CN207047364U

CN207047364U - 一种晶体生长炉架

Info

Publication number: CN207047364U
Application number: CN201720842274.4U
Authority: CN
Inventors: 翟海峰
Original assignee: Fuzhou Keleisi Testing Equipment Co Ltd
Current assignee: Fuzhou Keleisi Testing Equipment Co Ltd
Priority date: 2017-07-12
Filing date: 2017-07-12
Publication date: 2018-02-27
Anticipated expiration: 2027-07-12

Abstract

本实用新型提供了一种晶体生长炉架，包括底座、第一立柱、第二立柱、顶架、横梁、平衡铁，第一立柱和第二立柱分别与底座和所述顶架连接，横梁的一端活动的套于第一立柱上，横梁的另一端固定有晶转电机；顶架上安装有导向轮，平衡铁上连接有拉绳，拉绳通过导向轮与横梁连接；平衡铁活动的套于第二立柱上，横梁包括平衡梁、第一调节梁和第二调节梁，第二调节梁上固定有晶转电机，第一调节梁的形状为一端开口的方形，开口的方向背向第一立柱，第一调节梁的另一端与平衡梁连接，开口内安装有固定杆，第二调节梁活动的套于所述固定杆上，所述第一调节梁和所述第二调节梁通过丝杠连接。本实用新型提供的晶体生长炉架，可提高调节精确度。

Description

一种晶体生长炉架

技术领域

本实用新型涉及晶体生长设备领域，尤其是一种晶体生长炉架。

背景技术

晶体生长炉架是常用的一种晶体生长设备，如图1所示是现有的一种晶体生长炉架，包括底座11、第一立柱12、第二立柱13、顶架14、横梁16、平衡铁17，第一立柱12和第二立柱13分别与底座和顶架连接，横梁的一端活动地套于第一立柱上，另一端固定有晶转电机，顶架上安装有导向轮15，平衡铁上连接有拉绳18，拉绳通过导向轮与横梁连接，平衡铁与第二立柱接触。使用时将晶转电机连接籽晶杆，通过拉动平衡铁调节横梁的高度从而调节籽晶杆的高度以配合晶体生长炉使用。这种结构的晶体生长炉架，通过拉动平衡铁调节横梁的高度从而调节籽晶杆的高度，调节精确度差。

实用新型内容

因此，本实用新型提供了一种晶体生长炉架，以解决上述问题。

本实用新型的技术方案是：一种晶体生长炉架，包括底座、第一立柱、第二立柱、顶架、横梁、平衡铁，所述第一立柱和第二立柱分别与所述底座和所述顶架连接，所述横梁的一端活动地套于第一立柱上，所述横梁的另一端固定有晶转电机；所述顶架上安装有导向轮，所述平衡铁上连接有拉绳，所述拉绳通过所述导向轮与所述横梁连接；所述平衡铁活动地套于第二立柱上，所述横梁包括平衡梁、第一调节梁和第二调节梁，所述第二调节梁上固定有晶转电机，所述第一调节梁的形状为一端开口的方形，所述开口的方向背向所述第一立柱，所述第一调节梁的另一端与所述平衡梁连接，所述开口内安装有固定杆，所述第二调节梁活动地套于所述固定杆上，所述第一调节梁和所述第二调节梁通过丝杠连接。

可选的，所述丝杠包括丝杆和螺套，所述螺套安装于所述第二调节梁上，所述第一调节梁在竖直方向上设置有轴承，所述丝杆穿过所述轴承与螺套。

可选的，所述丝杆上还安装有提拉电机。

可选的，所述平衡梁上安装有第一直线轴承，所述平衡梁通过第一直线轴承活动地套于第一立柱上，所述平衡铁上安装有第二直线轴承，所述平衡铁通过第二直线轴承活动地套于第二立柱上。

可选的，所述第一调节梁与所述第二调节梁在竖直方向上通过燕尾槽及与所述燕尾槽配合的凸起活动连接。

可选的，所述底座上设置有固定孔。

可选的，所述第一立柱或所述第二立柱内安装有两端密封的透明玻璃管，所述透明玻璃管沿圆周方向设置有两个凸起条，两个所述凸起条的延长面经过所述透明玻璃管的轴线并且两个所述凸起条的延长面之间的夹角为90度；所述透明玻璃管内有透明液体及浮球，所述浮球通过线连接于所述透明玻璃管的一端的中心位置；所述第一立柱或所述第二立柱上有观察口，所述观察口上有与所述观察口大小和形状配合的透明塑料板，所述透明塑料板上有与所述凸起条配合的凹槽，所述透明塑料板通过所述凹槽卡在所述观察口上。

可选的，所述晶体生长炉架上还安装有电机控制器，所述电机控制器与所述晶转电机连接。

可选的，所述平衡梁包括固定梁和连接梁，所述固定梁上安装有第一直线轴承，所述连接梁与所述第一调节梁连接；所述固定梁和连接梁在水平方向上通过凹槽和与所述凹槽配合的凸起活动连接，所述凹槽上设置有螺纹孔，所述螺纹孔上安装有紧固旋钮。

