CN207031608U - 一种晶体生长炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种晶体生长炉，包括壳体及位于壳体内的容置空间，壳体内部安装有电热丝，壳体上安装有温度控制器，所述晶体生长炉还包括支架和横梁，所述支架与所述壳体连接；所述支架在竖直方向上设有滑轨，所述横梁与所述滑轨连接，所述横梁上安装有晶转电机，所述晶转电机连接有托杆，所述壳体上有与所述托杆配合的孔，所述托杆穿过所述孔；所述支架与所述横梁在竖直方向上通过丝杠连接。本实用新型提供的晶体生长炉，可先通过晶转电机带动拖杆从而带动坩埚旋转，并且可定时地通过丝杠调节坩埚的高度，从而使原料受热更均匀。

Description

一种晶体生长炉

技术领域

本实用新型涉及晶体生长设备领域，尤其是一种晶体生长炉。

背景技术

晶体生长炉是常用的一种晶体生长设备，如图1所示是现有的一种晶体生长炉，包括壳体101及位于壳体内的容置空间102，壳体内部安装有电热丝103和温度控制器104，使用时将装有原料的坩埚置于容置空间中进行加热和处理。这种结构的晶体生长炉在对坩埚加热的过程中，很容易加热不均匀从而影响晶体的质量。

实用新型内容

因此，本实用新型提供了一种晶体生长炉，以解决上述问题。

本实用新型的技术方案是：一种晶体生长炉，包括壳体及位于壳体内的容置空间，壳体内部安装有电热丝，所述壳体上安装有温度控制器，所述晶体生长炉还包括支架和横梁，所述支架与所述壳体连接；所述支架在竖直方向上设有滑轨，所述横梁与所述滑轨连接，所述横梁上安装有晶转电机，所述晶转电机连接有托杆，所述壳体上有与所述托杆配合的孔，所述托杆穿过所述孔；所述支架与所述横梁在竖直方向上通过丝杠连接。

可选的，所述丝杠包括丝杆和螺套，所述螺套安装于所述横梁上，所述支架在竖直方向上设置有轴承，所述丝杆穿过所述螺套与轴承连接，所述丝杆上连接有升降电机。

可选的，所述壳体包括夹层，所述夹层内填充有保温材料，所述容置空间包括多个温度区，每个所述温度区内安装有热电偶，所述热电偶与所述温度控制器连接，多个所述温度区之间设置有隔热板，所述隔热板上有用于坩埚和托杆通过的空间。

可选的，所述壳体内部安装有热电偶，所述热电偶与所述温度控制器连接。

可选的，所述支架上安装有电机控制器，所述电机控制器与所述晶转电机及升降电机连接。

可选的，所述支架上固定有固定块，所述固定块内安装有两端密封的透明玻璃管，所述透明玻璃管沿圆周方向设置有两个凸起条，两个所述凸起条的延长面经过所述透明玻璃管的轴线并且两个所述凸起条的延长面之间的夹角为90度；所述透明玻璃管内有透明液体及浮球，所述浮球通过线连接于所述透明玻璃管的一端的中心位置；所述第一立柱或所述第二立柱上有开口，所述开口上有与所述开口大小和形状配合的透明塑料板，所述透明塑料板上有与所述凸起条配合的凹槽，所述透明塑料板通过所述凹槽卡在所述开口上。

可选的，所述螺套为滚珠螺套。

本实用新型提供的晶体生长炉，可先通过晶转电机带动拖杆从而带动坩埚旋转，并且可定时的通过丝杠调节坩埚的高度，从而使原料受热更均匀。

附图说明

图1现有的一种晶体生长炉的结构示意图；

图2是本实用新型提供的一种晶体生长炉的结构示意图；

图3是本实用新型提供的另一种晶体生长炉的结构示意图；

图4是本实用新型提供的再一种晶体生长炉的结构示意图；

图5是图4在A处的放大图；

其中，101、壳体；102、容置空间；103、电热丝；104、温度控制器； 105、支架；106、横梁；107、滑轨；108、晶转电机；109、托杆；110、孔； 111、丝杆；112、螺套；113、保温材料；114、隔热板；115、热电偶；116、轴承；117、固定块；118、透明玻璃管；119、凸起条；120、透明液体；121、浮球；122、线；123、开口。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的技术方案详细描述。

参见图2，是本实用新型提供的一种晶体生长炉的结构示意图，包括壳体101及位于壳体内的容置空间102，壳体内部安装有电热丝103，所述壳体上安装有温度控制器104，所述温度控制器可以是通过热电偶控制温度，热电偶安装于壳体内部，与所述温度控制器连接，所述晶体生长炉还包括支架 105和横梁106，所述支架与所述壳体连接；所述支架在竖直方向上设有滑轨 107，所述横梁与所述滑轨连接，所述横梁上安装有晶转电机108，所述晶转电机连接有托杆109，所述壳体上有与所述托杆配合的孔110，所述托杆穿过所述孔；所述支架与所述横梁在竖直方向上通过丝杠连接。其中，丝杠可以是包括丝杆111和螺套112，螺套优选使用滚珠螺套，所述螺套安装于所述横梁上，所述支架在竖直方向上设置有轴承116，一般的轴承可以镶嵌在支架上，当然也可以焊接在支架上，此处不做具体限定，所述丝杆穿过所述螺套与轴承连接，所述丝杆上连接有升降电机，升降电机可以是伺服电机、步进电机等。

