特别的，所述大海绵7和所述小海绵8中含有起防腐蚀作用的环氧丙烷。
特别的，所述基体1的材质为聚偏氟乙烯。
本实用新型工作时，盖板安装于湿法刻蚀设备上，刻蚀槽中的刻蚀液挥发后一部分直接被V型沟槽9上的小海绵8吸收，一部分在盖板的基体1的下表面凝聚，顺着V型沟槽9的槽壁流向大海绵7被吸收，从而避免凝聚的液滴滴落在基板表面的问题。定时地将位于隔板一2上的碾辊3沿着基体1上表面的斜面滚动，在大海绵7和小海绵8上进行碾压，将海绵中吸收的液体挤出，顺着基体1表面的斜面滑落到隔板二4上，经过回收孔6收集起来。
上面结合附图对本实用新型进行了示例性描述，显然本实用新型具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本实用新型的方法构思和技术方案进行的各种改进，或未经改进直接应用于其它场合的，均在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种用于湿法蚀刻槽的防滴液盖板，其特征在于，包括基体(1)和碾辊(3)，所述基体(1)为板状，所述基体(1)的下表面开有多条平行的V型沟槽(9)，从所述V型沟槽(9)表面开有多个贯穿所述基体(1)的小海绵孔，每个所述小海绵孔中均装有小海绵(8)，所述小海绵(8)的两端分别伸出所述基体(1)的上下表面之外，
在相邻条所述V型沟槽(9)之间开有贯穿所述基体(1)的条形槽，所述条形槽与所述V型沟槽(9)的长度方向平行，所述条形槽中装有大海绵(7)，所述大海绵(7)的上下两端分别伸出所述基体(1)的上下表面之外，
所述基体(1)的上表面为一斜面，在所述基体(1)较高的一侧上表面向外延伸设有隔板一(2)，在所述基体(1)较低的一侧上表面向外延伸设有隔板二(4)，所述碾辊(3)位于所述基体(1)的隔板一(2)上。
2.根据权利要求1所述的一种用于湿法蚀刻槽的防滴液盖板，其特征在于，所述隔板二(4)表面朝下开有斜槽(5)，所述斜槽(5)的底部设有用于连接回收管道的回收孔(6)。
3.根据权利要求2所述的一种用于湿法蚀刻槽的防滴液盖板，其特征在于，所述大海绵(7)和所述小海绵(8)中含有起防腐蚀作用的环氧丙烷。
4.根据权利要求2所述的一种用于湿法蚀刻槽的防滴液盖板，其特征在于，所述基体(1)的材质为聚偏氟乙烯。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201720645433.1U CN207082513U (zh) | 2017-06-06 | 2017-06-06 | 一种用于湿法蚀刻槽的防滴液盖板 |
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Publications (1)
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| CN207082513U true CN207082513U (zh) | 2018-03-09 |
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| CN (1) | CN207082513U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109166809A (zh) * | 2018-07-12 | 2019-01-08 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 湿蚀刻设备 |
| CN114472362A (zh) * | 2021-12-30 | 2022-05-13 | 华海清科股份有限公司 | 晶圆清洗装置 |
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2017
- 2017-06-06 CN CN201720645433.1U patent/CN207082513U/zh active Active
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