可选的，所述螺套为滚珠螺套。

本实用新型提供的晶体生长炉架，可先通过拉动平衡铁粗略调节横梁的高度，再通过丝杠调节第二调节梁与第一调节梁的相对位置从而调节晶转电机的高度，从而可提高调节精确度。

附图说明

图1现有的一种晶体生长炉架的结构示意图；

图2是本实用新型提供的一种晶体生长炉架的结构示意图；

图3是本实用新型提供的一种晶体生长炉架的结构示意图；

图4是图3中的本实用新型提供的一种晶体生长炉架的第一调节梁和第二调节梁的拆开状态示意图；

图5是本实用新型提供的一种晶体生长炉架的结构示意图；

图6是图5在A处的放大图；

图7是本实用新型提供的一种晶体生长炉架的结构示意图；

图8是图7中的平衡梁的拆开状态示意图；

其中，11、底座；12、第一立柱；13、第二立柱；14、顶架；15、导向轮；16、横梁；161、平衡梁；162、第一调节梁；163、第二调节梁；164、固定杆；165、丝杆；166、螺套；167、轴承；168、提拉电机；17、平衡铁； 18、拉绳；19、晶转电机；20、第一直线轴承；21、第二直线轴承；22、固定梁；23、连接梁；24、紧固旋钮；25、螺纹孔；26、凹槽；27、与凹槽配合的凸起；30、燕尾槽；31、与燕尾槽配合的凸起；36、固定孔；37、透明玻璃管；38、凸起条；39、透明液体；40、浮球；41、线；42、观察口。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的技术方案详细描述。

参见图2，是本实用新型提供的一种晶体生长炉架的结构示意图，该晶体生长炉架包括底座11、第一立柱12、第二立柱13、顶架14、横梁、平衡铁17，所述第一立柱和第二立柱分别与所述底座和所述顶架连接，所述横梁的一端活动地套于第一立柱上，所述横梁的另一端固定有晶转电机19；所述顶架上安装有导向轮15，所述平衡铁上连接有拉绳18，所述拉绳通过所述导向轮与所述横梁连接；所述平衡铁活动地套于第二立柱上，所述横梁包括平衡梁161、第一调节梁162和第二调节梁163，所述第二调节梁上固定有晶转电机，所述第一调节梁的形状为一端开口的方形，所述开口的方向背向所述第一立柱，所述第一调节梁的另一端与所述平衡梁连接，所述开口内安装有固定杆164，所述第二调节梁活动地套于所述固定杆上，所述第一调节梁和所述第二调节梁通过丝杠连接，丝杠优选使用滚珠丝杠，具体的，所述丝杠包括丝杆165和螺套166，螺套优选使用滚珠螺套，所述螺套安装于所述第二调节梁上，所述第一调节梁在竖直方向上设置有轴承167，所述丝杆穿过所述轴承与螺套，丝杆与轴套可以过盈配合或直接焊接，丝杆上可以还安装有提拉电机168，通过提拉电机调节第二调节梁与第一调节梁的相对位置方便快捷，尤其是再配合上电机控制器，可大大提高调节的精确度。底座上最好设置有固定孔36以方便将晶体生长炉架固定住，横梁和平衡铁上最好还设置紧固旋钮以方便将横梁和平衡铁在第一立柱和第二立柱上定位。

参见图3，申请人还对晶体生长炉架做了如下改进：所述平衡梁上安装有第一直线轴承20，所述平衡梁通过第一直线轴承活动地套于第一立柱上，所述平衡铁上安装有第二直线轴承21，所述平衡铁通过第二直线轴承活动地套于第二立柱上。通过第二直线轴承活动地套于第二立柱上，从而可防止平衡铁在使用时晃动，通过第一直线轴承活动地套于第一立柱上，这样可大大减小横梁与立柱之间摩擦力，调节方便省力。

参见图4，所述第一调节梁与所述第二调节梁在竖直方向上还可以通过燕尾槽30及与所述燕尾槽配合的凸起31活动连接。这种结构，可承担支撑杆在竖直方向以外的一部分力，并且有利于第二调节梁平衡。

参见图5和图6，本申请中，所述第一立柱内安装有两端密封的透明玻璃管37，所述透明玻璃管沿圆周方向设置有两个凸起条38，两个所述凸起条的延长面经过所述透明玻璃管的轴线并且两个所述凸起条的延长面之间的夹角为90度；所述透明玻璃管内有透明液体39及浮球40，所述浮球通过线41 连接于所述透明玻璃管的一端的中心位置；安装透明玻璃管时，透明玻璃管连线的一端位于未连线的一端的正下方，所述第一立柱上有观察口42，所述观察口上有与所述观察口大小和形状配合的透明塑料板，用于保护透明玻璃管，所述透明塑料板上有与所述凸起条配合的凹槽，所述透明塑料板通过所述凹槽卡在所述观察口上。这种结构，在对晶体生长炉架固定时，可以通过观察线与两个凸起条的偏移可看出晶体生长炉架安放位置是否平整，从而可防止晶体生长炉架固定倾斜。具体的，从两个凸起条处分别看线都没有偏移时说明晶体生长炉架安放位置平整。当然透明玻璃管也可以安装于第二立柱内，其结构和原理与安装于第一立柱内相同，此处不再赘述。

