CN207031530U - 一种真空光学镀膜装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空光学镀膜装置，包括旋转马达、超声波除尘装置、连接杆、承载平台、喷涂装置、挡流板、真空镀膜室、气体控制阀门、进气管、蒸发源、气体过滤装置、进出气口和温度控制装置，本实用通过设置的超声波装置对待镀件进行除非，然后通过气流的冲击和进出气控制实现真空环境中的除尘，避免现采用的待镀件除尘后再进入真空室造成的污染，同时，本实用新型还通过设置的温控系统、喷涂装置和气体流量提供极大的提高了的光学镀膜的质量，本实用新型的镀膜表面厚度均匀，并且降低了镀膜成本。

Description

一种真空光学镀膜装置

技术领域

本实用新型属于光学仪器设备，尤其涉及一种真空光学镀膜装置。

背景技术

光学零件真空镀膜是光学零件加工中必不可少的一道工序，光学零件被镀膜后，可改变光在光学零件表面的光谱透、反射性能。光学镀膜是用物理或化学的方法在材料表面镀上一层透明的电解质膜，或镀一层金属膜，目的是改变材料表面的反射和透射特性.在可见光和红外线波段范围内，大多数金属的反射率都可达到78％～98％，但不可高于98％。无论是对于CO2激光，采用铜、钼、硅、锗等来制作反射镜，采用锗、砷化镓、硒化锌作为输出窗口和透射光学元件材料，还是对于YAG激光采用普通光学玻璃作为反射镜、输出镜和透射光学元件材料，都不能达到全反射镜的99％以上要求。不同应用时输出镜有不同透过率的要求，因此必须采用光学镀膜方法。对于CO2激光灯中红外线波段，常用的镀膜材料有氟化钇、氟化镨、锗等；对于YAG激光灯近红外波段或可见光波段，常用的镀膜材料有硫化锌、氟化镁、二氧化钛、氧化锆等。除了高反膜、增透膜之外，还可以镀对某波长增反射、对另一波长增透射的特殊膜，如激光倍频技术中的分光膜等。光学镀膜的工艺：将素材表面清洁干净→喷底UV→光学电镀→喷光学电镀底水→喷一层有色精涂层→喷一层面UV→下一道工序。一般素材在光学镀膜后，喷有色漆会掉，附着力达不到要求，为些东莞炅盛塑胶科技有限公司研发了出一款专业针对光学镀膜后附着力问题，能有效提高镀膜与色精涂层的附着力→即为光学镀膜处理水。

实用新型内容

实用新型目的:针对上述现有镀膜技术的不足，解决各种光学薄膜和光电功能多层薄膜以及光电微系统制备的需求，本实用新型提供一种降低镀膜成本、容易实现镀膜均匀性的光学镀膜装置。

技术方案：本实用新型所述的一种真空光学镀膜装置，包括旋转马达、超声波除尘装置、连接杆、承载平台、喷涂装置、挡流板、真空镀膜室、气体控制阀门、进气管、蒸发源、气体过滤装置、进出气口和温度控制装置，所述的旋转马达通过连接件与承载平台连接，所述的挡流板可旋转设置在承载平台的下方，所述的承载平台下方贴合设置有的喷涂装置，所述的真空镀膜室上部设有的超声波除尘装置，所述的真空镀膜室底部设有蒸发源、气体过滤装置、所述的气体过滤装置通过气体控制阀门和进气管与真空镀膜室连接，所述的真空镀膜室位于超声波除尘装置的左侧下方设有温度控制装置。

进一步的，所述的超声波除尘装置包括超声波发生器和超声波换能器电连接，所述超声波换能器和所述转盘机械连接；所述的温度控制装置包括温度传感器和红外线辐射加热装置；所述的喷涂装置包括喷头，且设有空腔室用于储存光学镀膜处理水；所述的气体过滤装置包括气体过滤网、气泵和进出气口，并且进气管有两组，进气管与真空镀膜室的连接处均设有气体控制阀门和气体控制阀门；所述的控制阀门与气泵通过电联。

