CN206902223U - 一种带有冷却装置的真空镀膜腔体 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种带有冷却装置的真空镀膜腔体。该真空镀膜腔体包括真空腔体和冷却装置；所述冷却装置安装于所述真空腔体内部；所述冷却装置包括上部水冷装置、中部水冷装置和下部水冷装置；所述上部水冷装置紧贴所述真空腔体的上壁；所述中部水冷装置凌空架设在所述真空腔体左侧腔壁和右侧腔壁之间；所述下部水冷装置紧贴所述真空腔体的侧壁的下部，沿所述侧壁水平分布。本实用新型公开的真空镀膜腔体使得真空腔体内的温度不至于过高，避免真空腔体因受热发生形变，延长真空腔体的使用寿命。

Description

一种带有冷却装置的真空镀膜腔体

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，特别是涉及一种带有冷却装置的真空镀膜腔体。

背景技术

真空镀膜是指在真空环境下，将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面(通常是非金属材料)，属于物理气相沉积工艺。真空镀膜技术广泛应用到电子、宇航、包装、光伏等技术领域。当利用真空腔体在基片上对某种材料进行真空镀膜时，往往由于沉积反应或工艺要求，需要对基片进行高温加热，加热过程导致真空腔体内部温度过高，长期受热则会使真空腔体内部的机械结构发生形变，从而使真空腔体的功能失效。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种带有冷却装置的真空镀膜腔体，使得真空腔体内的温度不至于过高，避免真空腔体因受热发生形变，延长真空腔体的使用寿命。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下方案：

一种带有冷却装置的真空镀膜腔体，包括真空腔体和冷却装置；所述冷却装置安装于所述真空腔体内部；所述冷却装置包括上部水冷装置、中部水冷装置和下部水冷装置；所述上部水冷装置紧贴所述真空腔体的上壁；所述中部水冷装置凌空架设在所述真空腔体左侧腔壁和右侧腔壁之间；所述下部水冷装置紧贴所述真空腔体的侧壁的下部，沿所述侧壁水平分布。

可选的，所述上部水冷装置包括第一冷却水管、第一水管压块和第一导热板；所述第一冷却水管紧贴所述真空腔体的上壁，且所述第一冷却水管呈蛇形分布；所述第一水管压块为多个，多个所述第一水管压块从下往上压住所述第一冷却水管；每个所述第一水管压块均通过螺钉与所述真空腔体的上壁固定连接；所述第一导热板通过螺钉与每个所述第一水管压块的下表面固定连接。

可选的，所述真空腔体的上壁上设置有第一进水通孔和第一出水通孔；所述第一冷却水管的两端分别为第一进水端与第一出水端；所述第一进水端穿过所述第一进水通孔与外界冷却水源相连；所述第一出水端穿过所述第一出水通孔与外界出水管相连。

可选的，所述第一进水端通过密封装置与所述第一进水通孔密封连接，所述第一出水端通过密封装置与所述第一出水通孔密封连接。

可选的，所述真空腔体内设置有一支架，所述支架将所述中部水冷装置支撑在所述真空腔体的空间内；所述中部水冷装置包括第二冷却水管、第二水管压块和第二导热板；所述第二冷却水管为多个，多个所述第二冷却水管水平排列在同一水平面上，架设在所述真空腔体的左侧腔壁和右侧腔壁之间；所述第二水管压块从上向下压住所述第二冷却水管；每个所述第二冷却水管上的所述第二水管压块均为多个；每个所述第二水管压块均通过螺钉与所述支架固定连接；所述第二导热板通过螺钉与每个所述第二水管压块的上表面固定连接。

可选的，所述第二冷却水管的两端分别为第二进水端和第二出水端；所述第二进水端穿过第二进水通孔与外界冷却水源相连；所述第二出水端穿过第二出水通孔与外界出水管相连；所述第二进水通孔和所述第二出水通孔均设置在所述真空腔体的侧壁上。

可选的，所述第二进水端通过密封装置与所述第二进水通孔密封连接，所述第二出水端通过密封装置与所述第二出水通孔密封连接。

可选的，所述下部水冷装置包括第三冷却水管、第三水管压块和第三导热板；所述第三冷却水管、所述第三水管压块和所述第三导热板依次从外向里设置；所述第三冷却水管紧贴所述真空腔体的侧壁的下部，沿所述侧壁水平分布；所述第三水管压块为多个，多个所述第三水管压块通过螺钉与所述真空腔体的侧壁固定连接，将所述第三冷却水管压在所述侧壁上；所述第三导热板通过螺钉与每个所述第三水管压块固定连接。

