CN207008106U - 自动激光横膜稳定装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供：自动激光横膜稳定装置，包括输出耦合器、温度感应器和输出耦合器角度调整器，输出耦合器上设有若干将输出耦合器均匀等分并测量相应位置温度的温度感应器，温度感应器的电气连接输出耦合器角度调整器，将测量到的数据反馈给输出耦合器角度调整器，通过输出耦合器角度调整器调整输出耦合器角度，达到输出耦合器上的温度均匀。

Description

自动激光横膜稳定装置

技术领域

本发明涉具体是指一种通过测量激光光学中空间温度失衡并在反馈回路中使用这一信号驱动自动执行机构调节该光学对准的自动激光横膜稳定装置。

背景技术

由于一些原因如总体温度改变（不同材料部分的差异膨胀）、激光光束的部分吸收（通过衍射效应或透射组件的体吸收）、等，激光器谐振腔的对准正在随着光机组件构件的温度变化而改变。所产生的小几何变形引起机械和光学系统轴之间的不对准。因此存在模式对称性、聚焦性能和最终加工性能上的变化。

而且，由于对这些局部温度变化的主要贡献在于光学功率的吸收，故这种作用依赖于输出功率并由于在典型应用中功率将会依赖于瞬时工艺要求而不断变化而因此其本性是动态的。于是不可能对此进行一次或全部补偿。

发明内容

本发明针对以上问题，提供一种通过测量激光光学中空间温度失衡并在反馈回路中使用这一信号驱动自动执行机构调节该光学对准的自动激光横膜稳定装置。

本发明的发明目的通过以下方案实现：自动激光横膜稳定装置，包括输出耦合器、温度感应器和输出耦合器角度调整器，输出耦合器上设有若干将输出耦合器均匀等分并测量相应位置温度的温度感应器，温度感应器的电气连接输出耦合器角度调整器，将测量到的数据反馈给输出耦合器角度调整器，通过输出耦合器角度调整器调整输出耦合器角度，达到输出耦合器上的温度均匀。

进一步的，输出耦合器为输出耦合镜片，所述输出耦合镜片的侧面上设有若干将输出耦合镜片均匀等分并测量相应位置温度的温度感应器。

进一步的，温度感应器为4个，将输出耦合镜片四等分。

进一步的，一个温度感应器对应一个输出耦合器角度调整器。

进一步的，输出耦合器角度调整器固定设在输出耦合镜片的侧面对应温度感应器。

进一步的，输出耦合器角度调整器包括导轨和固定在输出耦合镜片的侧面的力臂，力臂设在导轨内，通过导轨发生位移。

进一步的，温度感应器的测量为分段测量，中间设有间隔时间。

本发明的有益效果在于：自动化调节以使能恢复对称的温度分布，而保持光束对称性和工艺性能。

附图说明

图1 为本发明的结构示意图一。

图2为本发明的结构示意图二。

具体实施方式

以下结合具体实施例和附图对本发明作进一步说明：

实施例1，参照附图1-2所示，本发明：自动激光横膜稳定装置，包括输出耦合器1、温度感应器2和输出耦合器角度调整器3，输出耦合器1上设有若干将输出耦合器1均匀等分并测量相应位置温度的温度感应器2，温度感应器2的电气连接输出耦合器角度调整器3，将测量到的数据反馈给输出耦合器角度调整器3，通过输出耦合器角度调整器3调整输出耦合器角度1，达到输出耦合器1上的温度均匀。