为了方便调节晶转电机，所述晶体生长炉架上还安装有电机控制器，用于控制晶转电机的转速、正反转等以防止籽晶在干锅里旋转时急启急停损伤晶体，所述电机控制器与所述晶转电机连接，电机控制器可以安装于顶架、底座、横梁等不妨碍操作的地方，当然也可以另外设置控制系统精确控制晶转电机，比如使用PLC控制晶转电机。本申请中晶转电机可以使用伺服电机、步进电机等。

参见图7和图8，所述平衡梁包括固定梁22和连接梁23，所述固定梁上安装有第一直线轴承，所述连接梁与所述第一调节梁连接；所述固定梁和连接梁在水平方向上通过凹槽和与所述凹槽配合的凸起活动连接，所述凹槽上设置有螺纹孔25，所述螺纹孔上安装有紧固旋钮24，上述的紧固旋钮也可以是紧固螺栓。这种结构，连接梁在水平方向上可相对固定梁转动，从而可微量调节晶转电机在水平方向运动，使晶体生长炉架使用更灵活方便。

上述实施例只是本实用新型的例示，不应当以说明书及附图的例示性实施例描述限制专利权的保护范围。

上面结合附图对本实用新型优选的具体实施方式和实施例作了详细说明，但是本实用新型并不限于上述实施方式和实施例，在本领域技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型构思的前提下作出各种变化。在权利要求中，不应将位于括号之间的任何参考符号构造成对权利要求的限制。单词“包含”不排除存在未列在权利要求中的元件或步骤。单词第一、第二以及第三等的使用不表示任何顺序，可将这些单词解释为名称。

Claims

1.一种晶体生长炉架，包括底座、第一立柱、第二立柱、顶架、横梁、平衡铁，所述第一立柱和第二立柱分别与所述底座和所述顶架连接，所述横梁的一端活动地套于第一立柱上，所述横梁的另一端固定有晶转电机；所述顶架上安装有导向轮，所述平衡铁上连接有拉绳，所述拉绳通过所述导向轮与所述横梁连接；其特征在于，

所述平衡铁活动地套于第二立柱上，所述横梁包括平衡梁、第一调节梁和第二调节梁，所述第二调节梁上固定有晶转电机，所述第一调节梁的形状为一端开口的方形，所述开口的方向背向所述第一立柱，所述第一调节梁的另一端与所述平衡梁连接，所述开口内安装有固定杆，所述第二调节梁活动地套于所述固定杆上，所述第一调节梁和所述第二调节梁通过丝杠连接。

2.根据权利要求1所述的晶体生长炉架，其特征在于，所述丝杠包括丝杆和螺套，所述螺套安装于所述第二调节梁上，所述第一调节梁在竖直方向上设置有轴承，所述丝杆穿过所述轴承与螺套。

3.根据权利要求2所述的晶体生长炉架，其特征在于，所述丝杆上还安装有提拉电机。

4.根据权利要求1-3任一项所述的晶体生长炉架，其特征在于，所述平衡梁上安装有第一直线轴承，所述平衡梁通过第一直线轴承活动地套于第一立柱上，所述平衡铁上安装有第二直线轴承，所述平衡铁通过第二直线轴承活动地套于第二立柱上。

5.根据权利要求1-3任一项所述的晶体生长炉架，其特征在于，所述第一调节梁与所述第二调节梁在竖直方向上通过燕尾槽及与所述燕尾槽配合的凸起活动连接。

6.根据权利要求1所述的晶体生长炉架，其特征在于，所述底座上设置有固定孔。

7.根据权利要求1所述的晶体生长炉架，其特征在于，所述第一立柱或所述第二立柱内安装有两端密封的透明玻璃管，所述透明玻璃管沿圆周方向设置有两个凸起条，两个所述凸起条的延长面经过所述透明玻璃管的轴线并且两个所述凸起条的延长面之间的夹角为90度；

所述透明玻璃管内有透明液体及浮球，所述浮球通过线连接于所述透明玻璃管的一端的中心位置；

所述第一立柱或所述第二立柱上有观察口，所述观察口上有与所述观察口大小和形状配合的透明塑料板，所述透明塑料板上有与所述凸起条配合的凹槽，所述透明塑料板通过所述凹槽卡在所述观察口上。

8.根据权利要求7所述的晶体生长炉架，其特征在于，所述晶体生长炉架上还安装有电机控制器，所述电机控制器与所述晶转电机连接。

9.根据权利要求4所述的晶体生长炉架，其特征在于，所述平衡梁包括固定梁和连接梁，所述固定梁上安装有第一直线轴承，所述连接梁与所述第一调节梁连接；

所述固定梁和连接梁在水平方向上通过凹槽和与所述凹槽配合的凸起活动连接，所述凹槽上设置有螺纹孔，所述螺纹孔上安装有紧固旋钮。

10.根据权利要求2所述的晶体生长炉架，其特征在于，所述螺套为滚珠螺套。