可选的，所述第三冷却水管的两端分别为第三进水端和第三出水端；所述第三进水端穿过第三进水通孔与外界冷却水源相连；所述第三出水端穿过第三出水通孔与外界出水管相连；所述第三进水通孔和所述第三出水通孔均设置在所述真空腔体的侧壁上。

可选的，所述第三进水端通过密封装置与所述第三进水通孔密封连接，所述第三出水端通过密封装置与所述第三出水通孔密封连接。

根据本实用新型提供的具体实施例，本实用新型公开了以下技术效果：本实用新型在真空镀膜腔体内设置一个冷却装置，在真空镀膜过程中实时通过水冷的方式降低腔室壁和腔体内部空间的温度，保证了真空腔体内的温度不至于过高，避免真空腔体因受热发生形变，延长真空腔体的使用寿命。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型带有冷却装置的真空镀膜腔体实施例的装置结构图；

图2为本实用新型带有冷却装置的真空镀膜腔体实施例的上部水冷装置的正视图；

图3为本实用新型带有冷却装置的真空镀膜腔体实施例的上部水冷装置的俯视图；

图4为本实用新型带有冷却装置的真空镀膜腔体实施例的上部水冷装置紧贴真空腔体的上壁的放大结构图；

图5为本实用新型带有有冷却装置的真空镀膜腔体实施例的第一进水端与第一进水通孔密封连接的结构图；

图6为本实用新型带有冷却装置的真空镀膜腔体实施例的中部水冷装置的正视图；

图7为本实用新型带有冷却装置的真空镀膜腔体实施例的中部水冷装置紧贴真空腔体的侧壁的放大结构图；

图8为本实用新型带有冷却装置的真空镀膜腔体实施例的下部水冷装置的正视图；

图9为本实用新型带有冷却装置的真空镀膜腔体实施例的中部水冷装置紧贴真空腔体的侧壁的放大结构图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

图1为本实用新型带有冷却装置的真空镀膜腔体实施例的装置结构图。

参见图1，该真空镀膜腔体，包括真空腔体1和冷却装置2；所述冷却装置2安装于所述真空腔体1内部；所述冷却装置2包括上部水冷装置201、中部水冷装置202和下部水冷装置203；所述上部水冷装置201紧贴所述真空腔体1的上壁；所述真空腔体1内设置有一支架3，所述支架3将所述中部水冷装置202支撑在所述真空腔体1的空间内，使所述中部水冷装置202凌空架设在所述真空腔体1左侧腔壁和右侧腔壁之间；所述下部水冷装置203紧贴所述真空腔体1的侧壁的下部，沿所述侧壁水平分布。

在该实施例中，所述真空腔体1为两部分，分别为腔体上部结构和腔体下部，所述腔体上部结构位于所述腔体下部结构的上方，所述腔体上部结构与所述腔体下部结构的截面均为方形，且所述腔体上部结构的截面积大于所述腔体下部结构的截面积。所述上部水冷装置201和所述中部水冷装置202均位于所述腔体上部结构中，所述下部水冷装置203位于所述腔体下部结构中。

本实用新型在真空腔体内设置一个冷却装置，在真空镀膜过程中实时通过水冷的方式降低腔室壁和腔体内部空间的温度，保证了真空腔体内的温度不至于过高，避免真空腔体因受热发生形变，延长真空腔体的使用寿命。本实用新型设置三层水冷装置，既紧贴真空腔体的腔壁分布，又在真空腔体的空间内分布，从而不仅对真空腔体的腔壁进行冷却，还对真空腔体空间内的整体温度进行冷却，实现了对真空腔体的温度的全面均匀冷却。

图2为本实用新型带有冷却装置的真空镀膜腔体实施例的上部水冷装置的正视图。

图3为本实用新型带有冷却装置的真空镀膜腔体实施例的上部水冷装置的俯视图。

图4为本实用新型带有冷却装置的真空镀膜腔体实施例的上部水冷装置紧贴真空腔体的上壁的放大结构图。

参见图2、图3和图4，所述上部水冷装置201包括第一冷却水管2011、第一水管压块2012和第一导热板2013；所述第一冷却水管2011紧贴所述真空腔体1的上壁，所述第一水管压块2012为多个，多个所述第一水管压块2012从下往上压住所述第一冷却水管2011；所述第一水管压块2012的紧贴所述真空腔体1的腔壁的一面设置有多边形槽，所述第一冷却水管2011嵌在所述多边形槽内；每个所述第一水管压块2012均通过螺钉4与所述真空腔体1的上壁固定连接；所述第一导热板2013通过螺钉4与每个所述第一水管压块2012的下表面固定连接；