自动激光横膜稳定装置，输出耦合器1为输出耦合镜片，所述输出耦合镜片的侧面上设有若干将输出耦合镜片均匀等分并测量相应位置温度的温度感应器2。

自动激光横膜稳定装置，温度感应器2为4个，将输出耦合镜片四等分。

自动激光横膜稳定装置，温度感应器2为圆柱状，且圆柱表面上设有若干咬合槽，咬合槽与输出耦合器1咬合，更好的将监测温度的变化。

自动激光横膜稳定装置，一个温度感应器2对应一个输出耦合器角度调整器。

自动激光横膜稳定装置，输出耦合器角度调整器3固定设在输出耦合镜片的侧面对应温度感应器。

自动激光横膜稳定装置，输出耦合器角度调整器3包括导轨和固定在输出耦合镜片的侧面的力臂，力臂设在导轨内，通过导轨发生位移。

自动激光横膜稳定装置，温度感应器2的测量为分段测量，中间设有间隔时间。

自动激光横膜稳定装置，输出耦合器1为激光光学部件。

自动激光横膜稳定装置，能够自动化调节激光器谐振腔中的动态不对准效应。

自动激光横膜稳定装置，通过测量激光光学部件空间温度的不均衡，并使用反馈圈内的信号，驱动自动促动器来调整光学部件的调试。

自动激光横膜稳定装置，输出耦合器1外圈设有凸起部，凸起部与外圈咬合设置。

自动激光横膜稳定装置，还包括散热法兰、安装法兰、内板。散热法兰和安装法兰合在一起，中间形成一个空腔，且将输出耦合器夹在中间的空腔中，安装法兰另一面设有内板，内板与安装法兰上设有X、Y调整螺丝。

自动激光横膜稳定装置，X、Y调整螺丝为输出耦合器角度调整器3；温度感应器2为4个，将输出耦合镜片四等分，四个温度感应器2为电热偶，其测得的温度分别为A、B、C、D；X轴的不对称性为-A+B-C+D/A+B+C+D; Y轴的不对称性为A+B-C-D/A+B+C+D。

自动激光横膜稳定装置，X、Y调整螺丝设在输出耦合器的两个对应的顶角，且还设有角度调整的枢轴点，枢轴点位于X、Y调整螺丝之间的顶角处，X、Y调整螺丝还连接驱动X、Y调整螺丝的调整器，调整器连接控制器，控制器和电热偶连接。

自动激光横膜稳定装置，所测量的A,B,C,D的温度是用于计算不对称的X和Y。当一个标准的PID系统能够提供一个促动器的信号后，这将对装置进行调试，以便将不对称性减少到0 （仅显示X）。

虽然本发明已通过参考优选的实施例进行了图示和描述，但是，本领域普通技术人员应当了解，可以不限于上述实施例的描述，在权利要求书的范围内，可作出形式和细节上的各种变化。

Claims (7)

1.自动激光横膜稳定装置，包括输出耦合器、温度感应器和输出耦合器角度调整器，其特征在于：输出耦合器上设有若干将输出耦合器均匀等分并测量相应位置温度的温度感应器，温度感应器的电气连接输出耦合器角度调整器，将测量到的数据反馈给输出耦合器角度调整器，通过输出耦合器角度调整器调整输出耦合器角度，达到输出耦合器上的温度均匀。

2.据权利要求1所述的自动激光横膜稳定装置，其特征在于：输出耦合器为输出耦合镜片，所述输出耦合镜片的侧面上设有若干将输出耦合镜片均匀等分并测量相应位置温度的温度感应器。

3.据权利要求2所述的自动激光横膜稳定装置，其特征在于：温度感应器为4个，将输出耦合镜片四等分。

4.据权利要求3所述的自动激光横膜稳定装置，其特征在于：一个温度感应器对应一个输出耦合器角度调整器。

5.根据权利要求4所述的自动激光横膜稳定装置，其特征在于：输出耦合器角度调整器固定设在输出耦合镜片的侧面对应温度感应器。

6.根据权利要求5所述的自动激光横膜稳定装置，其特征在于：输出耦合器角度调整器包括导轨和固定在输出耦合镜片的侧面的力臂，力臂设在导轨内，通过导轨发生位移。

7.根据权利要求5所述的自动激光横膜稳定装置，其特征在于：温度感应器的测量为分段测量，中间设有间隔时间。