有益效果：本实用新型相比现有技术，具有以下显著优势：第一、本实用新型通过真空腔室设置的超声波除尘装置和底部气体过滤装置的结合，除尘力度与效果更好；第二、本实用新型设有温度控制系统，并且可以的适时的增补温度，提高了光学镀膜的质量；第三、本实用新型具有喷涂装置，该装置用于储存光学电镀底水、有色精涂层或者光学电镀处理水，提高镀膜质量；第四、本实用新型设置的气体装置提供惰性气体、二氧化碳等镀膜处理前后的气体等，使得镀膜均匀。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型所述的连接杆的示意图。

具体实施方式

为了更好的说明本实用新型所述的一种真空光学镀膜装置，下面结合说明书附图和具体实施例做进一步的阐述，本具体实施例作为优选，不对本实用新型的权利保护作出限制。

一种真空镀膜装置，如图1所示，在操作过程中，首先由设置在顶部的旋转马达1通电转动，且转速可调节，与旋转马达1连接的连接杆3带动待镀件的承载平台4转动，进而与其连接的挡流板5通过与连接杆3的外部固定连接，实现转动，在承载平台4下部的喷涂装置5内部储存有电镀处理水等，在承载平台4放置待镀件的位置设有喷头，进行向待镀件表面进行的喷出雾状的电镀处理水，其喷涂装置5通过连接杆内部的电线实现接电控制。真空镀膜室7的上部设置的是超声波除尘装置2，超声波发生器发出高频振荡信号，超声波换能器将高频振荡信号转换成高频机械震荡。由于超声波除尘装置中间连接有连接杆3实现与承载平台4机械连接，承载平台4也会震荡。在震荡的作用下，承载平台4上的待镀件上的灰尘会被除掉，同时，在超声波除尘的同时设置在真空镀膜室7底部的气体过滤装置的阀门801和阀门802、气泵在外接二氧化碳气体下进行充气和排气，形成气流的冲击，提高清理效果，在除尘后通过气泵抽出气体。在镀膜过程中，设置在真空镀膜室7左侧的温度控制装置13通过传感器监视镀膜时的温度，根据具体需要，可以通过红外线辐射加热装置接通电源实施增热。

本实用新型通过实验证明，极大的提高了光学镀膜的质量，待镀件镀膜后合格率有很大的提升，且镀膜均匀，整体效果有明显提升。

Claims (7)

1.一种真空光学镀膜装置，其特征在于：包括旋转马达(1)、超声波除尘装置(2)、连接杆(3)、承载平台(4)、喷涂装置(5)、挡流板(6)、真空镀膜室(7)、气体控制阀门(801)、进气管(9)、蒸发源(10)、气体过滤装置(11)、进出气口(12)和温度控制装置(13)，所述的旋转马达通过连接杆(3)与承载平台(4)连接，所述的挡流板(6)可旋转设置在承载平台(4)的下方，所述的承载平台(4)下方贴合设置有的喷涂装置(5)，所述的真空镀膜室(7)上部设有的超声波除尘装置(2)，所述的真空镀膜室(7)底部设有蒸发源(10)、气体过滤装置(11)、所述的气体过滤装置(11)通过气体控制阀门和进气管(9)与真空镀膜室(7)连接，所述的真空镀膜室(7)位于超声波除尘装置(2)的左侧下方设有温度控制装置(13)。

2.根据权利要求1所述的一种真空光学镀膜装置，其特征在于：所述的超声波除尘装置(2)包括超声波发生器和超声波换能器电连接，所述超声波换能器和承载平台(4)机械连接。

3.根据权利要求1所述的一种真空光学镀膜装置，其特征在于：所述的温度控制装置(13)包括温度传感器和红外线辐射加热装置。

4.根据权利要求1所述的一种真空光学镀膜装置，其特征在于：所述的喷涂装置(5)包括喷头，且设有空腔室用于储存光学镀膜处理水。

5.根据权利要求1所述的一种真空光学镀膜装置，其特征在于：所述的气体过滤装置(11)包括气体过滤网、气泵和进出气口(12)，并且进气管(9)有两组，进气管(9)与真空镀膜室(7)的连接处设有第一气体控制阀门(801)和第二气体控制阀门(802)。

6.根据权利要求1所述的一种真空光学镀膜装置，其特征在于：所述的控制阀门(801)与气泵通过电联。

7.根据权利要求1所述的一种真空光学镀膜装置，其特征在于：所述的连接杆(3)为双层结构，为同心的空心圆柱体，且可旋转连接。