所述第一冷却水管2011呈蛇形分布；所述第一冷却水管2011包括直线部分和拐角部分；每个直线部分与两个拐角部分首尾相连，且每个拐角部分与两个直线部分首尾相连构成蛇形；所述直线部分被所述第一水管压块2012压住，通过所述第一水管压块2012和所述第一导热板2013进行冷却，所述拐角部分位于所述真空腔体1上壁的边缘且直接暴露在所述真空腔体1中；所述第一导热板2013的面积大于所述第一水管压块2012所覆盖区域的面积，小于所述真空腔体1的上壁的面积，从而能使每个所述第一水管压块2012均能与所述第一导热板2013传递热量。

所述第一导热板2013为金属薄板，所述第一水管压块2012为导热材质制成的块状体。

本实用新型中第一冷却水管与真空腔体的腔壁紧密接触，从而能够直接对腔壁进行冷却，并且冷却效果还可以通过第一水管压块和第一导热板传导到整个真空腔体的空间内，实现了同时对腔壁和腔体空间的冷却。

所述真空腔体1的上壁上设置有第一进水通孔1011和第一出水通孔1012；所述第一冷却水管2011的两端分别为第一进水端2014与第一出水端2015；所述第一进水端2014穿过所述第一进水通孔1011与外界冷却水源相连；所述第一出水端2015穿过所述第一出水通孔1012与外界出水管相连；所述第一进水通孔1011设置在所述真空腔体1的上壁的左侧，所述第一出水通孔1012设置在所述真空腔体1的上壁的右侧。

第一进水端2014与第一进水通孔1011进行连接的结构和第一出水端2015与第一出水通孔1012进行连接的结构相同，均是通过密封装置5进行连接，下面以第一进水端与第一进水通孔密封连接的结构为例进行说明。

图5为本实用新型带有有冷却装置的真空镀膜腔体实施例的第一进水端与第一进水通孔密封连接的结构图。

参见图5，在所述第一进水端2014上套设一个密封水座501，所述密封水座501为环形，内部与所述第一冷却水管2011无缝贴合，外部与所述第一进水通孔1011无缝连接。所述密封水座501的一端设置有紧固挡板502，另一端加工有螺纹；所述紧固挡板502的直径大于所述第一进水通孔1011；所述紧固挡板502位于所述真空腔体1内部，所述螺纹位于所述真空腔体1外部；所述密封水座501通过所述螺纹与一紧固件503连接，利用所述紧固件503沿所述螺纹旋转，使所述紧固挡板502紧贴在所述真空腔体1的内壁上，从而固定住所述密封水座501，实现第一进水端2014与第一进水通孔1011的密封连接。

图6为本实用新型带有冷却装置的真空镀膜腔体实施例的中部水冷装置的正视图。

图7为本实用新型带有冷却装置的真空镀膜腔体实施例的中部水冷装置紧贴真空腔体的侧壁的放大结构图。

参见图6和图7，所述中部水冷装置202包括第二冷却水管2021、第二水管压块2022和第二导热板2023；所述第二冷却水管为2021多个，多个所述第二冷却水管2021水平排列在同一水平面上，架设在所述真空腔体1的左侧腔壁和右侧腔壁之间；所述第二水管压块2022从上向下压住所述第二冷却水管2021；每个所述第二冷却水管2021上的所述第二水管压块2022均为多个；每个所述第二水管压块2022均通过螺钉4与所述支架3固定连接；所述第二水管压块2022的紧贴所述支架3的一面设置有多边形槽，所述第二冷却水管2022嵌在所述多边形槽内；所述第二导热板2023通过螺钉4与每个所述第二水管压块2022的上表面固定连接。