本实用新型提供的晶体生长炉，可先通过晶转电机带动拖杆从而带动坩埚旋转，并且可定时地通过丝杠调节坩埚的高度，从而使原料受热更均匀。

参见图3，申请人还对晶体生长炉做了如下改进：所述壳体包括夹层，所述夹层内填充有保温材料113，所述容置空间包括两个温度区，每个所述温度区内安装有热电偶115，热电偶与所述温度控制器连接，温度控制器可以使用一个，也可以使用多个，可根据具体情况设置，两个所述温度区之间设置有隔热板114，所述隔热板上有用于坩埚和托杆通过的空间，其中，温度区还可以是多个，数量可根据不同晶体生长要求决定。

本申请中，还可以在支架上安装电机控制器，所述电机控制器与所述晶转电机及升降电机连接，从而控制晶转电机及升降电机运行，当然也可以另外设置控制系统精确控制晶转电机。本申请中晶转电机和升降电机可以使用伺服电机、步进电机等。

参见图4和图5，本申请中所述支架上固定有固定块117，所述固定块内安装有两端密封的透明玻璃管118，所述透明玻璃管沿圆周方向设置有两个凸起条119，两个所述凸起条的延长面经过所述透明玻璃管的轴线并且两个所述凸起条的延长面之间的夹角为90度；所述透明玻璃管内有透明液体120 及浮球121，所述浮球通过线122连接于所述透明玻璃管的一端的中心位置；安装透明玻璃管时，透明玻璃管连线的一端位于未连线的一端的正下方，所述第一立柱上有开口123，所述开口上有与所述开口大小和形状配合的透明塑料板，用于保护透明玻璃管，所述透明塑料板上有与所述凸起条配合的凹槽，所述透明塑料板通过所述凹槽卡在所述开口上。这种结构，在对晶体生长炉固定时，可以通过观察线与两个凸起条的偏移可看出晶体生长炉安放位置是否平整，从而可防止晶体生长炉固定倾斜。具体的，从两个凸起条处分别看线都没有偏移时说明晶体生长炉安放位置平整。当然透明玻璃管也可以安装于壳体内，其结构和原理与安装于第一立柱内相同，此处不再赘述。

上述实施例只是本实用新型的例示，不应当以说明书及附图的例示性实施例描述限制专利权的保护范围。

上面结合附图对本实用新型优选的具体实施方式和实施例作了详细说明，但是本实用新型并不限于上述实施方式和实施例，在本领域技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型构思的前提下作出各种变化。在权利要求中，不应将位于括号之间的任何参考符号构造成对权利要求的限制。单词“包含”不排除存在未列在权利要求中的元件或步骤。单词第一、第二以及第三等的使用不表示任何顺序，可将这些单词解释为名称。

Claims (6)

1.一种晶体生长炉，包括壳体及位于壳体内的容置空间，壳体内部安装有电热丝，所述壳体上安装有温度控制器，其特征在于，

所述晶体生长炉还包括支架和横梁，所述支架与所述壳体连接；

所述支架在竖直方向上设有滑轨，所述横梁与所述滑轨连接，所述横梁上安装有晶转电机，所述晶转电机连接有托杆，所述壳体上有与所述托杆配合的孔，所述托杆穿过所述孔；

所述支架与所述横梁在竖直方向上通过丝杠连接。

2.根据权利要求1所述的晶体生长炉，其特征在于，所述丝杠包括丝杆和螺套，所述螺套安装于所述横梁上，所述支架在竖直方向上设置有轴承，所述丝杆穿过所述螺套与轴承连接，所述丝杆上连接有升降电机。

3.根据权利要求2所述的晶体生长炉，其特征在于，所述壳体包括夹层，所述夹层内填充有保温材料，所述容置空间包括多个温度区，每个所述温度区内安装有热电偶，所述热电偶与所述温度控制器连接，多个所述温度区之间设置有隔热板，所述隔热板上有用于坩埚和托杆通过的空间。

4.根据权利要求1或2所述的晶体生长炉，其特征在于，所述壳体内部安装有热电偶，所述热电偶与所述温度控制器连接。

5.根据权利要求2所述的晶体生长炉，其特征在于，所述支架上安装有电机控制器，所述电机控制器与所述晶转电机及升降电机连接。

6.根据权利要求2所述的晶体生长炉，其特征在于，所述螺套为滚珠螺套。