所述第二导热板2023为金属薄板，所述第二水管压块2022为导热材质制成的块状体。

本实用新型中第二冷却水管的冷却效果通过第二水管压块和第二导热板传导到整个真空腔体的空间内，实现了对腔体空间的冷却。

所述第二冷却水管2021的两端分别为第二进水端2024和第二出水端2025；所述第二进水端2024穿过第二进水通孔1021与外界冷却水源相连；所述第二出水端2025穿过第二出水通孔1022与外界出水管相连；所述第二进水通孔1021和所述第二出水通孔1022均设置在所述真空腔体1的侧壁上。在本实用新型的该实施例中，所述第二进水通孔1021和所述第二出水通孔1022均设置在所述真空腔体1的左侧侧壁上，且设置在所述腔体上部结构的下壁上，所述第二进水端2024向下穿过所述第二进水通孔1021，所述第二出水端2025向下穿过所述第二出水通孔1022。且每个所述第二冷却水管2021在水平方向上的形状为U形。

所述第二进水端2024通过密封装置5与所述第二进水通孔1021密封连接，且第二进水端2024与第二进水通孔1021密封连接的密封方式与图5中第一进水端2014与第一进水通孔1011密封连接的密封方式相同。所述第二出水端2025通过密封装置5与所述第二出水通孔1022密封连接，且第二出水端2025与第二出水通孔1022密封连接的密封方式与图5中第一进水端2014与第一进水通孔1011密封连接的密封方式相同。

图8为本实用新型带有冷却装置的真空镀膜腔体实施例的下部水冷装置的正视图。

图9为本实用新型带有冷却装置的真空镀膜腔体实施例的中部水冷装置紧贴真空腔体的侧壁的放大结构图。

参见图8和图9，所述下部水冷装置203包括第三冷却水管2031、第三水管压块2032和第三导热板2033；所述第三冷却水管2031、所述第三水管压块2032和所述第三导热板2033依次从外向里设置；所述第三冷却水管2031紧贴所述真空腔体1的侧壁的下部，沿所述侧壁水平分布；所述第三水管压块2032为多个，多个所述第三水管压块2032通过螺钉4与所述真空腔体1的侧壁固定连接，将所述第三冷却水管2031压在所述侧壁上；所述第三水管压块2032的紧贴所述真空腔体1的腔壁的一面设置有多边形槽，所述第三冷却水管2031嵌在所述多边形槽内；所述第三导热板2033通过螺钉4与每个所述第三水管压块2032固定连接。

所述第三导热板2033为金属薄板，所述第三水管压块2032为导热材质制成的块状体。

本实用新型中第三冷却水管与真空腔体的腔壁紧密接触，从而能够直接对腔壁进行冷却，并且冷却效果还可以通过第三水管压块和第三导热板传导到整个真空腔体的空间内，实现了同时对腔壁和腔体空间的冷却。

所述第三冷却水管2031的两端分别为第三进水端2034和第三出水端2035；所述第三进水端2034穿过第三进水通孔1031与外界冷却水源相连；所述第三出水端2035穿过第三出水通孔1032与外界出水管相连；所述第三进水通孔1031和所述第三出水通孔1032均设置在所述真空腔体1的侧壁上。在本实用新型的该实施例中，所述第三进水通孔1031和所述第三出水通孔1032均设置在所述腔体下部结构的左侧侧壁上，且所述第三冷却水管2031沿所述侧壁水平分布一圈。在设置时，若所述第三冷却水管2031遇到所述真空腔体1中的结构的阻挡时，通过向上或向下延伸躲避障碍物，然后再继续沿所述真空腔体1的侧壁水平分布。

所述第三进水端2034通过密封装置5与所述第三进水通孔1031密封连接，且第三进水端2034与第三进水通孔1031密封连接的密封方式与图5中第一进水端2014与第一进水通孔1011密封连接的密封方式相同。所述第三出水端2035通过密封装置5与所述第三出水通孔1032密封连接，且第三出水端2035与第三出水通孔1032密封连接的密封方式与图5中第一进水端2014与第一进水通孔1011密封连接的密封方式相同。

本实用新型的该密封结构使得冷却水管在进出真空腔体时不影响真空腔体的真空环境。采用密封水座、紧固挡板和紧固件进行密封，使得密封装置能够真正与真空腔体和冷却水管无缝连接，保证了密封效果。

本实用新型的该实施例中，所述上部水冷装置、所述中部水冷装置和所述下部水冷装置均采用独立供水的方式进行水冷，从而能够加快真空腔体的冷却速度。同时本实用新型中采用水冷的方式进行冷却，不至于使真空腔体的温度过低，保证真空腔体的温度维持在室温左右，从而不会对镀膜工艺的高温环境产生影响。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.一种带有冷却装置的真空镀膜腔体，包括真空腔体，其特征在于，还包括：冷却装置；所述冷却装置安装于所述真空腔体内部；所述冷却装置包括上部水冷装置、中部水冷装置和下部水冷装置；所述上部水冷装置紧贴所述真空腔体的上壁；所述中部水冷装置凌空架设在所述真空腔体左侧腔壁和右侧腔壁之间；所述下部水冷装置紧贴所述真空腔体的侧壁的下部，沿所述侧壁水平分布。

2.根据权利要求1所述的一种带有冷却装置的真空镀膜腔体，其特征在于，所述上部水冷装置包括第一冷却水管、第一水管压块和第一导热板；所述第一冷却水管紧贴所述真空腔体的上壁，且所述第一冷却水管呈蛇形分布；所述第一水管压块为多个，多个所述第一水管压块从下往上压住所述第一冷却水管；每个所述第一水管压块均通过螺钉与所述真空腔体的上壁固定连接；所述第一导热板通过螺钉与每个所述第一水管压块的下表面固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种带有冷却装置的真空镀膜腔体，其特征在于，所述真空腔体的上壁上设置有第一进水通孔和第一出水通孔；所述第一冷却水管的两端分别为第一进水端与第一出水端；所述第一进水端穿过所述第一进水通孔与外界冷却水源相连；所述第一出水端穿过所述第一出水通孔与外界出水管相连。

4.根据权利要求3所述的一种带有冷却装置的真空镀膜腔体，其特征在于，所述第一进水端通过密封装置与所述第一进水通孔密封连接，所述第一出水端通过密封装置与所述第一出水通孔密封连接。

5.根据权利要求1所述的一种带有冷却装置的真空镀膜腔体，其特征在于，所述真空腔体内设置有一支架，所述支架将所述中部水冷装置支撑在所述真空腔体的空间内；所述中部水冷装置包括第二冷却水管、第二水管压块和第二导热板；所述第二冷却水管为多个，多个所述第二冷却水管水平排列在同一水平面上，架设在所述真空腔体的左侧腔壁和右侧腔壁之间；所述第二水管压块从上向下压住所述第二冷却水管；每个所述第二冷却水管上的所述第二水管压块均为多个；每个所述第二水管压块均通过螺钉与所述支架固定连接；所述第二导热板通过螺钉与每个所述第二水管压块的上表面固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种带有冷却装置的真空镀膜腔体，其特征在于，所述第二冷却水管的两端分别为第二进水端和第二出水端；所述第二进水端穿过第二进水通孔与外界冷却水源相连；所述第二出水端穿过第二出水通孔与外界出水管相连；所述第二进水通孔和所述第二出水通孔均设置在所述真空腔体的侧壁上。

7.根据权利要求6所述的一种带有冷却装置的真空镀膜腔体，其特征在于，所述第二进水端通过密封装置与所述第二进水通孔密封连接，所述第二出水端通过密封装置与所述第二出水通孔密封连接。

8.根据权利要求1所述的一种带有冷却装置的真空镀膜腔体，其特征在于，所述下部水冷装置包括第三冷却水管、第三水管压块和第三导热板；所述第三冷却水管、所述第三水管压块和所述第三导热板依次从外向里设置；所述第三冷却水管紧贴所述真空腔体的侧壁的下部，沿所述侧壁水平分布；所述第三水管压块为多个，多个所述第三水管压块通过螺钉与所述真空腔体的侧壁固定连接，将所述第三冷却水管压在所述侧壁上；所述第三导热板通过螺钉与每个所述第三水管压块固定连接。

9.根据权利要求8所述的一种带有冷却装置的真空镀膜腔体，其特征在于，所述第三冷却水管的两端分别为第三进水端和第三出水端；所述第三进水端穿过第三进水通孔与外界冷却水源相连；所述第三出水端穿过第三出水通孔与外界出水管相连；所述第三进水通孔和所述第三出水通孔均设置在所述真空腔体的侧壁上。

10.根据权利要求9所述的一种带有冷却装置的真空镀膜腔体，其特征在于，所述第三进水端通过密封装置与所述第三进水通孔密封连接，所述第三出水端通过密封装置与所述第三出水通孔密封连接。